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陶瓷-金属封接件高温热应力测定
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作者 杨钰平 刘云平 张美玲 《四川激光》 1981年第A02期88-88,共1页
测定电真空器件上常用的陶瓷——金属封接件的热应力一直是个难题。本文作者们采用激光全息干涉术成功地解决了这一课题。
关键词 陶瓷-金属封接 应力测定 高温 电真空器件 全息干涉术 热应力 激光
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Al_(2)O_(3)/Cu的界面微观结构及封接性能 被引量:3
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作者 范彬彬 赵林 +2 位作者 谢志鹏 康丁华 刘溪海 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2022年第1期241-248,共8页
采用活化Mo-Mn法和活性金属钎焊(AMB)工艺对Al_(2)O_(3)陶瓷进行金属化处理,分别研究了两种金属化工艺的界面形貌、新相的形成及显微结构的演变,并测试了Al_(2)O_(3)/Cu的力学性能和气密性。研究表明:采用活化Mo-Mn法的封接界面处出现... 采用活化Mo-Mn法和活性金属钎焊(AMB)工艺对Al_(2)O_(3)陶瓷进行金属化处理,分别研究了两种金属化工艺的界面形貌、新相的形成及显微结构的演变,并测试了Al_(2)O_(3)/Cu的力学性能和气密性。研究表明:采用活化Mo-Mn法的封接界面处出现玻璃相的迁移,形成了立方相MnAl_(2)O_(4),可以提高封接强度。AMB工艺中活性元素Ti与Al_(2)O_(3)反应依次形成厚度为0.64μm的TiO和1.03μm的Cu_(3)Ti_(3)O。各层间热膨胀系数(CTE)的差异给钎焊接头提供了良好的热弹性相容性且降低了残余应力。活化Mo-Mn法的封接强度((60.2±7.7)MPa)比AMB工艺((43.1±6.9)MPa)高,但在气密性方面两者并无明显差别(均在2.3×10^(-11) Pa·m^(3)·s^(-1)左右)。 展开更多
关键词 陶瓷-金属封接 Al_(2)O_(3)/Cu界面 活化Mo-Mn法 AMB工艺 金属 性能
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