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集成传感器芯片的封装应力分析 被引量:5
1
作者 徐敬波 赵玉龙 +1 位作者 蒋庄德 孙剑 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1338-1342,共5页
针对集成传感器芯片封装粘贴过程中的残余应力影响器件性能的问题,使用有限元方法对环氧粘胶粘贴集成传感器芯片产生的封装残余应力进行了分析.采用有机层压板作为封装基板,仿真计算了环氧粘胶的杨氏模量、厚度和溢出厚度的变化对集成... 针对集成传感器芯片封装粘贴过程中的残余应力影响器件性能的问题,使用有限元方法对环氧粘胶粘贴集成传感器芯片产生的封装残余应力进行了分析.采用有机层压板作为封装基板,仿真计算了环氧粘胶的杨氏模量、厚度和溢出厚度的变化对集成传感器性能的影响,同时对集成传感器进行了封装实验.实验测量与仿真结果的比较分析表明:通过选择低杨氏模量的环氧粘胶、增加环氧粘胶厚度和增加环氧粘胶的溢出厚度可以减小封装应力对集成传感器的影响,而且封装应力对其中压力传感器的影响远大于对温度和湿度传感器的影响.分析结果对集成传感器的封装应用具有一定的参考价值. 展开更多
关键词 集成传感器 封装 有限元 残余应力
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基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器 被引量:4
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作者 武宇 赵湛 +1 位作者 方震 张博军 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z3期101-103,共3页
微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量,降低成本,提高系统的可靠性,具有重要的科学意义。基于聚酰亚胺材料,利用MEMS技术,设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测的微型集成传感器。分别采用湿敏电容、铂电阻法和聚酰亚... 微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量,降低成本,提高系统的可靠性,具有重要的科学意义。基于聚酰亚胺材料,利用MEMS技术,设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测的微型集成传感器。分别采用湿敏电容、铂电阻法和聚酰亚胺薄膜对湿度、温度、压力进行检测,并且进行了理论计算,设计了加工工艺步骤,制作出雏形器件。 展开更多
关键词 集成传感器 MEMS 聚酰亚胺 湿
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应用SU-8粘合技术的微型压力、温度和湿度集成传感器(英文) 被引量:3
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作者 张建刚 庞程 +1 位作者 方震 赵湛 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1350-1354,共5页
压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点,在环境监测和工业控制等领域应用广泛。基于微机电系统(MEMS)技术,本文设计和制作了一种尺寸为5.5mm×3.5mm×0.8mm的高精度压力、温度和湿度集成传感器。该... 压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点,在环境监测和工业控制等领域应用广泛。基于微机电系统(MEMS)技术,本文设计和制作了一种尺寸为5.5mm×3.5mm×0.8mm的高精度压力、温度和湿度集成传感器。该集成传感器由SU-8真空粘合技术制作的铂压阻压力传感器,铂电阻温度传感器和电容式湿度传感器组成。介绍了该集成传感器的设计思想、结构和制备过程,给出了实验和测试方法。结果表明,压力传感器的精度优于0.05%;温度传感器的精度为0.3%;湿度集成传感器的量程为25%RH~95%RH,其性能曲线的线性相关系数为0.998。集成传感器中的这3种传感器的高精度表明该集成传感器的制作工艺具有良好的工艺兼容性。 展开更多
关键词 集成传感器 压力传感器 温度传感器 湿度传感器 聚酰亚胺 SU-8粘合技术
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基于MEMS工艺的硅基四电极电导率与温度集成传感器芯片的研制 被引量:5
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作者 张高燕 吴少华 赵湛 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第7期966-969,共4页
水参数的集成测量是水资源保护和海洋科学的基础,具有重要的意义。基于MEMS技术设计了流程简单、易于制备的铂电阻式温度传感器与圆环形四电极式电导率传感器集成芯片,采用专用的温度检定箱和双运放结构的测量电路分别对集成芯片的温度... 水参数的集成测量是水资源保护和海洋科学的基础,具有重要的意义。基于MEMS技术设计了流程简单、易于制备的铂电阻式温度传感器与圆环形四电极式电导率传感器集成芯片,采用专用的温度检定箱和双运放结构的测量电路分别对集成芯片的温度部分和电导率部分进行测试,得到了较好的测量结果。良好的线性曲线有利于后续的标定与应用。这款集成芯片避免了已有此类集成芯片的复杂工艺过程,通过批量制造技术可以使传感器成本降低,一致性提高。 展开更多
关键词 硅基集成传感器芯片 水参数监测 MEMS 四电极式电导率测量
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0.6μm CMOS集成传感器电路兼容的RS232串行通信发送接口芯片研究 被引量:4
5
作者 孙颖 吴献 朱大中 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期114-117,共4页
采用5 V 0.6μm标准CMOS工艺设计制造了具有RS232串行通信发送接口的传感器接口芯片.该芯片包含电荷泵和发送电路两个功能模块.其中电荷泵对5 V电源进行正/负倍压得到+7.6 V和-6.1 V的正负电平,并作为发送电路的电源,实现CMOS/TTL电平到... 采用5 V 0.6μm标准CMOS工艺设计制造了具有RS232串行通信发送接口的传感器接口芯片.该芯片包含电荷泵和发送电路两个功能模块.其中电荷泵对5 V电源进行正/负倍压得到+7.6 V和-6.1 V的正负电平,并作为发送电路的电源,实现CMOS/TTL电平到EIA/TIA RS-232C电平的转换.3 KΩ和1 000 pF负载情况下,在230.4 kbit/s数据速率范围内,实现了TTL/CMOS电平到RS232电平转换的发送功能.将传感器的输出模拟信号经A/D变换后,即可经所设计的发送接口芯片实现传感信号的串行发送.为进一步实现基于标准CMOS工艺的传感器与信号处理电路和串行通信接口功能的兼容集成打下了基础. 展开更多
关键词 RS232串行接口 10.6μm CMOSI集成传感器 电荷泵
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带有集成传感器的轴承单元 被引量:5
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作者 杜迎辉 程俊景 《轴承》 北大核心 2002年第5期39-40,共2页
传感轴承亦称智能轴承 ,是把具有某些功能的传感器与轴承结合为一体结构单元。它除支承转轴外还可测量两套圈的相对运动 ,传感记录旋转速度与方向 ,从这些数据可获得角速度及转速。附表 1个 ,图
关键词 智能轴承 深沟球轴承 集成传感器 轴承单元 结构 工作原理
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基于集成传感器技术的液压系统检测仪 被引量:5
7
作者 严骏 杨小强 《机床与液压》 北大核心 2004年第5期143-144,188,共3页
文章分析了新型数字式液压系统检测仪压力、流量、温度、泵组功率四个重要参数的测试原理 ,着重讲述了基于创新设计———三位一体集成传感器基础上的电路设计及其实现途径 。
关键词 液压系统 集成传感器 检测仪 测试方法
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带有集成传感器的轴承单元 被引量:1
8
作者 杜迎辉 程俊景 《轴承》 北大核心 2000年第5期39-40,共2页
关键词 集成传感器 轴承单元 智能轴承
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SWDC-4A联合POS进行集成传感器定向研究
9
作者 马东岭 李峰 +1 位作者 杨海东 刘宗杰 《测绘通报》 CSCD 北大核心 2013年第7期57-59,共3页
介绍利用轻型飞机A2C搭载国产轻型组合宽角数字测绘相机SWDC-4A联合POS进行航测试验研究,探讨相机联合POS进行集成传感器定向测图的精度。试验采用将POS数据解算的定位定向参数参与到摄影测量区域网平差中,采用统一的数学模型和算法确... 介绍利用轻型飞机A2C搭载国产轻型组合宽角数字测绘相机SWDC-4A联合POS进行航测试验研究,探讨相机联合POS进行集成传感器定向测图的精度。试验采用将POS数据解算的定位定向参数参与到摄影测量区域网平差中,采用统一的数学模型和算法确定像片精确外方位元素的方法,并以常规空三结果对其进行验证。试验结果表明,采用地面元分辨率为6 cm的航摄影像,通过33个地面检查点的验证,SWDC-4A联合POS的集成传感器定向可以满足1∶500测图要求。 展开更多
关键词 SWDC-4A POS 集成传感器定向 GPS辅助空三
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应用于集成传感器的高精度接口芯片设计
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作者 宋敏 邹雪城 +3 位作者 东振中 杨存孝 谢永强 沈绪榜 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第12期9-12,共4页
针对集成传感器接口信号微弱,对低频噪声敏感的特性,设计了一种高精度低失调的传感器接口芯片。采用嵌套斩波运放可编程增益放大器结构,隔离放大传感器感测到的模拟信号。ADC采用增量三阶单环单比特量化sigma-del ta调制器,积分电路运... 针对集成传感器接口信号微弱,对低频噪声敏感的特性,设计了一种高精度低失调的传感器接口芯片。采用嵌套斩波运放可编程增益放大器结构,隔离放大传感器感测到的模拟信号。ADC采用增量三阶单环单比特量化sigma-del ta调制器,积分电路运用了相关双采样技术,有效抑制了传感器接口电路的低频噪声。芯片采用0.18μm CMOS双层多晶硅五层金属工艺实现,测试结果表明,增量sigma-delta ADC的SNDR达到了90.8 d B,有效位数达到14.79位。 展开更多
关键词 集成传感器 嵌套斩波 SIGMA-DELTA调制器 相关双采样
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多晶硅桥在集成传感器中的多功能性研究
11
作者 冯耀兰 骆志强 陆淑伟 《传感器与微系统》 CSCD 1989年第1期19-21,共3页
采用多晶硅桥结构作为集成传感器的敏感元件,容易制成用于测量流速、流向、温度和光强等的多功能传感器,此结构制造简单、设计灵活、兼容性强、性能优良,为解决传感器的集成化。
关键词 集成传感器 功能性研究 多功能传感器 敏感元件 测量流速 信号处理电路 微机械加工技术 敏感性能 流量传感器 微元体
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采用集成传感器的液压系统故障检测仪 被引量:2
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作者 裴东 谭业发 +2 位作者 田华平 张绍千 吴刚 《液压与气动》 北大核心 2004年第6期57-59,共3页
介绍了采用集成传感器的工程机械液压系统检测仪的设计思想及硬、软件设计技术。提出并实现了三位一体的传感器设计 ,软件设计中采用了分频算法和非线性校正等技术。使用结果表明 ,该检测仪可以准确地测量液压系统参数 。
关键词 液压系统 故障检测仪 集成传感器 工程机械 故障诊断
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基于MEMS技术的温湿压集成传感器
13
作者 王奇 赵湛 +2 位作者 曾欢欢 方震 张博军 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期166-168,共3页
介绍了一种具有新结构的温湿压集成传感器,分别采用了热敏电阻法测量温度、导热检测法检测湿度、应变电阻法检测压力.这种集成传感器主要是采用硅、氮化硅和铂金为材料制作的.测量温度和湿度的铂金电阻都在悬空氮化硅薄膜上,测量压力的... 介绍了一种具有新结构的温湿压集成传感器,分别采用了热敏电阻法测量温度、导热检测法检测湿度、应变电阻法检测压力.这种集成传感器主要是采用硅、氮化硅和铂金为材料制作的.测量温度和湿度的铂金电阻都在悬空氮化硅薄膜上,测量压力的压力敏感膜也是由悬空氮化硅薄膜形成的.这种传感器与一般的集成传感器相比,具有结构简单、工艺简单、精度高的优点. 展开更多
关键词 MEMS 温湿压集成传感器 氮化硅 薄膜
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美卓推出应用于卫生纸机的无辐射源集成传感器
14
《中国造纸》 CAS 北大核心 2010年第4期7-7,共1页
关键词 集成传感器 卫生纸机 辐射源 应用 质量控制系统 SELECT 现场测试 同时测量
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谐波减速器集成式薄膜温度传感器设计与测试
15
作者 曹嘉鋆 沈文强 +2 位作者 王晓东 杨金祎 娄志峰 《光学精密工程》 北大核心 2025年第13期2066-2075,共10页
谐波减速器工作状态下温度数据的实时采集和监控有助于及时对谐波减速器进行故障诊断和性能优化,因此提出一种原位集成于谐波减速器内部的薄膜温度传感器。为降低谐波减速器工作时柔轮应变对温度传感器测温准确性的影响,采用有限元计算... 谐波减速器工作状态下温度数据的实时采集和监控有助于及时对谐波减速器进行故障诊断和性能优化,因此提出一种原位集成于谐波减速器内部的薄膜温度传感器。为降低谐波减速器工作时柔轮应变对温度传感器测温准确性的影响,采用有限元计算方法分析谐波减速器不同工作状态下的应变规律,对薄膜温度传感器进行结构设计降低应变对测温的干扰。基于MEMS工艺制备薄膜温度传感器,对应变影响进行温度补偿,并对传感器的测温性能进行测试。测试结果表明,薄膜温度传感器静态测温精度为±0.30%,动态测温精度为±0.52%。对自制薄膜温度传感器测温性能进行重复实验,在20~120℃温度内,相对于标准温度传感器的标准差为0.072~0.296℃,实现了谐波减速器工作温度信号的实时采集。 展开更多
关键词 温度传感器 谐波减速器 有限元分析 集成传感器
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基于MEMS技术的温湿压集成传感器系统
16
作者 姜彤 柳微微 简荣坤 《传感器与微系统》 2025年第9期116-119,共4页
为实现多参数集成与协同测量,提出一种基于微机电系统(MEMS)技术的温湿压(THP)集成传感器系统。该系统由湿敏芯片、压敏芯片、信号处理电路与温敏芯片、基板、金属外壳叠层封装构成,解决复杂环境下多参数测量问题。通过理论计算设计敏... 为实现多参数集成与协同测量,提出一种基于微机电系统(MEMS)技术的温湿压(THP)集成传感器系统。该系统由湿敏芯片、压敏芯片、信号处理电路与温敏芯片、基板、金属外壳叠层封装构成,解决复杂环境下多参数测量问题。通过理论计算设计敏感芯片结构,采用体硅加工技术实现温度、湿度敏感芯片制备,将温湿压传感器及ASIC电路封装成为多参数集成传感器系统。封装后尺寸小于等于3 mm×3 mm×1.5 mm,具有体积小、重量轻的优点。温度测量范围为(-40~85)℃,精度±0.4℃;湿度测量范围为(0~100)%RH,精度为±2%RH,湿滞为±2%RH;压力测量范围为(0~100)kPa,精度<0.4%FS。 展开更多
关键词 温湿压集成传感器 MEMS技术
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基于集成气体传感器阵列的电子鼻系统 被引量:19
17
作者 杨建华 侯宏 +1 位作者 王磊 刘福 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第8期21-23,26,共4页
介绍一种基于集成气体传感器阵列的电子鼻系统硬件实现方法。描述了系统的一般组成,重点介绍了所采用的集成气体传感器及其信号拾取方法。该系统可实现对检测气体的自动数据采集、微机传送,具有高的灵敏性和可靠性。另外,对采用的集成... 介绍一种基于集成气体传感器阵列的电子鼻系统硬件实现方法。描述了系统的一般组成,重点介绍了所采用的集成气体传感器及其信号拾取方法。该系统可实现对检测气体的自动数据采集、微机传送,具有高的灵敏性和可靠性。另外,对采用的集成气体传感器系列,该电子鼻系统具有一定的通用性。利用该系统对五种葡萄酒进行了检测,结果表明:该电子鼻系统可有效地用于葡萄酒的定性识别,识别准确率达到100%。 展开更多
关键词 气体传感器 电子鼻系统 集成传感器阵列 灵敏性 可靠性 葡萄酒
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CMOS集成二维风速和风向传感器的研制 被引量:5
18
作者 张昭勇 秦明 +1 位作者 张中平 黄庆安 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期340-342,347,共4页
提出了一种新型结构的二维风向和风速传感器 ,其芯片上集成有运算放大电路。它主要由位于绝缘薄膜上的热敏感元件和加热电阻所组成 ,其中热敏感元件由两组互相垂直且分别对称放置的铝 /多晶硅型热电堆所构成 ,加热电阻位于热敏感元件的... 提出了一种新型结构的二维风向和风速传感器 ,其芯片上集成有运算放大电路。它主要由位于绝缘薄膜上的热敏感元件和加热电阻所组成 ,其中热敏感元件由两组互相垂直且分别对称放置的铝 /多晶硅型热电堆所构成 ,加热电阻位于热敏感元件的中间。具体阐述了此传感器的工作原理、结构尺寸和制备工艺 。 展开更多
关键词 CMOS集成传感器 风速 风向 研制 运算放大电路 热敏感元件 加热电阻 EDP
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一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器 被引量:5
19
作者 徐敬波 赵玉龙 +1 位作者 蒋庄德 孙剑 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1393-1398,共6页
针对恶劣环境和严格空间体积限制条件下的多参数测量问题,利用绝缘体上硅(SOI)材料,采用微型机械电子系统(MEMS)技术,研制了一种可以同时测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂... 针对恶劣环境和严格空间体积限制条件下的多参数测量问题,利用绝缘体上硅(SOI)材料,采用微型机械电子系统(MEMS)技术,研制了一种可以同时测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应,温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应。结合芯片中各传感器的工作原理,用有限元方法对设计的结构进行了仿真,确定集成传感器的电阻分布和结构参数。根据确定的集成传感器结构,制定了相应的制备工艺步骤。最后给出了集成传感器芯片的性能测试结果。 展开更多
关键词 集成传感器 SOI MEMS
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一种集成式多参数硅微传感器 被引量:5
20
作者 周建发 赵玉龙 +1 位作者 苑国英 蒋庄德 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期273-276,共4页
为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器。该传感器包括压力、温度和湿度传感器。各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成。该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工... 为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器。该传感器包括压力、温度和湿度传感器。各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成。该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工而成。测量电阻通过离子注入B+形成扩散电阻。为减小各参数间的相互影响,压力传感器的测量电阻布置于[110]晶向,测温电阻沿[100]晶向布置。温度输出信号可以实现对传感器中压力输出时温度漂移的精确补偿。芯片大小为5mm×5mm。试验表明传感器具有良好的线性,小迟滞,较高的灵敏度。 展开更多
关键词 压力传感器 扩散 温度传感器 湿度传感器 集成传感器
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