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基于UV-LIGA技术的微型火箭及微型动力系统技术
被引量：
2
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作者
金鹏
谭久彬
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第14期1233-1234,1242,共3页
采用基于UV-LIGA技术的微型陶瓷结构微加工技术进行微型火箭和微型动力系统中高温零件的加工,获得了微型火箭与微型动力系统中的耐高温关键部件。新工艺成功实现了深宽比大于13的微型氧化铝陶瓷结构的加工。
关键词
UV—UGA
陶瓷微加工技术
微
型火箭
微
型动力系统
高温特性
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职称材料
题名
基于UV-LIGA技术的微型火箭及微型动力系统技术
被引量：
2
1
作者
金鹏
谭久彬
机构
哈尔滨工业大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第14期1233-1234,1242,共3页
基金
黑龙江省自然科学基金资助项目(E2004-06)
文摘
采用基于UV-LIGA技术的微型陶瓷结构微加工技术进行微型火箭和微型动力系统中高温零件的加工,获得了微型火箭与微型动力系统中的耐高温关键部件。新工艺成功实现了深宽比大于13的微型氧化铝陶瓷结构的加工。
关键词
UV—UGA
陶瓷微加工技术
微
型火箭
微
型动力系统
高温特性
Keywords
UV-LIGA
microfabrication process of ceramic
microrocket
microengine
temperature property
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
V434 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于UV-LIGA技术的微型火箭及微型动力系统技术
金鹏
谭久彬
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
2
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