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其它应用
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《中国光学》 EI CAS 1995年第3期43-43,共1页
TH165.2 95031704激光导向车(LGV)的实时姿态检测及控制=Real—time attitude testing and control of laser guid—ed vehiele[刊,中]/潘孟春,任永益,毛声镛(国防科技大学机械电子工程仪器系.湖南,长沙(410073))∥国防科技大学学报.—1... TH165.2 95031704激光导向车(LGV)的实时姿态检测及控制=Real—time attitude testing and control of laser guid—ed vehiele[刊,中]/潘孟春,任永益,毛声镛(国防科技大学机械电子工程仪器系.湖南,长沙(410073))∥国防科技大学学报.—1994,16(2). 展开更多
关键词 激光导向 机械电子工程 姿态检测 国防科技大学 动态修调 应用 大学学报 实时检测 集成电路生产 电子工业
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超微细加工及设备
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《中国光学》 EI CAS 1997年第3期95-95,共1页
TN305.7 97032063同步辐射X射线光刻技术研究=Study of synchronousradiation X-rav photolithography[刊,中]/谢常青,陈梦真(中科院微电子中心北京同步辐射装置光刻站.北京(100010))//半导体技术.-1996,(2).-24-27对可能应用于0.2 μm... TN305.7 97032063同步辐射X射线光刻技术研究=Study of synchronousradiation X-rav photolithography[刊,中]/谢常青,陈梦真(中科院微电子中心北京同步辐射装置光刻站.北京(100010))//半导体技术.-1996,(2).-24-27对可能应用于0.2 μm及0.2 μm以下的同步辐射X射线光刻技术进行了讨论,并对其在未来的大规模集成电路生产中的应用前景进行了分析。图2参7(方舟) 展开更多
关键词 同步辐射装置 技术研究 光刻设备 集成电路生产 光刻技术 应用前景 电子中心 激光直接光刻 超微细加工 微细加工技术
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古老学府的活力——英国格拉斯哥大学漫记
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作者 朱正折 《国际展望》 北大核心 1989年第5期23-25,共3页
大不列颠北部的苏格兰,是资本主义产业革命的一个发源地。纺织、钢铁、采掘等传统产业在这里有着深厚的根基。它们走过了初创和发展的兴盛时期,近四分之一世纪以来经受着“夕阳工业”的衰落命运。但在产业结构战略性调整的浪潮里,电子... 大不列颠北部的苏格兰,是资本主义产业革命的一个发源地。纺织、钢铁、采掘等传统产业在这里有着深厚的根基。它们走过了初创和发展的兴盛时期,近四分之一世纪以来经受着“夕阳工业”的衰落命运。但在产业结构战略性调整的浪潮里,电子行业应运而起。苏格兰占有全国集成电路生产的50%,欧洲产品的15%,被称之为“英国的硅谷”。古老之中呈现活力,不仅这个地区的国民经济呈现着这种势头,而建立在这里的一所著名学府——格拉斯哥大学,也是古老与现代、传统与创新同时并存。 展开更多
关键词 格拉斯哥大学 电子行业 四分之一世纪 应运而起 集成电路生产 产业结构 兴盛时期 蒸汽发动机 高层领导人 一所
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世界贸易之最
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作者 蔡亲海 《国际贸易》 1983年第11期51-51,共1页
加拿大既是世界最大的新闻纸生产国,又是最大的出口国.1981年新闻纸产量达895万吨,占世界总产量的33.3%;出口量达790万吨,占世界出口量的63%.
关键词 世界造船业 新闻纸生产 总产量 出口量 加拿大 世界贸易 出口国 羊毛产量 集成电路生产 消费国
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名词解释
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《制造技术与机床》 北大核心 2015年第8期130-130,共1页
表面微机械加工技术表面微机械加工技术是在硅表面根据需要可生长多层薄膜,如二氧化硅(Si02)、多晶硅、氮化硅、磷硅玻璃膜层(PSG);采用选择性腐蚀技术,去除部分不需要的膜层,在硅平面上形成所需要的形状,甚至是可动部件,去... 表面微机械加工技术表面微机械加工技术是在硅表面根据需要可生长多层薄膜,如二氧化硅(Si02)、多晶硅、氮化硅、磷硅玻璃膜层(PSG);采用选择性腐蚀技术,去除部分不需要的膜层,在硅平面上形成所需要的形状,甚至是可动部件,去除的部分膜层一般称为”牺牲层”,整个加工过程都在硅片表面层上进行,其核心技术是”牺牲层”技术。表面微机械加工技术的优点在于:在制造过程中所使用的材料和工艺与常规集成电路生产有很强的兼容性,这就保证了从事经常性生产和研究所需的费用,而不必另外投资;再者,只要在制膜时略加改动,就可以用同样的方法制造出大量不同结构。其最大优势在于把机械结构与电子电路集成一起的能力,从而使微产品具有更好的性能和更高稳定性。 展开更多
关键词 名词解释 微机械加工技术 集成电路生产 制造过程 机械结构 硅表面 多层薄膜 二氧化硅
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