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基于波数扫描干涉的表面轮廓测量
被引量：
5
1
作者
何艳敏
谢创亮
+3 位作者
许卓明
鲍鸿
叶双莉
周延周
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期392-396,共5页
为了高精度测量被测物体表面3维轮廓,采用半导体激光器波数扫描干涉的方法,对激光波数扫描干涉进行了理论分析和实验验证。在迈克尔逊干涉系统的参考端引入一个光楔,通过2-D傅里叶变换提取光楔干涉图像的相位,在线检测激光器输出波数变...
为了高精度测量被测物体表面3维轮廓,采用半导体激光器波数扫描干涉的方法,对激光波数扫描干涉进行了理论分析和实验验证。在迈克尔逊干涉系统的参考端引入一个光楔,通过2-D傅里叶变换提取光楔干涉图像的相位,在线检测激光器输出波数变化,最后对所有时间分辨干涉图像序列进行随机采样傅里叶变换,还原被测物体表面3维轮廓。结果表明,轮廓测量精度达到±6.7nm。该方法特别适合于机械零件的质量检验。
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关键词
激光技术
轮廓测量
波数扫描
半导体激光器
随机采样傅里叶变换
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职称材料
题名
基于波数扫描干涉的表面轮廓测量
被引量：
5
1
作者
何艳敏
谢创亮
许卓明
鲍鸿
叶双莉
周延周
机构
广东工业大学自动化学院
武汉大学微电子与信息技术研究院
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期392-396,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51371129
11174226)
+1 种基金
广东省自然科学基金资助项目(1414050002003)
广州市科技计划资助项目(2014J4100203)
文摘
为了高精度测量被测物体表面3维轮廓,采用半导体激光器波数扫描干涉的方法,对激光波数扫描干涉进行了理论分析和实验验证。在迈克尔逊干涉系统的参考端引入一个光楔,通过2-D傅里叶变换提取光楔干涉图像的相位,在线检测激光器输出波数变化,最后对所有时间分辨干涉图像序列进行随机采样傅里叶变换,还原被测物体表面3维轮廓。结果表明,轮廓测量精度达到±6.7nm。该方法特别适合于机械零件的质量检验。
关键词
激光技术
轮廓测量
波数扫描
半导体激光器
随机采样傅里叶变换
Keywords
laser technique
profile measurement
wavenumber scanning
diode laser
random sampling Fourier transform
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于波数扫描干涉的表面轮廓测量
何艳敏
谢创亮
许卓明
鲍鸿
叶双莉
周延周
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016
5
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