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10~5g压阻效应阵列式加速度微传感器硅悬臂梁结构分析 被引量：2
1
作者 谢元睿 刘晓明 《电子机械工程》 2004年第6期54-56,61,共4页
在已有105g压阻效应阵列式加速度微传感器版图设计的基础上,应用有限元理论及相关软件,对版图中的硅微悬臂梁进行了模态分析和结构动态计算。将宏观理论应用到微观结构分析中;并对该种结构的加速度传感器的样品进行了冲击实验,得到实验... 在已有105g压阻效应阵列式加速度微传感器版图设计的基础上,应用有限元理论及相关软件,对版图中的硅微悬臂梁进行了模态分析和结构动态计算。将宏观理论应用到微观结构分析中;并对该种结构的加速度传感器的样品进行了冲击实验,得到实验曲线。对计算分析与实验结果进行了比较,指出并分析了误差可能出现的方面。 展开更多
关键词 阵列式加速度微传感器 模态分析 结构分析 有限元 沙漏效应
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悬臂梁式硅微加速度传感器的设计仿真 被引量：4
2
作者 单光宝 魏海龙 刘佑宝 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2003年第3期69-72,共4页
文章利用ANSYS软件对悬臂梁式硅微加速度传感器敏感芯片进行了设计仿真,给出了一种能满足:量程50g,精度10-3要求的硅微加速度传感器的结构,并对加工时可能引入的工艺误差所带来的影响进行了讨论。
关键词 悬臂梁式硅微加速度传感器 设计 仿真 MEMS器件
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压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真 被引量：5
3
作者 隋丽 石庚辰 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2003年第B03期52-55,共4页
一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用单梁加质量块的形式 ,这种形式的传感器灵敏度比较高 ,但它的横向效应较难克服 ,文中提出一种四梁结构的加速度传感器 ,通过仿真计算 。
关键词 压阻式硅微加速度传感器 结构设计 仿真 工作原理 受力分析 灵敏度 频率分析
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基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计 被引量：6
4
作者 张建碧 《电子科技》 2009年第10期40-42,共3页
随着硅微机械加工技术(MEMS)的快速发展,各种基于MEMS技术的器件应运而生。文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试... 随着硅微机械加工技术(MEMS)的快速发展,各种基于MEMS技术的器件应运而生。文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,测试结果表明实验与理论设计值相符。 展开更多
关键词 微加工 微压阻式加速度传感器 有限元分析 硅
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基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计 被引量：4
5
作者 张建碧 《电子与封装》 2009年第10期39-41,共3页
硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作,因而在近年来发展迅速。文章首先对传感器结构... 硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作,因而在近年来发展迅速。文章首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,测试结果表明与理论设计值基本吻合。 展开更多
关键词 微加工 微压阻式加速度传感器 有限元分析 硅
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高g阵列式加速度传感器加速度场的研究 被引量：1
6
作者 谭先吉 刘晓明 《中国测试技术》 2004年第1期29-30,21,共3页
本文提出了研究高g阵列式加速度传感器加速度场分布规律的布阵方法 ,并以此为基础通过试验获得加速度场的分布规律 。
关键词 高g阵列式加速度传感器 加速度场 非线性 二次回归 正交设计
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基于微硅热丝的热流式加速度传感器 被引量：1
7
作者 王欢 李以贵 +2 位作者 蔡金东 吕曈 吴文渊 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第11期795-800,818,共7页
微加速度传感器由微压电泵驱动的连续循环密闭气流流路、硅热丝传感器以及惠斯登电桥测量电路三部分组成。利用硅热丝可以检测射流气体偏转引起的电阻变化,并通过惠斯登电桥电路测量出对应的加速度。基于硅热阻效应原理和微纳加工技术,... 微加速度传感器由微压电泵驱动的连续循环密闭气流流路、硅热丝传感器以及惠斯登电桥测量电路三部分组成。利用硅热丝可以检测射流气体偏转引起的电阻变化,并通过惠斯登电桥电路测量出对应的加速度。基于硅热阻效应原理和微纳加工技术,设计和制备了一种成本低、体积小、寿命长、耐冲击和振动的热流式微加速度传感器。利用ANSYS软件进行仿真,分析了连续循环密闭气流的流速分布图。基于光刻、硅刻蚀和键合等微纳加工技术,在绝缘衬底上的硅（SOI）基板上制备了基于微硅热丝的加速度传感器。经测试,硅丝（长400μm×宽4μm×高2μm）在室温下电阻为45kΩ,电阻温度系数（TCR）为4.6×10^-3/℃,传感器X和Y两个方向上的灵敏度为8mV/g。使用该方法制备的热流式传感器具有体积小、耐冲击和灵敏度高等优势。 展开更多
关键词 微硅热丝 热流式 硅热阻效应 加速度传感器 微纳加工技术
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阵列式加速度传感器
8
作者 朱钟淦 刘晓明 等 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期635-635,共1页
关键词 阵列式 加速度传感器 实验
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引信中应用的加速度传感器的研制
9
作者 刘晓明 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期207-211,共5页
讨论了应用于引信中的高g微阵列式加速度传感器的设计理论、布阵方法和微加工工艺。讨论过程中,针对测量不同的加速度值,利用了不同的设计方法和加工工艺及二维传感阵列的布阵设计上的特点,将微加工中三维加工工艺与平面加工工艺相结合... 讨论了应用于引信中的高g微阵列式加速度传感器的设计理论、布阵方法和微加工工艺。讨论过程中,针对测量不同的加速度值,利用了不同的设计方法和加工工艺及二维传感阵列的布阵设计上的特点,将微加工中三维加工工艺与平面加工工艺相结合,利用体加工技术和高深宽比刻蚀技术,研制出了微阵列加速度传感器的样品。经测试表明符合使用要求,其结果为实用化奠定了基础。 展开更多
关键词 微传感器 阵列式 加速度 微加工技术 引信
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《光电子技术》2014(第34卷)第1～4期总目次
10
《光电子技术》 CAS 北大核心 2014年第4期317-322,共6页
关键词 光电子技术 杨建兵 全息显示 唐文华 角加速度传感器 立体图像 有机发光二极管 人眼检测 图像拼接技术 微透镜阵列
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