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磁过滤阴极真空弧沉积装置研究中的等效电路方法
1
作者
王广甫
张荟星
《真空科学与技术》
EI
CSCD
北大核心
2003年第1期16-18,共3页
提出了模拟磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程的等效电路 ,并用此电路定性研究了各参数对弧放电的影响 。
关键词
磁过滤
阴极
真空
弧
放电
等离子体沉积装置
阴极弧放电过程
等效电路
薄膜
制备
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职称材料
题名
磁过滤阴极真空弧沉积装置研究中的等效电路方法
1
作者
王广甫
张荟星
机构
北京师范大学分析测试中心
北京师范大学低能核物理研究所射线束技术与材料改性教育部重点实验室
出处
《真空科学与技术》
EI
CSCD
北大核心
2003年第1期16-18,共3页
基金
国家"8 63"计划资助 (863 715 0 0 8 0 0 40)
文摘
提出了模拟磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程的等效电路 ,并用此电路定性研究了各参数对弧放电的影响 。
关键词
磁过滤
阴极
真空
弧
放电
等离子体沉积装置
阴极弧放电过程
等效电路
薄膜
制备
Keywords
Deposition
Electric arcs
Equivalent circuits
Magnetic fields
Plasmas
Vacuum applications
分类号
TB43 [一般工业技术]
TB79 [一般工业技术—真空技术]
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作者
出处
发文年
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1
磁过滤阴极真空弧沉积装置研究中的等效电路方法
王广甫
张荟星
《真空科学与技术》
EI
CSCD
北大核心
2003
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