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微构造硅表面形貌的陷光特性研究
被引量：
3
1
作者
何慧丽
陈长水
+1 位作者
王芳
刘颂豪
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期617-621,共5页
在特定的气体氛围下,用一定能量密度的飞秒激光连续照射单晶硅片表面,可制备出表面具有准规则排列微米量级锥形尖峰结构的黑硅材料。利用几何光学中光的传输理论,研究了黑硅材料的陷光特性,以及黑硅表面准规则排列的微米量级锥形尖峰结...
在特定的气体氛围下,用一定能量密度的飞秒激光连续照射单晶硅片表面,可制备出表面具有准规则排列微米量级锥形尖峰结构的黑硅材料。利用几何光学中光的传输理论,研究了黑硅材料的陷光特性,以及黑硅表面准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的形状和密度对反射次数的影响。得到黑硅的表面准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的高度越高、间距越小和底角越大,它的陷光效果就越好的结论。
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关键词
激
光
技术
黑硅
陷光特性
飞秒激
光
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职称材料
题名
微构造硅表面形貌的陷光特性研究
被引量：
3
1
作者
何慧丽
陈长水
王芳
刘颂豪
机构
华南师范大学光子纳米生物技术研究中心
出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期617-621,共5页
基金
国家自然基金项目(60878063)
广东省自然基金重点项目(10251063101000001
8251063101000006)
文摘
在特定的气体氛围下,用一定能量密度的飞秒激光连续照射单晶硅片表面,可制备出表面具有准规则排列微米量级锥形尖峰结构的黑硅材料。利用几何光学中光的传输理论,研究了黑硅材料的陷光特性,以及黑硅表面准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的形状和密度对反射次数的影响。得到黑硅的表面准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的高度越高、间距越小和底角越大,它的陷光效果就越好的结论。
关键词
激
光
技术
黑硅
陷光特性
飞秒激
光
Keywords
laser techniques
black silicon
light trapping properties
femtosecond laser
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
O613.72 [理学—无机化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微构造硅表面形貌的陷光特性研究
何慧丽
陈长水
王芳
刘颂豪
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011
3
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