期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究
被引量：
2
1
作者
陶新昕
夏善红
+1 位作者
苏杰
陈绍凤
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2001年第1期81-84,共4页
该文提出了“阴极-敏感薄膜复合”结构的新型真空微电子压力传感器,并研制出了“阴极-敏感薄膜复合”结构,对硅薄膜在外力作用下产生的形变及其应力分布进行了计算机模拟计算,并讨论了薄膜结构参数对其敏感特性的影响。
关键词
真空微电子
压力传感器
阴极-敏感膜
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究
被引量：
2
1
作者
陶新昕
夏善红
苏杰
陈绍凤
机构
中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室
出处
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2001年第1期81-84,共4页
基金
国家863计划
国家自然科学基金
文摘
该文提出了“阴极-敏感薄膜复合”结构的新型真空微电子压力传感器,并研制出了“阴极-敏感薄膜复合”结构,对硅薄膜在外力作用下产生的形变及其应力分布进行了计算机模拟计算,并讨论了薄膜结构参数对其敏感特性的影响。
关键词
真空微电子
压力传感器
阴极-敏感膜
Keywords
Vacuum microelectronic, Pressure sensor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究
陶新昕
夏善红
苏杰
陈绍凤
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2001
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
