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谐振敏感式低噪声压电微机电系统水听器
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作者 葛宣佐 朴胜春 +4 位作者 张强 雷亚辉 龚李佳 王大成 陈丽洁 《哈尔滨工程大学学报》 北大核心 2025年第8期1660-1668,共9页
针对水下无人平台低噪声高灵敏探测需求,本文提出基于目标频谱特征信息的谐振敏感检测思想。利用水听器在谐振频率处具有高灵敏的特点,根据水下目标的频域特征信息设计水听器敏感结构。本文研制了谐振敏感式压电微机电系统芯片和水听器... 针对水下无人平台低噪声高灵敏探测需求,本文提出基于目标频谱特征信息的谐振敏感检测思想。利用水听器在谐振频率处具有高灵敏的特点,根据水下目标的频域特征信息设计水听器敏感结构。本文研制了谐振敏感式压电微机电系统芯片和水听器样机,并进行了实验测试。所设计水听器样机在谐振频率处实现了高灵敏响应(-146 dB@12 kHz(Re.1V/μPa)和-138 dB@4 kHz(Re.1V/μPa))和远低于knudsen零级海况的自噪声水平(M5#样机在谐振频率处等效噪声声压谱密度级22.03 dB@4 kHz(Re.1μPa/Hz))。本文所提出的基于目标特征信息的谐振敏感检测思想为水下目标检测提供了思路。 展开更多
关键词 谐振敏感 压电微机电系统 水听器 低噪声 敏感结构设计 水下目标 频谱特征 零级海况
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