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阵列式芯片特定区域内微流体加热研究 被引量:3
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作者 王保成 章安良 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2017年第5期790-793,共4页
提出了阵列式芯片特定区域内微流体的加热方法,研制了4×4阵列式聚二甲基硅氧烷芯片及其特定区域的加热组件。在128°YX-LiNbO3基片上光刻16个叉指换能器,其激发的SAW驱动压电基片上油相流体,使其输运到待加热区的传热柱上,在... 提出了阵列式芯片特定区域内微流体的加热方法,研制了4×4阵列式聚二甲基硅氧烷芯片及其特定区域的加热组件。在128°YX-LiNbO3基片上光刻16个叉指换能器,其激发的SAW驱动压电基片上油相流体,使其输运到待加热区的传热柱上,在油相流体两侧的叉指换能器上加电信号,激发SAW加热油相流体,并通过传热柱加热阵列式芯片受热区内微流体。以石蜡油微流体为实验对象进行阵列式芯片特定区域微流体加热实验,结果表明,SAW可有效加热阵列式芯片特定区域内石蜡油微流体,在30.0dBm电信号功率作用下,使7.5μL石蜡油温度从22.3℃上升到33.5℃。 展开更多
关键词 声表面波 叉指换能器 阵列式芯片 微流器件 加热
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EMI滤波连接器板式阵列芯片的研制
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作者 徐自强 石玉 杨邦朝 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第22期5-8,共4页
EMI滤波连接器是传输信号和抑制导线或电缆电磁干扰的器件。简述了滤波连接器板式阵列芯片的原理和结构设计,比较了干法和湿法工艺在生产板式阵列芯片时各自的优点,着重介绍了干法工艺制备板式阵列芯片的工艺生产过程。通过优化流延工... EMI滤波连接器是传输信号和抑制导线或电缆电磁干扰的器件。简述了滤波连接器板式阵列芯片的原理和结构设计,比较了干法和湿法工艺在生产板式阵列芯片时各自的优点,着重介绍了干法工艺制备板式阵列芯片的工艺生产过程。通过优化流延工艺、控制丝网印刷精度、提高不同材料的匹配共烧兼容性和增强耐压等处理,成功地研制了不同规格型号的EMI滤波器板式阵列芯片。 展开更多
关键词 EMI 连接器 干法 阵列芯片
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