带驻留约束的双臂集束型设备群的调度方法 被引量：5

1

作者 周炳海 刘明祥 周淑美 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期83-89,共7页

为提高集束型设备群的生产效率,在考虑加工不同种类晶圆条件下,研究带驻留约束的双臂集束型设备群的建模与调度问题.提出虚拟缓冲模块概念,引入时间区间集来描述系统的运行状态,并以此建立调度问题的非线性规划模型;结合数学模型,提出... 为提高集束型设备群的生产效率,在考虑加工不同种类晶圆条件下,研究带驻留约束的双臂集束型设备群的建模与调度问题.提出虚拟缓冲模块概念,引入时间区间集来描述系统的运行状态,并以此建立调度问题的非线性规划模型;结合数学模型,提出一种以时间区间集为核心的基于虚拟缓冲模块概念和交换策略的调度算法;对所提出的算法进行了仿真分析.结果表明:所构建的算法运行时间短,调度1个Lot数量的晶圆仅仅需要0.5 s左右,响应时间快;与研究问题域的下界比较,算法的结果接近下界;当设备因子大于5时,周期延长率R已经全部小于0.05,取得了较好的调度效果,表明算法是可行且有效的. 展开更多

关键词 集束型设备群 双臂机械手 驻留约束 时间区间集 调度

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基于时间约束集的集束型设备群调度方法 被引量：10

2

作者 刘明祥 周炳海 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第3期479-485,共7页

随着300mm晶圆的加工技术问世,工业界开始采用一种全新的晶圆制造设备—集束型设备群(Multi-cluster tools).对于单个集束型设备(Single-cluster tools)调度研究已比较成熟,并提出了多种调度方法,然而对于集束型设备群调度研究尚处在一... 随着300mm晶圆的加工技术问世,工业界开始采用一种全新的晶圆制造设备—集束型设备群(Multi-cluster tools).对于单个集束型设备(Single-cluster tools)调度研究已比较成熟,并提出了多种调度方法,然而对于集束型设备群调度研究尚处在一个起步阶段.本文对带有驻留约束且具有多种晶圆类型的集束型设备群的调度问题进行了研究,在引入时间约束集概念的基础上建立了调度模型,同时,提出了一种逐级回溯的调度方法,并对调度算法进行了仿真实验分析.仿真结果表明本文提出的算法是有效且可行的. 展开更多

关键词 集束型设备群 驻留约束 时间约束集 调度

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带驻留与重入约束的集束型设备调度算法 被引量：7

3

作者 陈佳 周炳海 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2012年第12期2667-2673,共7页

为有效地解决集束型设备加工过程中存在的驻留与重入约束问题,构建了带驻留与重入约束的集束型设备调度算法。首先进行调度问题域的描述,以系统Makespan最小为优化目标,建立了数学模型。在此基础上,提出一种搜索可行机械手运行路径的调... 为有效地解决集束型设备加工过程中存在的驻留与重入约束问题,构建了带驻留与重入约束的集束型设备调度算法。首先进行调度问题域的描述,以系统Makespan最小为优化目标,建立了数学模型。在此基础上,提出一种搜索可行机械手运行路径的调度方法,结合驻留与重入约束的特征,构建了三个加工腔的集束型设备调度启发式算法。最后对算法进行了仿真实验,结果表明了该算法的有效性和可行性。 展开更多

关键词 集束型设备 调度 驻留约束 重入 总完工时间

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考虑多晶圆流的集束型设备群调度方法 被引量：2

4

作者 周炳海 黎明 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期697-701,共5页

为有效解决集束型设备群多品种晶圆调度问题,构建考虑多晶圆流集束型设备群调度算法.统筹考虑多晶圆流、驻留和资源约束等特征,并以系统Makespan最小为目标,建立数学模型.集束型设备群调度分解为外层晶圆序列决策和内层机械手调度两个阶... 为有效解决集束型设备群多品种晶圆调度问题,构建考虑多晶圆流集束型设备群调度算法.统筹考虑多晶圆流、驻留和资源约束等特征,并以系统Makespan最小为目标,建立数学模型.集束型设备群调度分解为外层晶圆序列决策和内层机械手调度两个阶段,采用蚁群寻觅结合双向搜索策略,将蚁群算法融合到晶圆时间约束集搜索算法迭代过程中.在此基础上,提出了AS&TC(ant systems and time constraints)调度算法.对该调度算法进行仿真实验分析,结果表明该算法的有效性. 展开更多

关键词 集束型设备群 多晶圆流 驻留约束 时间约束集 启发式算法

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基于分枝搜索的带缓冲集束型设备调度与性能分析 被引量：1

5

作者 高忠顺 周炳海 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第1期81-88,共8页

针对带缓冲与驻留约束的集束型设备调度问题,本文提出了一种基于分枝的搜索调度方法.首先,构造问题域的数学模型,在此基础上提出了一种全局搜索算法;然后,通过数学分析证明引出必要的引理,提出一个基于分枝搜索的算法;最后,进行了仿真... 针对带缓冲与驻留约束的集束型设备调度问题,本文提出了一种基于分枝的搜索调度方法.首先,构造问题域的数学模型,在此基础上提出了一种全局搜索算法;然后,通过数学分析证明引出必要的引理,提出一个基于分枝搜索的算法;最后,进行了仿真实验和分析,结果表明本文提出的算法是有效且可行的,同时还表明了带缓冲模块的集束型设备在一定程度上能提高集束型设备的产能. 展开更多

关键词 集束型设备 缓冲模块 驻留约束 调度 分枝搜索

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基于CCR带并行腔双集束型设备调度方法

6

作者 周炳海 黎明 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期1361-1367,共7页

为有效解决450 mm晶圆制造中带有并行处理腔的集束型设备群调度问题,提出了基于产能约束资源(CCR)的调度方法。首先,综合考虑多品种加工、晶圆驻留和资源约束等特征,以系统总完工时间最小作为目标,建立带并行腔双集束型设备调度数学模型... 为有效解决450 mm晶圆制造中带有并行处理腔的集束型设备群调度问题,提出了基于产能约束资源(CCR)的调度方法。首先,综合考虑多品种加工、晶圆驻留和资源约束等特征,以系统总完工时间最小作为目标,建立带并行腔双集束型设备调度数学模型;其次,为优化机械手作业顺序,对CCR实施锁定-收紧-松弛(LTL)策略,构建了一种以CCR为界的分段调度算法;最后,进行了仿真实验分析。结果表明本文提出的算法是有效和有竞争性的。 展开更多

关键词 集束型设备群 并行腔 驻留约束 产能约束资源 调度算法

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基于析取图的集束型设备建模与调度方法

7

作者 高忠顺 周炳海 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期1227-1233,共7页

针对处理腔带有缓冲且能处理不同种类晶圆产品的单臂集束型设备调度问题,提出了基于析取图模型的分枝搜索调度方法.首先将问题转换为单机调度问题,建立析取图模型,采用分枝的方法获得可行解空间.然后在此基础上,提出以最小完工时间的机... 针对处理腔带有缓冲且能处理不同种类晶圆产品的单臂集束型设备调度问题,提出了基于析取图模型的分枝搜索调度方法.首先将问题转换为单机调度问题,建立析取图模型,采用分枝的方法获得可行解空间.然后在此基础上,提出以最小完工时间的机械手最优动作序列为目标的分枝搜索算法.最后对调度算法进行了仿真实验分析.结果表明,该算法有效可行,同时说明了处理腔带输入、输出缓冲的集束型设备对于满足不同种类晶圆的生产、提高生产能力均具有较好的效果. 展开更多

关键词 集束型设备 缓冲 调度 析取图 分枝搜索

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带驻留约束及双臂机械手的集束型设备群调度算法 被引量：3

8

作者 石潇铭 周炳海 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期650-655,共6页

根据集束型设备群的特点,对调度问题域进行描述,并提出了带驻留约束的双臂集束型设备群调度算法.该算法利用分解方法将集束型设备群分解为多个单集束型设备,并在此基础上提出一种基于机械手无冲突约束的搜索调度算法,调度目标是使到达... 根据集束型设备群的特点,对调度问题域进行描述,并提出了带驻留约束的双臂集束型设备群调度算法.该算法利用分解方法将集束型设备群分解为多个单集束型设备,并在此基础上提出一种基于机械手无冲突约束的搜索调度算法,调度目标是使到达晶圆在最短基本周期内完成加工.仿真实验分析结果表明,用所提出的算法进行集束型设备群的晶圆处理是有效的. 展开更多

关键词 集束型设备群 驻留约束 分解 调度 仿真实验

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基于事件驱动的集束型晶圆制造设备调度算法 被引量：5

9

作者 李鑫 周炳海 陆志强 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期898-901,共4页

为了有效利用集束型晶圆制造设备,并使其满足动态到达晶圆调度要求,在描述调度问题域及引入时间约束集概念的基础上建立了调度问题的数学模型,根据模型提出了一种基于事件驱动的调度算法,调度目标是使到达晶圆在最短时间内完成加工.对... 为了有效利用集束型晶圆制造设备,并使其满足动态到达晶圆调度要求,在描述调度问题域及引入时间约束集概念的基础上建立了调度问题的数学模型,根据模型提出了一种基于事件驱动的调度算法,调度目标是使到达晶圆在最短时间内完成加工.对调度算法进行了仿真实验分析.结果表明,该算法有效且实用. 展开更多

关键词 集束型设备 时间约束 实时调度 重入流 仿真实验

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集束型半导体制造设备的预防维修计划优化 被引量：6

10

作者 厉红 钱省三 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期39-42,共4页

研究了生产200mm以上晶圆的半导体制造企业中的主要设备——集束型设备(cluster tools) 的预防维修计划优化问题。基于半导体集成电路生产线的复杂性及集束型设备的特点,建立了基于系统观 的集束型设备预防维修计划实时优化模型,设计了... 研究了生产200mm以上晶圆的半导体制造企业中的主要设备——集束型设备(cluster tools) 的预防维修计划优化问题。基于半导体集成电路生产线的复杂性及集束型设备的特点,建立了基于系统观 的集束型设备预防维修计划实时优化模型,设计了用遗传算法求解模型的方法,最后以一个实例及运行结 果说明了研究的实用性。 展开更多

关键词 集束型设备 预防维修计划 优化 遗传算法

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带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法 被引量：4

11

作者 周炳海 石潇铭 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期1305-1309,共5页

为了有效解决集束型晶圆制造设备群加工过程中存在的重入调度问题,构建了带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法.首先分析了双集束型晶圆制造设备中重入约束特征.在此基础上,建立调度问题域,并以系统加工周期最小为目标,建立调度模... 为了有效解决集束型晶圆制造设备群加工过程中存在的重入调度问题,构建了带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法.首先分析了双集束型晶圆制造设备中重入约束特征.在此基础上,建立调度问题域,并以系统加工周期最小为目标,建立调度模型.采用分解策略,将双集束型晶圆制造设备调度问题分解成单个设备调度问题,并提出了一种全新的机械手调度顺序搜索的启发式算法.最后对调度算法进行仿真实验分析,结果表明该算法是有效的. 展开更多

关键词 集束型设备群 调度 重入约束 算法 仿真实验

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基于Markov链的集束型晶圆制造设备预防性维护建模 被引量：1

12

作者 周炳海 何平 +1 位作者 潘尔顺 奚立峰 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1622-1626,共5页

为了有效提高集束型晶圆制造设备的运行可靠性,同时降低其维护成本,提出了基于Markov链的预防性维护建模方法.根据集束型晶圆制造设备的特点,将设备使用情形分为运行状态、预防性保养状态、保养未能回复状态、预防性维修状态和维修无法... 为了有效提高集束型晶圆制造设备的运行可靠性,同时降低其维护成本,提出了基于Markov链的预防性维护建模方法.根据集束型晶圆制造设备的特点,将设备使用情形分为运行状态、预防性保养状态、保养未能回复状态、预防性维修状态和维修无法回复状态,建立了设备状态转移模型.在此基础上,建立了集束型晶圆制造设备的预防性维护成本模型,进行了仿真实验分析.结果表明,该模型可有效分析不同参数组合下的单位时间预防性维护期望成本. 展开更多

关键词 集束型设备 晶圆 马尔可夫链 预防性维护

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集束型多层纳米薄膜沉积设备的研制 被引量：2

13

作者 杨胜 夏洋 +6 位作者 兰丽丽 陶晓俊 冯嘉恒 明帅强 卢维尔 屈芙蓉 刘涛 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期1096-1102,共7页

运用模块化的设计构想,将等离子体增强原子层沉积工艺单元、热型原子层沉积工艺单元,直流磁控溅射单元和射频磁控溅射工艺单元进行高度优化集成,研制了集束型多层纳米薄膜沉积设备。设备创新采用真空旋转传输平台,替代了传统集成设备的... 运用模块化的设计构想,将等离子体增强原子层沉积工艺单元、热型原子层沉积工艺单元,直流磁控溅射单元和射频磁控溅射工艺单元进行高度优化集成,研制了集束型多层纳米薄膜沉积设备。设备创新采用真空旋转传输平台,替代了传统集成设备的机械手结构,实现了样品在高真空(5×10^-5 Pa)中传输,而且传输速度快(2~3 s),有效地减少污染,保证样品表面物性的稳定。设备可在全真空的环境下,实现多层纳米薄膜的制备,同时可以对薄膜生长实现原子层精度的控制。设备的磁控溅射工艺平台可以安装金属掩膜板,直接制备图形薄膜。另外设备具有非常灵活的扩展性,针对薄膜工艺需求的不同,可以集成其他的薄膜制备工艺单元。 展开更多

关键词 原子层沉积 磁控溅射 薄膜制备 集束型设备

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