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题名探测器阵列高精度二维标定平台控制系统设计
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作者
于龙昆
李智祥
温小辉
刘辉
谭逢富
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机构
南昌大学先进制造学院
南昌大学信息工程学院
中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所
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出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期300-309,共10页
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基金
国家自然科学基金(42165007)。
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文摘
为了实现快速、高精度探测器阵列标定,对探测器阵列高精度二维标定平台控制系统进行了研究,设计了采用单片机控制步进电机加编码器的闭环位移控制系统。介绍了该平台的标定原理和硬、软件控制系统设计,并对控制PID算法进行了研究,最后搭建了标定系统对控制系统进行综合测试。实验结果表明该控制系统有良好的控制能力,平台在600 mm×600 mm的有效行程内定位精度可达-11~12μm,十次单点测试数据变异系数为0.13%,连续模式下平均测量误差为1.65%。该平台设计满足探测器阵列的标定要求,为探测器阵列标定提供了一种有效手段。
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关键词
控制工程
探测器阵列标定
二维平台
闭环控制系统
步进电机
PID算法
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Keywords
control engineering
detector array calibration
two-dimensional platform
closed-loop control system
stepping motor
PID algorithm
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分类号
TH74
[机械工程—光学工程]
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题名太赫兹阵列探测器响应度校准溯源研究
被引量：2
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作者
高艳姣
方波
邓玉强
於康杰
戚岑科
蔡晋辉
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机构
中国计量大学计量测试工程学院
中国计量科学研究院光学与激光计量科学研究所
杭州大华仪器制造有限公司
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2021年第10期1265-1270,共6页
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基金
国家重点研发计划(2018YFF01013005)
国家自然科学基金(11874333)。
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文摘
提出了一种太赫兹阵列探测器响应度校准溯源方法。首先,使用阵列探测器的每一像元对太赫兹辐照场中心进行逐一扫描,识别有效像元、死像元和过热像元,并对有效像元响应值进行归一化处理,获得阵列探测器的相对辐照度响应值。其次,使用中心像元对太赫兹辐照场进行扫描测量,扫描总面积大于太赫兹光斑尺寸,保证太赫兹功率被完整测量,获得中心像元与其他有效像元的太赫兹功率响应值。最后,用标准太赫兹功率计标定高莱功率计,扩展太赫兹功率校准量限,实现微瓦级太赫兹辐射功率测量溯源,用高莱功率计测得的太赫兹辐射源总功率对阵列探测器测得的积分响应值进行校准,得到阵列探测器辐照度响应绝对值。对探测器进行测量校准和不确定度分析,测得辐照度响应度的相对扩展不确定度为U_(rel)=20%(k=2),测量结果可溯源至国家太赫兹辐射功率标准。
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关键词
计量学
太赫兹辐射功率
阵列探测器标定
响应度校准
不确定度分析
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Keywords
metrology
terahertz radiant power
array detector calibration
responsivity calibration
uncertainty budget
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分类号
TB96
[机械工程—光学工程]
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