集成电路静电放电模拟器校准与测量不确定度 被引量：13

1

作者 邢荣欣 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2011年第6期528-532,共5页

集成电路静电放电模拟器是微电子元器件可靠性筛选的重要设备,通过模拟静电放电对器件的抗静电能力进行筛选.本文在分析静电放电模拟器工作原理的基础上,利用高频电流探头和高速率采样示波器实现了对模拟器的校准.文章还并结合校准实例... 集成电路静电放电模拟器是微电子元器件可靠性筛选的重要设备,通过模拟静电放电对器件的抗静电能力进行筛选.本文在分析静电放电模拟器工作原理的基础上,利用高频电流探头和高速率采样示波器实现了对模拟器的校准.文章还并结合校准实例,对测量不确定度进行了评定. 展开更多

关键词 集成电路静电放电模拟器 短路电流波形 校准 测量不确定度

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集成电路静电放电电压与注入能量的相关性研究 被引量：2

2

作者 杨洁 刘尚合 +1 位作者 国海广 谭志良 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期77-80,共4页

为了研究静电放电注入时损伤电压与损伤能量之间的关系,本文进行静电放电电压与注入的平均峰值 能量之间的对应关系研究．实验采用静电放电模拟器在人体模型下对几种集成电路器件进行注入放电,通过 Agilent inifniium示波器记录并计算... 为了研究静电放电注入时损伤电压与损伤能量之间的关系,本文进行静电放电电压与注入的平均峰值 能量之间的对应关系研究．实验采用静电放电模拟器在人体模型下对几种集成电路器件进行注入放电,通过 Agilent inifniium示波器记录并计算得到静电放电注入时相应的能量波形,取五次能量峰值的平均值记为该电压 下注入的峰值能量,采用曲线拟合的方法,得到注入的静电电压与平均峰值能量之间的关系表达式． 展开更多

关键词 集成电路 静电放电 注入电压 平均峰值能量

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静电放电模拟器电路建模分析 被引量：8

3

作者 刘素玲 段平光 +1 位作者 李霞 闫国英 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2009年第6期1172-1178,共7页

从实际的静电放电模拟器结构出发,根据接触放电时静电放电电流的主要特征,考虑到静电模拟器本身、连接线及回路电缆与地平面间产生的分布参数的影响,建立了一个新的静电放电模拟器等效电路模型,并用PSPICE软件对等效电路进行模拟分析,... 从实际的静电放电模拟器结构出发,根据接触放电时静电放电电流的主要特征,考虑到静电模拟器本身、连接线及回路电缆与地平面间产生的分布参数的影响,建立了一个新的静电放电模拟器等效电路模型,并用PSPICE软件对等效电路进行模拟分析,得到了与实测波形基本一致的电流波形。利用该模型讨论了各分布参数对放电电流的影响。结果表明:模拟器体电阻与地间的电感对电流波形影响不大,因此可以忽略,但其与地之间的分布电容对电流波形的低频段有重要影响;连接线分布参数对电流波形的第一峰值及波形光滑度都有影响;回路电缆分布参数主要影响了电流波形中第二个波峰峰值及其位置。 展开更多

关键词 静电放电模拟器 电路模型 PSPICE软件 放电电流

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集成电路的静电放电保护 被引量：1

4

作者 李名兆 《电子测量技术》 1998年第3期23-25,共3页

文中从静电的产生、测试和保护等方面,对集成电路(IC)的静电放电保护进行一些探讨。

关键词 静电放电 测试 保护 集成电路

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静电模拟器放电开关辐射场特性研究 被引量：10

5

作者 张希军 范丽斯 +1 位作者 武占成 宋文武 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期68-71,共4页

研究了在静电放电抗干扰实验中模拟器内部放电开关动作对测试结果造成的影响．在保证放电电流满 足IEC61000-4-2标准的前提下,对模拟器采取了一定的屏蔽措施,在此基础上进行了模拟器屏蔽前后性能测 试及静电放电抗干扰实验．实验结果表... 研究了在静电放电抗干扰实验中模拟器内部放电开关动作对测试结果造成的影响．在保证放电电流满 足IEC61000-4-2标准的前提下,对模拟器采取了一定的屏蔽措施,在此基础上进行了模拟器屏蔽前后性能测 试及静电放电抗干扰实验．实验结果表明:ESD模拟器自身屏蔽是有问题的,其内部继电器放电开关的动作也 会产生强电磁场,对ESD辐射场造成影响,从而影响被测试件的静电放电敏感性测试结果．由此证明IEC61000 -4-2对静电放电模拟器只规定放电电流波形及其参数是不够的,还需进行更详细的规定,尤其是电流导数波 形和辐射场的规定． 展开更多

关键词 静电放电 模拟器 IEC标准

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ESD脉冲对集成电路损伤效应的实验研究 被引量：10

6

作者 陈京平 刘尚合 +1 位作者 谭志良 贺其元 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期121-124,共4页

为了研究复杂波形脉冲对集成电路的损伤效应，用改变ESD模拟器放电参数产生的不同的静电放电脉冲对某集成电路芯片进行了注入损伤效应实验。给出了各主要的损伤参数与放电电压的散点图。并借助曲线拟合的方法进行了分析。结果表明：IC... 为了研究复杂波形脉冲对集成电路的损伤效应，用改变ESD模拟器放电参数产生的不同的静电放电脉冲对某集成电路芯片进行了注入损伤效应实验。给出了各主要的损伤参数与放电电压的散点图。并借助曲线拟合的方法进行了分析。结果表明：IC芯片注入通路上的电阻在脉冲波形发生变化时变化不大。电流随放电电压增大；芯片上的峰值功率及峰值能量与放电电压满足P（W）=AUD^B。最后，比较了各脉冲注入下器件的主要参数损伤阈值，得到结论：ESD模拟器放电参数改变对器件损伤阈值大小的影响在1～2倍间。相同参数在不同注入脉冲下的阈值处于同数量级。 展开更多

关键词 静电放电 脉冲 注入 损伤 集成电路 实验研究

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静电放电模拟器放电回路的设计 被引量：9

7

作者 朱长清 刘尚合 魏明 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2004年第3期31-33,共3页

由于分布参数的影响,按集总参数设计的静电放电模拟器难以产生IEC61000-4-2标准规定的静电放电电流。通过对标准电流波形及给定参数的分析,设计了易于实现的人体-金属模型放电回路。通过模拟仿真,确定了放电回路的具体元件参数。针对分... 由于分布参数的影响,按集总参数设计的静电放电模拟器难以产生IEC61000-4-2标准规定的静电放电电流。通过对标准电流波形及给定参数的分析,设计了易于实现的人体-金属模型放电回路。通过模拟仿真,确定了放电回路的具体元件参数。针对分布参数的影响,给出了集总电路元件参数与标准规定的放电电流参数的相对误差灵敏度设计曲线,利用该设计曲线通过对集总元件参数的调整,可获得完全符合标准要求的放电电流。 展开更多

关键词 静电放电模拟器 放电回路 设计 ESD 灵敏度

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集成电路不同脉冲注入的损伤效应相关性 被引量：11

8

作者 刘进 陈永光 +1 位作者 谭志良 陈京平 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1740-1745,共6页

为了分析复杂波形脉冲注入对集成电路的损伤特点,找出不同波形参数的脉冲注入损伤效应相关性,用方波脉冲和不同模型的静电放电(ESD)对5种具有典型代表意义的集成电路器件进行注入损伤效应实验,并给出了器件的损伤电压、损伤功率、损伤... 为了分析复杂波形脉冲注入对集成电路的损伤特点,找出不同波形参数的脉冲注入损伤效应相关性,用方波脉冲和不同模型的静电放电(ESD)对5种具有典型代表意义的集成电路器件进行注入损伤效应实验,并给出了器件的损伤电压、损伤功率、损伤能量等值。采用曲线拟合的分析法,基于实验数据建立起脉冲特性参数与器件损伤参数间的数学关系,其函数拟合精度很高,可为进一步研究器件的电磁损伤机理提供指导。实验结果表明:能量型损伤为集成电路器件损伤的一种主要形式,其损伤机理是由于在PN结上的能量积累使得温度升高而最终热烧毁。各器件的能量损伤阈值与其平均值相比,平均变化区间度处于10%～20%之间,故能量可作为这种损伤模式的主要判定参数。静电放电的损伤阈值普遍略小于方波脉冲的损伤阈值,但不同脉冲注入下器件的损伤规律类似,只有量的不同而没有质的不同。 展开更多

关键词 集成电路 静电放电(ESD)脉冲 方波脉冲 损伤效应 曲线拟合 相关性

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功率集成电路中的高压电源和地之间的ESD保护 被引量：1

9

作者 文毅 孙伟锋 《现代电子技术》 2006年第4期141-144,共4页

重点讨论了应用于功率集成电路的高压电源和地之间的一种采用动态检测电路的ESD保护电路,介绍了他的电路结构和工作原理,利用HSpice软件对其在ESD脉冲和正常工作2种情况下的功能进行了仿真,并模拟了保护电路中各器件的尺寸对电路性能的... 重点讨论了应用于功率集成电路的高压电源和地之间的一种采用动态检测电路的ESD保护电路,介绍了他的电路结构和工作原理,利用HSpice软件对其在ESD脉冲和正常工作2种情况下的功能进行了仿真,并模拟了保护电路中各器件的尺寸对电路性能的影响。仿真结果证明这种保护电路能满足ESD保护的要求,实际流水结果通过了4 kV HBM测试。 展开更多

关键词 功率集成电路 静电放电保护 电源和地 动态检测电路

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MOS集成电路电过应力损伤模式和机理分析 被引量：2

10

作者 吴建忠 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第2期51-54,共4页

电过应力是造成ＭＯＳ集成电路损伤的主要原因，本文结合静电放电的三种模型，详细分析了ＭＯＳ集成电路电过应力的损伤模式和机理。

关键词 电过应力 静电放电 MOS集成电路

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静电放电电磁脉冲模拟装置 被引量：2

11

作者 侯民胜 王书平 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期295-298,共4页

介绍了静电放电电磁脉冲 ( ESD EMP)的特性。研究了用 ESD模拟器产生 ESD EMP的方法 ,并给出了 ESD EMP的时域波形和频谱。在研究 ESD模拟器的基础上 ,首次通过 ESD模拟器和GTEM室的结合 ,在 GTEM室内产生了均匀的、重复性和线性好的 ES... 介绍了静电放电电磁脉冲 ( ESD EMP)的特性。研究了用 ESD模拟器产生 ESD EMP的方法 ,并给出了 ESD EMP的时域波形和频谱。在研究 ESD模拟器的基础上 ,首次通过 ESD模拟器和GTEM室的结合 ,在 GTEM室内产生了均匀的、重复性和线性好的 ESD EMP。实验表明 ,用这种装置能够实现对静电放电电磁脉冲的实验室模拟。实现了人们用 GTEM室产生 ESD EMP的梦想。 展开更多

关键词 ESDEMP ESD模拟器 GTEM室 静电放电电磁脉冲 静电防护 实验室模拟

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静电放电电磁脉冲均匀辐射场模拟 被引量：1

12

作者 侯民胜 朱莹 秦海潮 《现代电子技术》 2011年第13期183-185,188,共4页

为了研究静电放电电磁脉冲(ESD EMP)的特性,利用传统的静电放电电磁脉冲产生方法,通过静电放电模拟器在静电放电抗扰度试验平台上放电,产生了静电放电电磁脉冲,并测出了静电放电电磁脉冲的时域波形和频谱。在研究电磁脉冲模拟器的基础上... 为了研究静电放电电磁脉冲(ESD EMP)的特性,利用传统的静电放电电磁脉冲产生方法,通过静电放电模拟器在静电放电抗扰度试验平台上放电,产生了静电放电电磁脉冲,并测出了静电放电电磁脉冲的时域波形和频谱。在研究电磁脉冲模拟器的基础上,首次通过ESD模拟器和GTEM室的结合,在GTEM室内产生了均匀的、重复性和线性好的ESDEMP。实验表明,用TEMP室、GTEM室等大型装置产生均匀静电放电电磁脉冲辐射场的方案是可行的。 展开更多

关键词 静电放电电磁脉冲 ESD模拟器 ESD抗扰度测试平台 GTEM室

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ESD模拟器间接放电实验重复性研究

13

作者 吴勇 刘国红 +1 位作者 顾立娟 廖乙洁 《四川兵工学报》 CAS 2010年第9期51-53,70,共4页

针对同一模拟器对同一试验对象实验的重复性差、不能给出一致结果的问题,按照新的国际电工委员会(IEC)标准,对符合国际标准的模拟器在水平耦合板上产生的电场和磁场的重复性进行了比较研究。实验研究表明:在严格控制实验条件(接地电缆... 针对同一模拟器对同一试验对象实验的重复性差、不能给出一致结果的问题,按照新的国际电工委员会(IEC)标准,对符合国际标准的模拟器在水平耦合板上产生的电场和磁场的重复性进行了比较研究。实验研究表明:在严格控制实验条件(接地电缆的长度、结构与布置;放电枪的放电位置;放电枪的放电电极与水平耦合板的角度等)的情况下,模拟器的重复性可以得到保证;远场的重复性最好。 展开更多

关键词 静电放电 间接放电 水平耦合板 ESD模拟器

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静电放电电磁场的特性及分布规律 被引量：43

14

作者 刘进 陈永光 +1 位作者 谭志良 李名杰 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期435-443,共9页

现行的静电放电(ESD)抗扰度测试标准IEC 61000-4-2只规定了放电电流的波形,没有对实验平台上的辐射场进行说明,经常会出现实验结果不一致的情况。为解决静电放电抗扰度实验重复性差的问题,选取3种不同厂商生产的符合IEC标准规定的静电... 现行的静电放电(ESD)抗扰度测试标准IEC 61000-4-2只规定了放电电流的波形,没有对实验平台上的辐射场进行说明,经常会出现实验结果不一致的情况。为解决静电放电抗扰度实验重复性差的问题,选取3种不同厂商生产的符合IEC标准规定的静电放电模拟器进行实验,并在不同位置测量放电过程中产生的磁场和电场。实验结果表明:在严格控制实验条件的情况下,模拟器的重复性可以得到保证。距离放电点较近处,不同品牌模拟器产生的电磁场一致性较差,但随着测试距离的增大差异逐渐减小。抗扰度实验平台上磁场强度随着测试距离的增加单调减少,而电场强度先减小,在靠近金属板边缘处反而增大。此外,电场和磁场均在距放电点20cm区域内变化剧烈,40cm以外区域内变化缓慢。所以,新的静电放电抗扰度测试标准应该规范放电过程中的电磁场,适当增大放电点和受试设备间的距离可提高抗扰度实验结果的一致性,并通过提高放电电压来保证测试的严酷等级。 展开更多

关键词 静电放电(ESD) 电磁场测试 电场分布 磁场分布 电磁场重复性 电磁场一致性 抗扰度实验 放电模拟器

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ESD模拟器电流校验研究 被引量：4

15

作者 魏明 刘尚合 +1 位作者 武占成 陈亚洲 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1999年第3期19-21,共3页

通过分析ＥＳＤ模拟器的校验原理，介绍了一种符合国际电工委员会ＩＥＣ０００－４－２标准的ＥＳＤ模拟器电流校验系统。该系统由电流探头、同轴电缆与衰减器、数字存储示波器和法拉第笼组成，能自动采集ＥＳＤ电流波形，计算上升时间... 通过分析ＥＳＤ模拟器的校验原理，介绍了一种符合国际电工委员会ＩＥＣ０００－４－２标准的ＥＳＤ模拟器电流校验系统。该系统由电流探头、同轴电缆与衰减器、数字存储示波器和法拉第笼组成，能自动采集ＥＳＤ电流波形，计算上升时间、峰值电流、３０ｎｓ电流、６０ｎｓ电流等参数。测量数据以ＥＸＣＥＬ或位图格式存入软盘，供微机分析结果并打印校验报告。测量结果变异系数小于３％。除用于ＥＳＤ模拟器校验，该装置还可广泛用于其它形式静电放电电流测量和静电放电机理研究。 展开更多

关键词 ESD 电流 校验 模拟器 静电放电

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静电放电电流校准及Matlab仿真研究 被引量：3

16

作者 刘文刚 常志方 张楠 《中国测试》 CAS 2011年第4期93-96,共4页

针对静电放电模拟器的静电放电电流波形参数校准的原理及方法,根据IEC 61000-4-2:2008标准中给定的理想静电放电电流方程对静电电流波形进行Matlab仿真,通过仿真分析方程中各个时间参数对电流波形的影响,结果表明静电放电模拟器实际的... 针对静电放电模拟器的静电放电电流波形参数校准的原理及方法,根据IEC 61000-4-2:2008标准中给定的理想静电放电电流方程对静电电流波形进行Matlab仿真,通过仿真分析方程中各个时间参数对电流波形的影响,结果表明静电放电模拟器实际的放电回路的分布参数对静电放电电流波形有直接影响。电流波形的第一峰值和上升时间随着t1增大而减小,随着t2的增大而增大,放电电流第二峰值随着t3的增大而减小,随着t4的增大I30I、60也随之增大。通过控制放电回路分布参数有助于提高校准结果的准确度,仿真结果对实际的静电放电电流的校准工作有一定参考价值。 展开更多

关键词 静电放电电流 上升时间 静电放电模拟器 校准 MATLAB仿真

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多模计数器静电放电损伤的失效分析 被引量：3

17

作者 席善斌 裴选 +3 位作者 刘玮 高兆丰 彭浩 黄杰 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第10期784-789,共6页

静电放电(ESD)损伤会降低半导体器件和集成电路的可靠性并导致其性能退化。针对一款国产2-32型多模计数器的失效现象,通过分析该计数器的电路结构,利用X射线成像、显微红外热成像、光束感生电阻变化以及钝化层、金属化层去除等技术对计... 静电放电(ESD)损伤会降低半导体器件和集成电路的可靠性并导致其性能退化。针对一款国产2-32型多模计数器的失效现象,通过分析该计数器的电路结构,利用X射线成像、显微红外热成像、光束感生电阻变化以及钝化层、金属化层去除等技术对计数器进行了失效分析,将失效点准确定位至输出端口逻辑单元电路的2只晶体管上。分析结果表明,多模计数器的ESD损伤使输出端口驱动晶体管以及为负载晶体管提供栅偏置的前级电路晶体管同时受损,导致计数器端口高、低电平输出均失效而丧失计数功能。对相关的失效机理展开了讨论,同时提出了在电路研制和使用过程中的ESD防护措施。 展开更多

关键词 多模计数器 单片微波集成电路(MMIC) 静电放电(ESD) 失效分析 失效定位

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静电放电抑制器的时域矩量法分析 被引量：2

18

作者 索莹 李伟 陈兴义 《科学技术与工程》 北大核心 2014年第5期171-173,182,共4页

静电放电抑制器是一种静电放电保护电路,在射频和微波集成电路中起到非常重要的保护作用。给出了静电放电抑制器的理论模型。利用时域矩量法分析了三种结构的超低电容静电放电抑制器的电容、电场与电荷分布。数值计算结果表明放电时产... 静电放电抑制器是一种静电放电保护电路,在射频和微波集成电路中起到非常重要的保护作用。给出了静电放电抑制器的理论模型。利用时域矩量法分析了三种结构的超低电容静电放电抑制器的电容、电场与电荷分布。数值计算结果表明放电时产生的最大电场均大于空气中击穿的阈值电场,其中弧线形放电抑制器的电场最大,而锯齿形放电抑制器可发生多点击穿,提高了系统设计的可靠性。 展开更多

关键词 电容 静电放电(ESD) 抑制器 时域矩量法 集成电路

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ESD模拟器的应用研究

19

作者 阮晓芬 张希军 唐伟 《兵工自动化》 2006年第3期83-84,共2页

将ESD模拟器用金属网罩屏蔽,可减小模拟器内部继电器开关的电磁干扰。但屏蔽前后电流产生场变化不大,屏蔽后的辐射场场峰值仅稍低于未屏蔽的场。用该模拟器进行单片机系统的ESD抗扰度实验,发现屏蔽前后,同故障现象出现的最小放电电压值... 将ESD模拟器用金属网罩屏蔽,可减小模拟器内部继电器开关的电磁干扰。但屏蔽前后电流产生场变化不大,屏蔽后的辐射场场峰值仅稍低于未屏蔽的场。用该模拟器进行单片机系统的ESD抗扰度实验,发现屏蔽前后,同故障现象出现的最小放电电压值相差几千伏,即模拟器内部继电器开关产生的辐射场对实验结果有影响。这说明IEC标准仅仅规定ESD放电电流的波形是不够的,应对放电场做出相应规定。 展开更多

关键词 静电放电 模拟器 IEC标准

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静电放电对半导体元器件的损伤机理

20

作者 陈亚洲 魏光辉 《兵工安全技术》 CAS CSCD 1998年第2期29-31,共3页

随着科学技术的不断发展,国防现代化水平不断提高,军械装备对电子产品的需求也越来越高。在各种现代化武器装备的总体成本中,电子设备所占的比例日益增高。据国外文献报导目前的比例是:军舰为22%,坦克和军用车辆为33%,导弹为45%,航天飞... 随着科学技术的不断发展,国防现代化水平不断提高,军械装备对电子产品的需求也越来越高。在各种现代化武器装备的总体成本中,电子设备所占的比例日益增高。据国外文献报导目前的比例是:军舰为22%,坦克和军用车辆为33%,导弹为45%,航天飞机为60%。 展开更多

关键词 半导体器件 损伤机理 军械装备 敏感器件 静电放电 元器件 集成电路 电子设备 软损伤 二次击穿

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