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倏逝场照明的集成零模波导纳米孔芯片
被引量：
1
1
作者
俞鹏飞
付博文
+3 位作者
李传宇
李超
周连群
郭振
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期62-70,共9页
为了降低零模波导照明系统的成本、缩小尺寸,设计并完成衍射光栅、光波导以及零模波导的片上集成,并对集成化芯片的微纳结构及性能进行验证。采用时域有限差分法对集成化芯片进行了仿真设计,基于微纳加工手段制备出片上衍射光栅、光波...
为了降低零模波导照明系统的成本、缩小尺寸,设计并完成衍射光栅、光波导以及零模波导的片上集成,并对集成化芯片的微纳结构及性能进行验证。采用时域有限差分法对集成化芯片进行了仿真设计,基于微纳加工手段制备出片上衍射光栅、光波导以及零模波导阵列结构,对微观结构进行表征,并借助荧光微球对芯片的性能进行验证。通过荧光微球测试,制备的集成化芯片可以实现荧光微球的有效激发;通过微观结构表征,衍射光栅周期为(352.8±2.6)nm,齿宽为(155.3±2.4)nm,刻蚀深度为(67.8±3.5)nm;光波导芯层的宽度为(504.05±10.35)nm,高度为(184.9±8.9)nm;零模波导直径为(200.2±6.4)nm,深度为(301.3±7.6)nm,满足设计要求。芯片尺寸为22 mm×22 mm,最小线宽为155 nm,通过8个衍射光栅、约1000条光波导以及数十万个零模波导阵列结构的片上集成,为零模波导的照明提供了一种紧凑且有效的解决方案。
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关键词
集成光学
光
波导
衍射光栅
零模波导阵列
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职称材料
题名
倏逝场照明的集成零模波导纳米孔芯片
被引量：
1
1
作者
俞鹏飞
付博文
李传宇
李超
周连群
郭振
机构
中国科学技术大学
中国科学院苏州生物医学工程技术研究所中国科学院生物医学检验技术重点实验室
复旦大学
苏州国科芯感医疗科技有限公司
季华实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期62-70,共9页
基金
国家重点研发计划资助项目(No.2018YFF01011003)
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.61874133,No.61901469,No.22005331)
+7 种基金
江苏省重点研究开发项目(No.BE2019684,No.BE2018080,No.BE2020768)
江苏省政策引导类计划(No.BZ2019069)
季华实验室资助项目(No.X190181TD190)
中科院青年创新促进会资助项目(No.2019322,No.2018360,No.201856)
中国科学院科研仪器设备研制项目(No.YJKYYQ20200046,No.YJKYYQ20190057)
中国科学院重大科研仪器研制项目(No.ZDKYYQ20210004)
苏州市科技支撑计划资助项目(No.SYG201907)
中国科学院苏州生物医学工程技术研究所自主部署项目(No.Y851591105,No.E055011301)。
文摘
为了降低零模波导照明系统的成本、缩小尺寸,设计并完成衍射光栅、光波导以及零模波导的片上集成,并对集成化芯片的微纳结构及性能进行验证。采用时域有限差分法对集成化芯片进行了仿真设计,基于微纳加工手段制备出片上衍射光栅、光波导以及零模波导阵列结构,对微观结构进行表征,并借助荧光微球对芯片的性能进行验证。通过荧光微球测试,制备的集成化芯片可以实现荧光微球的有效激发;通过微观结构表征,衍射光栅周期为(352.8±2.6)nm,齿宽为(155.3±2.4)nm,刻蚀深度为(67.8±3.5)nm;光波导芯层的宽度为(504.05±10.35)nm,高度为(184.9±8.9)nm;零模波导直径为(200.2±6.4)nm,深度为(301.3±7.6)nm,满足设计要求。芯片尺寸为22 mm×22 mm,最小线宽为155 nm,通过8个衍射光栅、约1000条光波导以及数十万个零模波导阵列结构的片上集成,为零模波导的照明提供了一种紧凑且有效的解决方案。
关键词
集成光学
光
波导
衍射光栅
零模波导阵列
Keywords
integration optics
optical waveguide
diffraction grating
zero-mode waveguide array
分类号
TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
倏逝场照明的集成零模波导纳米孔芯片
俞鹏飞
付博文
李传宇
李超
周连群
郭振
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
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