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集成光学角速度传感器及其关键器件的研制
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作者 章燕申 胡朝阳 +2 位作者 张斌 马新宇 田芊 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2000年第1期21-26,共6页
本文介绍了清华大学研制的集成光学角速度传感器 ( IORS)系统方案及其关键器件 ,包括 :( 1 )窄线宽单模光纤 Bragg光栅外腔式二极管激光器 ( FBG- LD) ;( 2 )声体波的声光移频器 ( AOFS)及其直接数字合成 ( DDS)的控制电路 ;( 3)谐振型 ... 本文介绍了清华大学研制的集成光学角速度传感器 ( IORS)系统方案及其关键器件 ,包括 :( 1 )窄线宽单模光纤 Bragg光栅外腔式二极管激光器 ( FBG- LD) ;( 2 )声体波的声光移频器 ( AOFS)及其直接数字合成 ( DDS)的控制电路 ;( 3)谐振型 IORS( R- IORS)的实验装置 ,采用光纤仿真的光波导 Sagnac敏感环 ( SSR) ;( 4 )干涉型 IORS( I- IORS)的实验装置 ,采用光纤仿真的再入式 SSR。采用上述 AOFS研制了一种全光纤延迟的自外差测量系统 ,用于测量上述 FBG- L D。初步的实验结果表明 ,所提出的上述 R- IORS和 I- 展开更多
关键词 集成光学角速度传感器 声光移频器 FBG-LD
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集成光学角速度传感器系统方案的研究 被引量:9
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作者 丁衡高 伍晓明 +3 位作者 马新宇 胡朝阳 张斌 章燕申 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1999年第4期50-54,共5页
本文研究了谐振型和干涉型两类集成光学角速度传器(R- IORS 和I- IORS) 的系统方案,设计了两种R- IORS 的光纤仿真实验装置:反射式和透射式,并介绍了对它们的实验研究结果。文中还提出了一种再入式I- IOR... 本文研究了谐振型和干涉型两类集成光学角速度传器(R- IORS 和I- IORS) 的系统方案,设计了两种R- IORS 的光纤仿真实验装置:反射式和透射式,并介绍了对它们的实验研究结果。文中还提出了一种再入式I- IORS的系统方案,并进行了理论分析。 展开更多
关键词 集成光学角度速度传感器 Sagnac效应敏感环(SSR) 系统方案
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基于集成光学的兆伏每米强脉冲电场传感器研制 被引量:1
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作者 石跃武 陈伟 +7 位作者 聂鑫 王伟 苗建国 吴伟 陈志强 谢霖燊 吴刚 贾伟 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期81-88,共8页
针对兆伏每米(MV/m)强脉冲电场的测量需求,设计并研制了基于集成光学的共路干涉仪(CPI)小体积宽带脉冲电场传感器。基于电光效应及电光调制原理,建立了传感器的幅度和频率响应传递函数,分析了集成光学探头的接收特性,并推导了探头灵敏... 针对兆伏每米(MV/m)强脉冲电场的测量需求,设计并研制了基于集成光学的共路干涉仪(CPI)小体积宽带脉冲电场传感器。基于电光效应及电光调制原理,建立了传感器的幅度和频率响应传递函数,分析了集成光学探头的接收特性,并推导了探头灵敏度和带宽随波导长度的关系。设计了适用于MV/m量级脉冲电场测量的纯光学非金属CPI传感器,提出了利用晶体宽度对测量灵敏度调控的方法,使得设计的半波电场提高了2倍以上。研制的无源探头体积小于20 mm×10 mm×5 mm、理论带宽大于4 GHz、最大测量幅度大于1.2 MV/m。研制的传感器在高空电磁脉冲(HEMP)、雷电电磁脉冲(LEMP)及脉冲功率等领域具有应用前景。 展开更多
关键词 共路干涉仪 脉冲电场 集成光学 传感器 电光效应
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基于集成光学电场传感器的过电压测量技术 被引量:19
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作者 谢施君 汪海 +3 位作者 曾嵘 李建明 庄池杰 王乃会 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期2929-2935,共7页
通过测量电场获取电力设备实际遭受的过电压对于电力系统故障分析、电力设备绝缘耐受试验标准制定具有重要的指导意义。为此,提出了一种基于集成光学电场传感器的过电压测量技术。首先,介绍了该测量技术的基本原理;其次,研制了集成光学... 通过测量电场获取电力设备实际遭受的过电压对于电力系统故障分析、电力设备绝缘耐受试验标准制定具有重要的指导意义。为此,提出了一种基于集成光学电场传感器的过电压测量技术。首先,介绍了该测量技术的基本原理;其次,研制了集成光学电场传感器,并对过电压测量系统的响应速度、频率响应等性能指标进行了测试;最后,采用所提出的测量技术对220 k V母线投入电容式电压互感器(CVT)、投入避雷器期间产生的过电压分别进行了测量。结果表明:过电压测量系统的响应速度达μs级,频率响应在5 Hz^100 MHz内比较平坦;在投入CVT和避雷器的暂态过程中,过电压上升时间约为几μs,过电压倍数可达1.73倍。测量结果反映的物理过程与理论分析一致。 展开更多
关键词 过电压测量 电场 集成光学电场传感器 频率响应 响应速度 解耦
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三分量光弹波导混合集成加速度传感器 被引量:4
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作者 唐东林 陈才和 +1 位作者 崔宇明 王金海 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1062-1065,共4页
三分量光弹波导MZ干涉型集成加速度传感器的研究,为高频高精度地震勘探提供集成化的高精度传感器.利用光弹原理,分析了光弹效应检测任意方向加速度的原理.在X切Y传LiNbO3晶体上,设计制作了光波导双MZ干涉仪及各集成器件:波导相位调制器... 三分量光弹波导MZ干涉型集成加速度传感器的研究,为高频高精度地震勘探提供集成化的高精度传感器.利用光弹原理,分析了光弹效应检测任意方向加速度的原理.在X切Y传LiNbO3晶体上,设计制作了光波导双MZ干涉仪及各集成器件:波导相位调制器、波导偏振器.三分量光弹波导MZ干涉型集成加速度传感器测试表明:该传感器动态范围宽、线性性好.主要参数为:相位灵敏度达1.81×10-4Rad/m·s-2;工作频带3~1506(Hz). 展开更多
关键词 混合集成 三分量加速度传感器 光弹波导 马赫-曾德干涉 光学效应
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谐振式集成光学角速率传感器光源的研究 被引量:2
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作者 潘珍吾 胡朝阳 +1 位作者 马新宇 汤全安 《红外与激光工程》 EI CSCD 2000年第3期56-59,共4页
文中对谐振式集成光学角速率传感器 (IORS)的关键器件之一———大功率、窄线宽光源进行的分析与实验表明 ,为达到优于 1(°) /h的分辨率 ,光源的线宽应小于 30 0kHz;在实验研究中采用大功率、窄线宽的半导体激光器 (LD)泵浦Nd :YA... 文中对谐振式集成光学角速率传感器 (IORS)的关键器件之一———大功率、窄线宽光源进行的分析与实验表明 ,为达到优于 1(°) /h的分辨率 ,光源的线宽应小于 30 0kHz;在实验研究中采用大功率、窄线宽的半导体激光器 (LD)泵浦Nd :YAG激光器和光纤光栅外腔半导体激光器(FBG LD)作为光源 ,分别应用于保偏光纤谐振腔构成的IORS的实验装置 ,实测谐振腔的清晰度与理论计算值是一致的。 展开更多
关键词 角速率传感器 集成光学 光源
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利用微机械技术的谐振器及集成光学传感器研究
7
作者 王跃林 金仲和 +1 位作者 丁纯 徐义刚 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期331-335,共5页
本文以硅微机械技术为基础研究了微谐振器和集成光学传感器。讨论了不同激励与检测方式下的谐振器的理论、工艺及其性能。并研究了以硅脊形波导为基础制作集成光学传感器的理论与工艺问题。
关键词 集成光学 微谐振器 微机械技术 激励电压 悬臂梁 品质因素 硅微机械 谐振传感器 脊形波导 加热电阻
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抗共振反射集成光学传感器的研究进展
8
作者 吴英才 顾铮先 袁一方 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第11期1-3,共3页
抗共振反射光波导(ARROW)具有与传统光波导所不同的传播特性。利用覆盖层的抗共振反射性质,ARROW传播单模、高阶模被泄漏到基体。基于折射率的变化,抗共振反射传感器对物理量、化学量和生物分子间的相互作用有很高的敏感性。介绍了ARRO... 抗共振反射光波导(ARROW)具有与传统光波导所不同的传播特性。利用覆盖层的抗共振反射性质,ARROW传播单模、高阶模被泄漏到基体。基于折射率的变化,抗共振反射传感器对物理量、化学量和生物分子间的相互作用有很高的敏感性。介绍了ARROW的结构、传感器的工作原理以及最新研究进展。由于可采用CMOS工艺制作波导,且能与光探测器在一块集成,抗共振反射传感器将具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 抗共振反射光波导 集成光学 折射率 传感器
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基于光纤布拉格光栅与长周期光栅并联的集成光学传感器(英文) 被引量:16
9
作者 梁居发 敬世美 +3 位作者 孟爱华 陈超 刘云 于永森 《中国光学》 EI CAS CSCD 2016年第3期329-334,共6页
为了提高光纤传感器的性能和进一步缩小传感器的尺寸,通过实验制备出一种基于光纤布拉格光栅(FBG)与长周期光栅(LPG)并联的新型集成光学传感器。该传感器中的FBG和LPG是利用飞秒激光直写技术直接在普通单模光纤中刻写的。FBG和LPG是并... 为了提高光纤传感器的性能和进一步缩小传感器的尺寸,通过实验制备出一种基于光纤布拉格光栅(FBG)与长周期光栅(LPG)并联的新型集成光学传感器。该传感器中的FBG和LPG是利用飞秒激光直写技术直接在普通单模光纤中刻写的。FBG和LPG是并联关系,因此很大程度地缩小了传感器的长度。外界的温度和折射率的变化会引起FBG和LPG的谐振峰波长位置发生变化,据此对该集成传感器进行温度和折射率测量。实验结果表明:FBG谐振峰对折射率和温度的灵敏度分别为0 nm/RIU和12.98 pm/℃,而LPG在1 555 nm附近谐振峰对折射率和温度的灵敏度为196.46 nm/RIU和10.93 pm/℃。因此,根据双参数传感矩阵,该传感器可以对温度和外界折射率进行同时传感。 展开更多
关键词 集成光学传感器 光学布拉格光栅(FBG) 长周期光栅(LPG) 飞秒激光
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集成光学马赫-泽恩德电磁场传感器的研究 被引量:2
10
作者 汤小泓 王顺华 +1 位作者 孙守瑶 蔡伯荣 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1991年第1期4-6,共3页
本文报导了国内首次研制的一种集成光学电磁场传感器。器件主要由一只Ti-LiNbO_3马赫—泽恩德波导调制器和一根偶极天线组成。器件的测试结果表明:当外加电信号频率为1.5MHz时,器件输出的最小可测电压为1mV。
关键词 集成光学 传感器 电磁场
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具有互易光路的集成光学电压传感器 被引量:1
11
作者 周扬 卜乐平 +2 位作者 王黎明 杨娅娇 曾令强 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第8期11-14,31,共5页
文中提出了一种基于泡克耳斯效应的集成光学电压传感器测量直流电压的研究方案,光纤光路结构采用熊猫型保偏光纤与低偏光纤相结合以提高系统光路的互易性,理论上利用琼斯矩阵推导了入射光光路数学传输模型,得出干涉光强与干涉信号的关... 文中提出了一种基于泡克耳斯效应的集成光学电压传感器测量直流电压的研究方案,光纤光路结构采用熊猫型保偏光纤与低偏光纤相结合以提高系统光路的互易性,理论上利用琼斯矩阵推导了入射光光路数学传输模型,得出干涉光强与干涉信号的关系表达式。针对该光学电压传感器设计方案,搭建了实验平台并对系统进行了0~15 V直流实验,实验结果表明该传感器输入电压与数字输出曲线之间具有良好的线性关系,最大非线性误差为0.2%,可初步证明该传感器互易光路的可行性。 展开更多
关键词 集成光学电压传感器 互易光路 泡克耳斯效应 琼斯矩阵 电压测量 熊猫型保偏光纤
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高精度硅基集成光学温度传感器研究 被引量:11
12
作者 王艺蒙 舒浩文 韩秀友 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期1355-1361,共7页
传统温度检测在传感精度和响应时间等方面存在一定局限性,而基于热光效应的芯片级光电传感器不仅能够提升测量灵敏度和速度,也有利于降低系统复杂度和制造成本,近年来引起了人们广泛的关注。目前的集成温度传感器大多通过测量光学谐振... 传统温度检测在传感精度和响应时间等方面存在一定局限性,而基于热光效应的芯片级光电传感器不仅能够提升测量灵敏度和速度,也有利于降低系统复杂度和制造成本,近年来引起了人们广泛的关注。目前的集成温度传感器大多通过测量光学谐振腔对宽谱光源或可调谐光源的光谱响应来提供精准快速的测量解决方案,但这种基于宽光谱检测的方案无法实现实时处理,且成本较高,信号后处理较复杂,难以实现系统的整体集成。本文针对以上问题,采用硅基集成微环阵列技术设计了快速高精度的温度测量方法,通过对不同温度下级联微环阵列对单频激光的不同响应,构建光电二极管输出响应与温度变化的单调关系,从而实现实时高精度温度测量。为了提升单频光下的温度传感范围,使用多微环级联结构,并基于该结构设计了一种包括光源、微环阵列、探测器阵列、信号后处理单元和输出数据单元的硅基集成温度传感系统。根据实际用途的不同,在保证低功耗低成本的同时,该系统可以通过分别对级联微环数量、中心谐振波长以及谐振峰半高宽的设计改变温度测量范围以及温度测量分辨率,拥有比较大的设计自由度以及灵活的测量范围。通过对微环阵列的优化设计,实现了响应范围覆盖-20~105℃、精度优于60 mK、响应时间优于20μs的精准快速测量的温度传感。 展开更多
关键词 集成光学 温度测量 微环阵列 集成传感器
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用于宽频带时域电场测量的光电集成电场传感器 被引量:26
13
作者 曾嵘 俞俊杰 +4 位作者 牛犇 王博 李婵虓 汪海 陈未远 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第29期5234-5243,共10页
电场测量是电气工程领域的基础研究手段。光电集成电场传感器具有无源、小尺寸、宽频带、动态范围大等优点,能够满足电力工程领域不同场合的电场测量需求。首先介绍了光电集成电场传感器的半波电场、静态偏置点可控性、温度稳定性和湿... 电场测量是电气工程领域的基础研究手段。光电集成电场传感器具有无源、小尺寸、宽频带、动态范围大等优点,能够满足电力工程领域不同场合的电场测量需求。首先介绍了光电集成电场传感器的半波电场、静态偏置点可控性、温度稳定性和湿度稳定性四方面的关键技术问题以及相关解决措施,并提出了未来相关方向的具体研究工作思路及其改进方案。另外就所研制的光电集成电场传感器的线性测量范围、时域响应、频率响应等关键电气特性进行了比较分析。最后,结合近年的工作,介绍了利用所研制光电集成电场传感器在直流、工频、μs级暂态、ns级暂态等典型时域电场中的测量应用。 展开更多
关键词 光电集成电场传感器 集成光学 泡克尔斯效应 时域 宽频带
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几种新型集成硅微(型)传感器系统
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作者 温志渝 费龙 +1 位作者 胡松 钟先信 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第1期25-28,共4页
介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺.
关键词 微机械技术 微型 传感器系统 集成光学
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集成光波导电场传感器分段电极频率响应分析 被引量:3
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作者 胡哲峰 陈福深 +1 位作者 孙豹 陈实 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期688-691,共4页
为了研究集成光波导电场传感器分段电极的频率响应特性,采用时域有限差分法进行了数值计算,并在吉赫兹横电磁波室中对实际制作器件的频率响应特性进行了测试。结果表明,当分段数固定在10、电极总长度从42mm减小到12mm时,频率响应带宽从2... 为了研究集成光波导电场传感器分段电极的频率响应特性,采用时域有限差分法进行了数值计算,并在吉赫兹横电磁波室中对实际制作器件的频率响应特性进行了测试。结果表明,当分段数固定在10、电极总长度从42mm减小到12mm时,频率响应带宽从2.68GHz增加到5.91GHz;而当电极总长度保持为42mm、分段数从10增加到30时,频率响应带宽从2.68GHz减小到2.51GHz,变化不大。实际测试的结果与仿真结果大致相符。 展开更多
关键词 集成光学 光波导 电场传感器 分段电极 频率响应 有限时域差分
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铌酸锂集成MZI型光波导大电流传感器 被引量:5
16
作者 杨杜兵 张家洪 +2 位作者 陈福深 赵振刚 李英娜 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期87-95,共9页
采用集成光学技术,设计与研制出了一种用于大电流测量的集成光波导电流传感器,器件体积为78 mm×18 mm×9 mm。对带有多环形天线和调制电极的传感器结构进行了理论分析,并利用COMSOL Multiphysics软件建立传感器的三维模型,仿... 采用集成光学技术,设计与研制出了一种用于大电流测量的集成光波导电流传感器,器件体积为78 mm×18 mm×9 mm。对带有多环形天线和调制电极的传感器结构进行了理论分析,并利用COMSOL Multiphysics软件建立传感器的三维模型,仿真验证了所设计的传感器可用于脉冲大电流的测量。搭建了脉冲大电流测量实验系统,对传感器性能进行测试。结果表明,传感器测量得到的脉冲电流时域波形与Pearson电流互感器测量得到的脉冲电流时域波形相比,波前时间T_(f)和持续时间T_(d)的平均相对误差分别为3.9775%和5.4375%。传感器在100~3300 A的被测电流范围内,线性相关系数为0.99897,当信噪比为6 dB时,传感器最小可测电流为66 A。 展开更多
关键词 集成光学 马赫-曾德尔干涉仪 环形天线 电流传感器 脉冲大电流
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集成马赫曾德型光波导工频强电场传感器 被引量:6
17
作者 李佳文 张家洪 +2 位作者 许晓平 赵振刚 李川 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期42-49,共8页
利用集成光学技术设计并研制了一种时域测量电力系统中工频强电场的传感器,体积为80 mm×18 mm×7.5 mm.采用调谐光源波长的方法补偿环境变化带来的工作点漂移,形成π/2的静态工作点,从而使传感器稳定地工作在线性区.理论分析... 利用集成光学技术设计并研制了一种时域测量电力系统中工频强电场的传感器,体积为80 mm×18 mm×7.5 mm.采用调谐光源波长的方法补偿环境变化带来的工作点漂移,形成π/2的静态工作点,从而使传感器稳定地工作在线性区.理论分析了一种带有电极对的集成电光工频电场传感器.根据国标GB/T12720-1991建立了工频电场测试系统,对传感器的时域动态范围进行了测试.结果表明:传感器时域可测电场范围为0.35~125 kV/m,线性相关系数为0.997,线性动态范围达51 dB,适合用于工频强电场测量. 展开更多
关键词 集成光学 电场测量 非对称马赫曾德干涉仪 屏蔽电极 工作点 光波导传感器 时域分析
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集成光波导直流电场传感器设计与实现 被引量:5
18
作者 张建鑫 张家洪 陈福深 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期59-67,共9页
针对集成光波导电场传感器无法直接对直流电场响应的问题,基于场磨式电场传感器的基本原理,研制了一种由直流电机、屏蔽电极、集成光波导和感应电极构成的直流电场传感器,其体积为87.5 mm×58.5 mm×17.5 mm。推导给出了集成光... 针对集成光波导电场传感器无法直接对直流电场响应的问题,基于场磨式电场传感器的基本原理,研制了一种由直流电机、屏蔽电极、集成光波导和感应电极构成的直流电场传感器,其体积为87.5 mm×58.5 mm×17.5 mm。推导给出了集成光波导直流电场传感器的工作原理,利用COMSOL软件构建了传感器的三维仿真模型,仿真得出了感应电极上的电场强度随着屏蔽电极的旋转进行周期性的变化。建立直流电场测试系统,对研制的集成光波导直流电场传感器的动态范围进行测试。结果表明:传感器的最小可测电场为5 kV/m,最大可测电场大于140 kV/m,线性相关系数为0.995 1,适合用于直流电场测量。 展开更多
关键词 集成光学 直流电场测量 光波导传感器 场磨式原理 电光调制
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大规模集成光学微腔传感研究进展(特邀)
19
作者 孙博姝 孙春雷 +2 位作者 唐仁杰 王艺婷 李兰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期23-38,共16页
近年来,集成光学微腔因其高灵敏度、高拓展性和高集成度在传感领域得到了广泛应用。利用低成本的互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容的微纳加工工艺,集成光学微腔在实现大规模制备的小型化传感系统中具有显著潜力。然而,实现大规模传感阵... 近年来,集成光学微腔因其高灵敏度、高拓展性和高集成度在传感领域得到了广泛应用。利用低成本的互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容的微纳加工工艺,集成光学微腔在实现大规模制备的小型化传感系统中具有显著潜力。然而,实现大规模传感阵列系统仍然面临着诸多挑战,包括传感通量不足、全集成难度大、封装和测试成本高等。这些挑战主要是由传感器的系统架构复杂、光谱利用率低、加工工艺成本高等各种因素导致。本文旨在阐述常见阵列传感架构设计、集成光学谐振微腔传感器基本单元(主要包括微环、缺陷型光子晶体以及Fabry-Pérot型光子晶体谐振腔结构)及其传感阵列应用工作的研究进展。此外,还探讨了传感阵列系统的可拓展性和优化方案,并对其未来的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 集成光学器件 传感器 光子晶体波导 谐振腔 光子晶体
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光学传感、传感器
20
《中国光学》 EI CAS 2003年第3期63-64,共2页
TP212.14 2003032080基于CMOS图像传感器的成像系统设计=Imaging systemdesign based on CMOS image sensors[刊,中]/宋勇(北京理工大学信息工程学院.北京(100081)),郝群…∥光学技术.—2002,28(3).—253-254,256以OV5116CMOS图像传感... TP212.14 2003032080基于CMOS图像传感器的成像系统设计=Imaging systemdesign based on CMOS image sensors[刊,中]/宋勇(北京理工大学信息工程学院.北京(100081)),郝群…∥光学技术.—2002,28(3).—253-254,256以OV5116CMOS图像传感器为例,讨论了基于CMOS图像传感器的成像系统的电路设计方法及系统设计中应注意的问题;通过对CMOS图像传感器外围电路的优化设计,实现了成像系统的微型化和轻量化。图2表1参5(方舟) 展开更多
关键词 图像传感器 集成传感器 成像系统设计 设计方法 优化设计 光学技术 哈特曼传感器 信息工程学 光电二极管 荧光增强
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