基于事件驱动的集束型晶圆制造设备调度算法 被引量：5

1

作者 李鑫 周炳海 陆志强 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期898-901,共4页

为了有效利用集束型晶圆制造设备,并使其满足动态到达晶圆调度要求,在描述调度问题域及引入时间约束集概念的基础上建立了调度问题的数学模型,根据模型提出了一种基于事件驱动的调度算法,调度目标是使到达晶圆在最短时间内完成加工.对... 为了有效利用集束型晶圆制造设备,并使其满足动态到达晶圆调度要求,在描述调度问题域及引入时间约束集概念的基础上建立了调度问题的数学模型,根据模型提出了一种基于事件驱动的调度算法,调度目标是使到达晶圆在最短时间内完成加工.对调度算法进行了仿真实验分析.结果表明,该算法有效且实用. 展开更多

关键词 集束型设备 时间约束 实时调度 重入流 仿真实验

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带驻留约束的双臂集束型设备群的调度方法 被引量：5

2

作者 周炳海 刘明祥 周淑美 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期83-89,共7页

为提高集束型设备群的生产效率,在考虑加工不同种类晶圆条件下,研究带驻留约束的双臂集束型设备群的建模与调度问题.提出虚拟缓冲模块概念,引入时间区间集来描述系统的运行状态,并以此建立调度问题的非线性规划模型;结合数学模型,提出... 为提高集束型设备群的生产效率,在考虑加工不同种类晶圆条件下,研究带驻留约束的双臂集束型设备群的建模与调度问题.提出虚拟缓冲模块概念,引入时间区间集来描述系统的运行状态,并以此建立调度问题的非线性规划模型;结合数学模型,提出一种以时间区间集为核心的基于虚拟缓冲模块概念和交换策略的调度算法;对所提出的算法进行了仿真分析.结果表明:所构建的算法运行时间短,调度1个Lot数量的晶圆仅仅需要0.5 s左右,响应时间快;与研究问题域的下界比较,算法的结果接近下界;当设备因子大于5时,周期延长率R已经全部小于0.05,取得了较好的调度效果,表明算法是可行且有效的. 展开更多

关键词 集束型设备群 双臂机械手 驻留约束 时间区间集 调度

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基于时间约束集的集束型设备群调度方法 被引量：10

3

作者 刘明祥 周炳海 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第3期479-485,共7页

随着300mm晶圆的加工技术问世,工业界开始采用一种全新的晶圆制造设备—集束型设备群(Multi-cluster tools).对于单个集束型设备(Single-cluster tools)调度研究已比较成熟,并提出了多种调度方法,然而对于集束型设备群调度研究尚处在一... 随着300mm晶圆的加工技术问世,工业界开始采用一种全新的晶圆制造设备—集束型设备群(Multi-cluster tools).对于单个集束型设备(Single-cluster tools)调度研究已比较成熟,并提出了多种调度方法,然而对于集束型设备群调度研究尚处在一个起步阶段.本文对带有驻留约束且具有多种晶圆类型的集束型设备群的调度问题进行了研究,在引入时间约束集概念的基础上建立了调度模型,同时,提出了一种逐级回溯的调度方法,并对调度算法进行了仿真实验分析.仿真结果表明本文提出的算法是有效且可行的. 展开更多

关键词 集束型设备群 驻留约束 时间约束集 调度

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带驻留与重入约束的集束型设备调度算法 被引量：7

4

作者 陈佳 周炳海 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2012年第12期2667-2673,共7页

为有效地解决集束型设备加工过程中存在的驻留与重入约束问题,构建了带驻留与重入约束的集束型设备调度算法。首先进行调度问题域的描述,以系统Makespan最小为优化目标,建立了数学模型。在此基础上,提出一种搜索可行机械手运行路径的调... 为有效地解决集束型设备加工过程中存在的驻留与重入约束问题,构建了带驻留与重入约束的集束型设备调度算法。首先进行调度问题域的描述,以系统Makespan最小为优化目标,建立了数学模型。在此基础上,提出一种搜索可行机械手运行路径的调度方法,结合驻留与重入约束的特征,构建了三个加工腔的集束型设备调度启发式算法。最后对算法进行了仿真实验,结果表明了该算法的有效性和可行性。 展开更多

关键词 集束型设备 调度 驻留约束 重入 总完工时间

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有晶圆滞留时间约束的集束型装备调度问题研究 被引量：7

5

作者 卢睿 李林瑛 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期1775-1780,共6页

考虑有滞留时间约束的集束型装备调度模型和可调度性问题,建立了包括双臂机械手和加工模块时序约束关系的线性规划模型。在此模型基础上,分析了装备双臂机械手和加工模块周期性加工和搬运晶圆过程,从理论上证明了集束型装备可调度性的... 考虑有滞留时间约束的集束型装备调度模型和可调度性问题,建立了包括双臂机械手和加工模块时序约束关系的线性规划模型。在此模型基础上,分析了装备双臂机械手和加工模块周期性加工和搬运晶圆过程,从理论上证明了集束型装备可调度性的充要条件,并提出通过减少并行模块数目、选择合适的加工时间和滞留时间的控制策略,使不可调度方案变的可调度。对模型和可调度性条件进行了仿真实验和工程软件实现,证明了提出的模型和控制策略有助于减少测试晶圆数目,从而提高晶圆生产效率。 展开更多

关键词 半导体制造 集束型装备 双臂机械手 可调度性分析 线性规划模型

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集束型半导体制造设备的预防维修计划优化 被引量：6

6

作者 厉红 钱省三 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期39-42,共4页

研究了生产200mm以上晶圆的半导体制造企业中的主要设备——集束型设备(cluster tools) 的预防维修计划优化问题。基于半导体集成电路生产线的复杂性及集束型设备的特点,建立了基于系统观 的集束型设备预防维修计划实时优化模型,设计了... 研究了生产200mm以上晶圆的半导体制造企业中的主要设备——集束型设备(cluster tools) 的预防维修计划优化问题。基于半导体集成电路生产线的复杂性及集束型设备的特点,建立了基于系统观 的集束型设备预防维修计划实时优化模型,设计了用遗传算法求解模型的方法,最后以一个实例及运行结 果说明了研究的实用性。 展开更多

关键词 集束型设备 预防维修计划 优化 遗传算法

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带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法 被引量：4

7

作者 周炳海 石潇铭 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期1305-1309,共5页

为了有效解决集束型晶圆制造设备群加工过程中存在的重入调度问题,构建了带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法.首先分析了双集束型晶圆制造设备中重入约束特征.在此基础上,建立调度问题域,并以系统加工周期最小为目标,建立调度模... 为了有效解决集束型晶圆制造设备群加工过程中存在的重入调度问题,构建了带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法.首先分析了双集束型晶圆制造设备中重入约束特征.在此基础上,建立调度问题域,并以系统加工周期最小为目标,建立调度模型.采用分解策略,将双集束型晶圆制造设备调度问题分解成单个设备调度问题,并提出了一种全新的机械手调度顺序搜索的启发式算法.最后对调度算法进行仿真实验分析,结果表明该算法是有效的. 展开更多

关键词 集束型设备群 调度 重入约束 算法 仿真实验

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半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究 被引量：4

8

作者 李林瑛 胡静涛 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1942-1946,共5页

针对单臂机器人的两集束型装备调度问题,利用分解方法将两集束型装备分解为两个单集束型装备。证明了分解后单集束型装备的缓冲模块加工时间必定在一个允许的时间范围内,并建立单集束型装备调度问题的线性规划(Linear Programming,LP)模... 针对单臂机器人的两集束型装备调度问题,利用分解方法将两集束型装备分解为两个单集束型装备。证明了分解后单集束型装备的缓冲模块加工时间必定在一个允许的时间范围内,并建立单集束型装备调度问题的线性规划(Linear Programming,LP)模型,提出了基于LP模型和机器人无碰撞约束条件的搜索算法。以半导体制造化学机械抛光设备为例,验证了模型和算法的有效性。 展开更多

关键词 半导体制造 两集束型装备 调度 线性规划模型

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多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题 被引量：3

9

作者 李林瑛 胡静涛 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2010年第1期109-114,126,共7页

为解决机械手活动序列和产能分析这一半导体制造业多集束型装备调度的关键问题,研究了一类通用的多集束型装备机械手调度中的k晶圆周期序列问题,证明了k晶圆周期序列的平均周期下界。提出了一种构造k晶圆周期序列的策略和实现该策略的... 为解决机械手活动序列和产能分析这一半导体制造业多集束型装备调度的关键问题,研究了一类通用的多集束型装备机械手调度中的k晶圆周期序列问题,证明了k晶圆周期序列的平均周期下界。提出了一种构造k晶圆周期序列的策略和实现该策略的构造算法,并根据构造算法推导出了平均周期的表达式。最后,通过仿真数据和国内某Track机厂商的真实数据验证了该策略的优越性和实用性。 展开更多

关键词 半导体制造 多集束型装备 双臂机械手 缓冲加工模块 并行机 调度

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基于Markov链的集束型晶圆制造设备预防性维护建模 被引量：1

10

作者 周炳海 何平 +1 位作者 潘尔顺 奚立峰 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1622-1626,共5页

为了有效提高集束型晶圆制造设备的运行可靠性,同时降低其维护成本,提出了基于Markov链的预防性维护建模方法.根据集束型晶圆制造设备的特点,将设备使用情形分为运行状态、预防性保养状态、保养未能回复状态、预防性维修状态和维修无法... 为了有效提高集束型晶圆制造设备的运行可靠性,同时降低其维护成本,提出了基于Markov链的预防性维护建模方法.根据集束型晶圆制造设备的特点,将设备使用情形分为运行状态、预防性保养状态、保养未能回复状态、预防性维修状态和维修无法回复状态,建立了设备状态转移模型.在此基础上,建立了集束型晶圆制造设备的预防性维护成本模型,进行了仿真实验分析.结果表明,该模型可有效分析不同参数组合下的单位时间预防性维护期望成本. 展开更多

关键词 集束型设备 晶圆 马尔可夫链 预防性维护

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有滞留时间约束的集束型装备在线调度方法 被引量：1

11

作者 李林瑛 卢睿 +2 位作者 李绍华 景雨 刁建华 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期337-345,共9页

针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了客户紧急订单、返工、新产品试制等临时晶圆到达时的在线调度问题,提出了不改变已有晶圆调度的前提下,利用资源空闲时间区间的两层在线调度方法。外层算法通过改进量子进化算法用以... 针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了客户紧急订单、返工、新产品试制等临时晶圆到达时的在线调度问题,提出了不改变已有晶圆调度的前提下,利用资源空闲时间区间的两层在线调度方法。外层算法通过改进量子进化算法用以优化临时晶圆加工排序;内层算法在给定晶圆排序的基础上,采用后向逐级递推的策略从资源的空闲时间区间获得可行解,利用逆序最大逐级回溯策略在可行解空间获得晶圆的加工开始时间。通过不同规模测试问题上的仿真实验和算法比较,验证了提出方法的有效性。 展开更多

关键词 在线调度 量子进化算法 集束型装备 半导体制造 滞留时间约束

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考虑多晶圆流的集束型设备群调度方法 被引量：2

12

作者 周炳海 黎明 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期697-701,共5页

为有效解决集束型设备群多品种晶圆调度问题,构建考虑多晶圆流集束型设备群调度算法.统筹考虑多晶圆流、驻留和资源约束等特征,并以系统Makespan最小为目标,建立数学模型.集束型设备群调度分解为外层晶圆序列决策和内层机械手调度两个阶... 为有效解决集束型设备群多品种晶圆调度问题,构建考虑多晶圆流集束型设备群调度算法.统筹考虑多晶圆流、驻留和资源约束等特征,并以系统Makespan最小为目标,建立数学模型.集束型设备群调度分解为外层晶圆序列决策和内层机械手调度两个阶段,采用蚁群寻觅结合双向搜索策略,将蚁群算法融合到晶圆时间约束集搜索算法迭代过程中.在此基础上,提出了AS&TC(ant systems and time constraints)调度算法.对该调度算法进行仿真实验分析,结果表明该算法的有效性. 展开更多

关键词 集束型设备群 多晶圆流 驻留约束 时间约束集 启发式算法

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集束型玻璃纤维混凝土轴拉、弯曲和断裂性能 被引量：10

13

作者 邓宗才 陈海龙 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期993-999,共7页

为掌握不同掺率耐碱集束型玻璃纤维混凝土的力学韧性,本文对不同体积掺率的耐碱集束型玻璃纤维混凝土和钢纤维及粗聚烯烃纤维混凝土进行了轴拉、四点弯曲韧性和三点切口梁断裂试验。分析了纤维掺率对耐碱集束型玻璃纤维混凝土力学性能... 为掌握不同掺率耐碱集束型玻璃纤维混凝土的力学韧性,本文对不同体积掺率的耐碱集束型玻璃纤维混凝土和钢纤维及粗聚烯烃纤维混凝土进行了轴拉、四点弯曲韧性和三点切口梁断裂试验。分析了纤维掺率对耐碱集束型玻璃纤维混凝土力学性能的影响规律,并和同体积掺率的钢纤维和粗聚烯烃纤维混凝土进行了比较。试验表明:耐碱集束型玻璃纤维混凝土轴拉性能优于同体积掺率的粗聚烯烃纤维混凝土,轴拉强度和极限拉应变均略高于同体积掺率的钢纤维混凝土;耐碱集束型玻璃纤维体积掺率为0. 75%时,弯曲韧性值和峰值强度比素混凝土分别提高了191. 73%和11. 47%,断裂韧度和断裂能比素混凝土分别提高了28. 16%和268. 69%,该掺率下耐碱集束型玻璃纤维混凝土弯曲韧性指标和断裂力学指标增幅较大。 展开更多

关键词 耐碱集束型玻璃纤维 轴拉性能 弯曲韧性 断裂性能 体积掺率 钢纤维 聚烯烃纤维 纤维混凝土

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基于分枝搜索的带缓冲集束型设备调度与性能分析 被引量：1

14

作者 高忠顺 周炳海 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第1期81-88,共8页

针对带缓冲与驻留约束的集束型设备调度问题,本文提出了一种基于分枝的搜索调度方法.首先,构造问题域的数学模型,在此基础上提出了一种全局搜索算法;然后,通过数学分析证明引出必要的引理,提出一个基于分枝搜索的算法;最后,进行了仿真... 针对带缓冲与驻留约束的集束型设备调度问题,本文提出了一种基于分枝的搜索调度方法.首先,构造问题域的数学模型,在此基础上提出了一种全局搜索算法;然后,通过数学分析证明引出必要的引理,提出一个基于分枝搜索的算法;最后,进行了仿真实验和分析,结果表明本文提出的算法是有效且可行的,同时还表明了带缓冲模块的集束型设备在一定程度上能提高集束型设备的产能. 展开更多

关键词 集束型设备 缓冲模块 驻留约束 调度 分枝搜索

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集束型半导体装备的性能分析模型研究 被引量：1

15

作者 郑秀红 马纪颖 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2014年第8期19-25,共7页

由于集束型装备自身结构的复杂多变,使得对集束型装备的性能分析和产能预测变得非常困难。建立集束型装备性能分析模型是预测装备产能和辅助装备设计的有效方式之一。以可扩展的模块化方式,建立了装备的随机Petri网模型,模型中引入随机... 由于集束型装备自身结构的复杂多变,使得对集束型装备的性能分析和产能预测变得非常困难。建立集束型装备性能分析模型是预测装备产能和辅助装备设计的有效方式之一。以可扩展的模块化方式,建立了装备的随机Petri网模型,模型中引入随机变迁来描述装备活动时间的随机性;基于该模型,采用马尔可夫链分析方法,研究了装备主要性能参数如吞吐量、晶圆滞留率和利用率的理论模型。研究结果为集束型半导体装备的性能分析提供了一种有效手段。 展开更多

关键词 随机PETRI网 集束型 半导体 马尔可夫链 性能 模型

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基于集束型问题的化学探究能力测评 被引量：1

16

作者 罗国忠 《化学教学》 CAS 北大核心 2012年第9期78-80,共3页

介绍了美国康涅狄格州的高中生化学探究能力测评方式，首先学生组成小组，合作完成一个探究任务，然后所有学生参加统一笔试，每个学生独立作答集束型问题，这些问题都指向学生完成的那个探究任务。并对这刁亨式进行了思考。

关键词 康涅狄格州 化学探究能力 集束型问题 测评

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基于CCR带并行腔双集束型设备调度方法

17

作者 周炳海 黎明 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期1361-1367,共7页

为有效解决450 mm晶圆制造中带有并行处理腔的集束型设备群调度问题,提出了基于产能约束资源(CCR)的调度方法。首先,综合考虑多品种加工、晶圆驻留和资源约束等特征,以系统总完工时间最小作为目标,建立带并行腔双集束型设备调度数学模型... 为有效解决450 mm晶圆制造中带有并行处理腔的集束型设备群调度问题,提出了基于产能约束资源(CCR)的调度方法。首先,综合考虑多品种加工、晶圆驻留和资源约束等特征,以系统总完工时间最小作为目标,建立带并行腔双集束型设备调度数学模型;其次,为优化机械手作业顺序,对CCR实施锁定-收紧-松弛(LTL)策略,构建了一种以CCR为界的分段调度算法;最后,进行了仿真实验分析。结果表明本文提出的算法是有效和有竞争性的。 展开更多

关键词 集束型设备群 并行腔 驻留约束 产能约束资源 调度算法

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基于析取图的集束型设备建模与调度方法

18

作者 高忠顺 周炳海 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期1227-1233,共7页

针对处理腔带有缓冲且能处理不同种类晶圆产品的单臂集束型设备调度问题,提出了基于析取图模型的分枝搜索调度方法.首先将问题转换为单机调度问题,建立析取图模型,采用分枝的方法获得可行解空间.然后在此基础上,提出以最小完工时间的机... 针对处理腔带有缓冲且能处理不同种类晶圆产品的单臂集束型设备调度问题,提出了基于析取图模型的分枝搜索调度方法.首先将问题转换为单机调度问题,建立析取图模型,采用分枝的方法获得可行解空间.然后在此基础上,提出以最小完工时间的机械手最优动作序列为目标的分枝搜索算法.最后对调度算法进行了仿真实验分析.结果表明,该算法有效可行,同时说明了处理腔带输入、输出缓冲的集束型设备对于满足不同种类晶圆的生产、提高生产能力均具有较好的效果. 展开更多

关键词 集束型设备 缓冲 调度 析取图 分枝搜索

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并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究

19

作者 郑秀红 胡静涛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第11期869-873,共5页

并行集束型半导体装备的性能分析和产能预测是一项非常困难的任务,建立装备性能模型是解决这一问题的有效方法之一。首先用时序图描述了集束型半导体装备加工腔体和机械手在稳态阶段的使用情况,根据建立的时序图,推导出装备稳态时加工... 并行集束型半导体装备的性能分析和产能预测是一项非常困难的任务,建立装备性能模型是解决这一问题的有效方法之一。首先用时序图描述了集束型半导体装备加工腔体和机械手在稳态阶段的使用情况,根据建立的时序图,推导出装备稳态时加工约束与传输约束的边界条件。然后,分别给出了不同约束条件下装备的稳态加工过程时序图,并推导出了装备的吞吐量模型。该模型反映了并行集束型半导体装备配置参数对吞吐量的影响,利用该模型可以高效地计算装备吞吐量、辅助系统设计。最后,进行仿真实验,分析了处理时间对装备吞吐量的影响。 展开更多

关键词 并行 集束型装备 吞吐量 模型 晶圆

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基于SRN的集束型半导体装备批加工模型

20

作者 郑秀红 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期309-314,共6页

为了分析集束型半导体装备的性能,研究了系统批加工过程的随机回报网模型,模型不仅可以描述装备的批加工过程和机械手的操作序列,还可以用来分析装备的性能。该模型适用于装备的并行晶圆流和串行晶圆流、串-并混合型模式。在模型中,用... 为了分析集束型半导体装备的性能,研究了系统批加工过程的随机回报网模型,模型不仅可以描述装备的批加工过程和机械手的操作序列,还可以用来分析装备的性能。该模型适用于装备的并行晶圆流和串行晶圆流、串-并混合型模式。在模型中,用变迁的实施速率表示装备加工操作的频率。在模型中还引入了变迁的实施函数来控制不同状态下机械手动作,以避免死锁发生。最后应用该模型,以晶圆流模式(2,1,1)为例,分析了系统配置参数对系统吞吐量的影响。 展开更多

关键词 随机回报网(SRN) 模型 集束型装备 半导体 批加工

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