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P(VDF-TrFE)膜悬空结构集成热释电线列研究
1
作者
李金华
陈王丽华
+1 位作者
李坤
蔡忠龙
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2000年第2期104-106,共3页
用聚偏氟乙烯－三氟乙烯「Ｐ（ＶＤＦ－ＴｒＦＥ）」薄膜作１６＊１集成热释电线性阵列的敏感膜，经退火和７５ＫＶ／ｍｍ场强极化后测得其相对介电常数为１２．６，介电损耗约０．０１。为了降低热导和热容，提高探测器的探测灵敏度，...
用聚偏氟乙烯－三氟乙烯「Ｐ（ＶＤＦ－ＴｒＦＥ）」薄膜作１６＊１集成热释电线性阵列的敏感膜，经退火和７５ＫＶ／ｍｍ场强极化后测得其相对介电常数为１２．６，介电损耗约０．０１。为了降低热导和热容，提高探测器的探测灵敏度，用ＫＯＨ作化学腐蚀完全去除了线性阵列下方的硅衬底，形成悬空结构。
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关键词
集成热释电线
阵列
热
释
电传感器
悬空结构
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职称材料
题名
P(VDF-TrFE)膜悬空结构集成热释电线列研究
1
作者
李金华
陈王丽华
李坤
蔡忠龙
机构
香港理工大学应用物理系及材料研究中心
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2000年第2期104-106,共3页
基金
香港RGC(大学研究基金会)资金资助项目!(Polgu 35/96p)
文摘
用聚偏氟乙烯－三氟乙烯「Ｐ（ＶＤＦ－ＴｒＦＥ）」薄膜作１６＊１集成热释电线性阵列的敏感膜，经退火和７５ＫＶ／ｍｍ场强极化后测得其相对介电常数为１２．６，介电损耗约０．０１。为了降低热导和热容，提高探测器的探测灵敏度，用ＫＯＨ作化学腐蚀完全去除了线性阵列下方的硅衬底，形成悬空结构。
关键词
集成热释电线
阵列
热
释
电传感器
悬空结构
Keywords
integrated linear array
pyroelectric sensors
P(VDF-TrFE )film
suspended structure
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
P(VDF-TrFE)膜悬空结构集成热释电线列研究
李金华
陈王丽华
李坤
蔡忠龙
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2000
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