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基于集总参数宏模型的微机械陀螺多域耦合分析
被引量：
1
1
作者
苑伟政
吕湘连
李伟剑
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期401-405,共5页
对微机械陀螺中静电、结构、空气阻尼等物理域进行有效分离,在分别对各域进行数值模拟的基础上提取相应的物理参数,建立集总参数模型。在考虑边缘效应的情况下,提取了微结构电容与位移的解析表达式;根据热-流体类似方法,提取了阻尼孔结...
对微机械陀螺中静电、结构、空气阻尼等物理域进行有效分离,在分别对各域进行数值模拟的基础上提取相应的物理参数,建立集总参数模型。在考虑边缘效应的情况下,提取了微结构电容与位移的解析表达式;根据热-流体类似方法,提取了阻尼孔结构的阻尼系数和压膜刚度;根据结构动力学理论,由模态分析提取结构的有效刚度和有效质量。将这些物理参数综合在系统仿真器中与外围电路共同进行仿真,准确地评估不同条件下微机械陀螺的行为特性。
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关键词
微机电系统
集总参数宏模型
微机械陀螺
多域耦合分析
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职称材料
题名
基于集总参数宏模型的微机械陀螺多域耦合分析
被引量：
1
1
作者
苑伟政
吕湘连
李伟剑
机构
西北工业大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期401-405,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(50375125)
高等学校博士学科点专项基金资助项目(2003069903
20040699009)
文摘
对微机械陀螺中静电、结构、空气阻尼等物理域进行有效分离,在分别对各域进行数值模拟的基础上提取相应的物理参数,建立集总参数模型。在考虑边缘效应的情况下,提取了微结构电容与位移的解析表达式;根据热-流体类似方法,提取了阻尼孔结构的阻尼系数和压膜刚度;根据结构动力学理论,由模态分析提取结构的有效刚度和有效质量。将这些物理参数综合在系统仿真器中与外围电路共同进行仿真,准确地评估不同条件下微机械陀螺的行为特性。
关键词
微机电系统
集总参数宏模型
微机械陀螺
多域耦合分析
Keywords
MEMS
lumped parameter macromodel
micromachined gyroscope
multiple-do-main coupling analysis
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于集总参数宏模型的微机械陀螺多域耦合分析
苑伟政
吕湘连
李伟剑
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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