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陶瓷衬底上多晶硅薄膜太阳电池研究进展 被引量:3
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作者 刘萍 杨仕娥 +3 位作者 王生钊 王红娟 张宇翔 卢景霄 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期409-414,共6页
多晶硅薄膜太阳电池在提高电池效率和大幅度降低成本等方面具有极大潜力。陶瓷材料是高温路线制备多晶硅薄膜电池最常用的衬底材料之一。本文介绍了陶瓷衬底上多晶硅薄膜的制备方法及其电池结构和相关工艺,最后综述了当前该领域的最新... 多晶硅薄膜太阳电池在提高电池效率和大幅度降低成本等方面具有极大潜力。陶瓷材料是高温路线制备多晶硅薄膜电池最常用的衬底材料之一。本文介绍了陶瓷衬底上多晶硅薄膜的制备方法及其电池结构和相关工艺,最后综述了当前该领域的最新研究进展。 展开更多
关键词 多晶硅薄膜太阳电池 陶瓷衬底 转换效率
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红外探测器封装陶瓷衬底材料特性及其应用研究 被引量:5
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作者 王玉龙 张磊 +2 位作者 赵秀峰 张懿 范博文 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期595-600,共6页
随着红外探测器阵列规模快速提升,在封装杜瓦要求轻量化、低成本、高效率的形势下,封装杜瓦陶瓷衬底设计难度加大。文章对比了几种科研实际中使用的陶瓷材料特性及其工艺可行性;研究了在测试杜瓦中,随着混成芯片阵列规模的提升,热应力... 随着红外探测器阵列规模快速提升,在封装杜瓦要求轻量化、低成本、高效率的形势下,封装杜瓦陶瓷衬底设计难度加大。文章对比了几种科研实际中使用的陶瓷材料特性及其工艺可行性;研究了在测试杜瓦中,随着混成芯片阵列规模的提升,热应力与芯片尺寸的相对关系;研究了Al2O3、Al N、Si C衬底材料在降低芯片热应力方面的能力差异;结合目前陶瓷加工工艺水平、加工成本以及探测器阵列规模,给出了Al2O3、Al N、Si C衬底材料在实际应用中的选取建议。 展开更多
关键词 红外探测器 陶瓷衬底 热应力 多层共烧陶瓷
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衬底温度对制备出CNT膜的影响 被引量:1
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作者 张武勤 高金海 《现代电子技术》 2010年第12期176-178,共3页
在陶瓷衬底上通过磁控溅射方法镀上金属钛层,用含铁杂质的氧化硅对钛层进行抛光,通过微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在不同的温度下短时间里制备出CNT膜。利用扫描电子显微镜、拉曼光谱,X射线衍射,分析了薄膜的结构和表面形貌。仔... 在陶瓷衬底上通过磁控溅射方法镀上金属钛层,用含铁杂质的氧化硅对钛层进行抛光,通过微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在不同的温度下短时间里制备出CNT膜。利用扫描电子显微镜、拉曼光谱,X射线衍射,分析了薄膜的结构和表面形貌。仔细研究不同温度下制备的CNT膜,得出衬底温度400℃时制备的碳膜是以非晶碳为主,600℃时置备的碳膜是良好的碳纳米管膜,800℃制备的碳纳米管膜的缺陷变得很多,以碳纳米链为主。最后得出了温度对催化活性有很大影响的结论。 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 碳纳米管 碳纳米链 陶瓷衬底
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金刚石聚晶薄膜制备及其电子场的发射性能
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作者 程春晓 高金海 张永胜 《河南科技大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2010年第1期88-90,共3页
微波等离子体化学气相沉积是制备微/纳米结构的方法之一,使用该方法在陶瓷衬底上制备微米金刚石聚晶材料薄膜。利用扫描电子显微镜表征了材料的表面形貌,单元尺寸一致,分布均匀。使用X射线衍射和拉曼光谱分析了薄膜的结构,测试了薄膜材... 微波等离子体化学气相沉积是制备微/纳米结构的方法之一,使用该方法在陶瓷衬底上制备微米金刚石聚晶材料薄膜。利用扫描电子显微镜表征了材料的表面形貌,单元尺寸一致,分布均匀。使用X射线衍射和拉曼光谱分析了薄膜的结构,测试了薄膜材料的电子场发射性能。数据表明:制备的薄膜材料开启电场为1.25V/μm,在2.55V/μm的电场下,其电子场发射电流密度达到6.3mA/cm2。 展开更多
关键词 化学气相沉积 金刚石聚晶薄膜 场发射 陶瓷衬底
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