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阴极真空弧放电等离子体的过滤及传输被引量：5: 1; 作者罗云张孝吉 +2 位作者张荟星周凤生吴先映《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1996年第3期334-337,共4页; 阴极真空孤放电产生高密度等离子体的同时，也产生了尺寸可达微米量级的液滴，液滴对膜层的污染限制了它的应用。为解决这个问题，可采用轴对称磁场约束阴极斑，磁过滤器过滤等离子体出束中的液滴。结果表明液滴在磁过滤器出口处已基本... 展开更多; 关键词阴极真空弧放电等离子体过滤离子镀膜传输; 在线阅读下载PDF 职称材料

磁过滤阴极真空弧沉积装置研究中的等效电路方法: 2; 作者王广甫张荟星《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2003年第1期16-18,共3页; 提出了模拟磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程的等效电路 ,并用此电路定性研究了各参数对弧放电的影响。; 关键词磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程等效电路薄膜制备; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEVVA放电在材料表面改性上的应用被引量：1: 3; 作者高玉耿漫 +4 位作者黄遇明龚晓荣于毅军唐德礼铁军《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1996年第1期31-35,共5页; 本文描述了金属蒸发真空弧（ＭＥＶＶＡ）放电的特点、阴极弧等离子体的形成过程．以及与加热蒸发电离方式相比ＭＥＶＶＡ放电的优越性。文章还叙述了建造的ＭＥＶＶＡ离子源的实用参数、工作过程及ＭＥＶＶＡ等离子体源在全方位离子注... 展开更多; 关键词等离子体源材料表面改性阴极弧放电; 在线阅读下载PDF 职称材料

过滤管道磁场在改进真空弧沉积系统中的作用: 4; 作者王广甫张荟星《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2001年第3期229-233,共5页; 在 90°磁过滤管道和MEVVA源阴极之间加 30～ 60V的正偏压可使磁过滤管道起到阴极弧放电第二阳极的作用。在此情况下 ,就磁过滤管道磁场对MEVVA源阳极阴极和磁过滤管道阴极两个回路弧放电和磁过滤管道等离子体传输效率的影响进... 展开更多; 关键词阴极真空弧放电磁过滤管道第二阳极作用薄膜磁过滤管道磁场制备真空弧沉积系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名阴极真空弧放电等离子体的过滤及传输被引量：5: 1; 作者罗云张孝吉张荟星周凤生吴先映; 机构北京师范大学低能核物理研究所; 出处《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1996年第3期334-337,共4页; 基金国家"八六三"高科技基金; 文摘阴极真空孤放电产生高密度等离子体的同时，也产生了尺寸可达微米量级的液滴，液滴对膜层的污染限制了它的应用。为解决这个问题，可采用轴对称磁场约束阴极斑，磁过滤器过滤等离子体出束中的液滴。结果表明液滴在磁过滤器出口处已基本上被过滤掉了，该处离子束流达到１２０ｍＡ。; 关键词阴极真空弧放电等离子体过滤离子镀膜传输; Keywords cathode vaccum are discharge, plasma magnetic filter; 分类号 TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理] O53 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名磁过滤阴极真空弧沉积装置研究中的等效电路方法: 2; 作者王广甫张荟星; 机构北京师范大学分析测试中心北京师范大学低能核物理研究所射线束技术与材料改性教育部重点实验室; 出处《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2003年第1期16-18,共3页; 基金国家"8 63"计划资助 (863 715 0 0 8 0 0 40); 文摘提出了模拟磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程的等效电路 ,并用此电路定性研究了各参数对弧放电的影响。; 关键词磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程等效电路薄膜制备; Keywords Deposition Electric arcs Equivalent circuits Magnetic fields Plasmas Vacuum applications; 分类号 TB43 [一般工业技术] TB79 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEVVA放电在材料表面改性上的应用被引量：1: 3; 作者高玉耿漫黄遇明龚晓荣于毅军唐德礼铁军; 机构核工业西南物理研究院; 出处《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1996年第1期31-35,共5页; 文摘本文描述了金属蒸发真空弧（ＭＥＶＶＡ）放电的特点、阴极弧等离子体的形成过程．以及与加热蒸发电离方式相比ＭＥＶＶＡ放电的优越性。文章还叙述了建造的ＭＥＶＶＡ离子源的实用参数、工作过程及ＭＥＶＶＡ等离子体源在全方位离子注入装置中的应用。; 关键词等离子体源材料表面改性阴极弧放电; Keywords MEVVA discharge Plasma source Material surface modification; 分类号 O531 [理学—等离子体物理] TG156.8 [金属学及工艺—热处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名过滤管道磁场在改进真空弧沉积系统中的作用: 4; 作者王广甫张荟星; 机构北京师范大学分析测试中心北京师范大学低能核物理研究所; 出处《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2001年第3期229-233,共5页; 基金国家"八六三"计划资助项目 !(86 3 715 0 0 8 0 0 40 ); 文摘在 90°磁过滤管道和MEVVA源阴极之间加 30～ 60V的正偏压可使磁过滤管道起到阴极弧放电第二阳极的作用。在此情况下 ,就磁过滤管道磁场对MEVVA源阳极阴极和磁过滤管道阴极两个回路弧放电和磁过滤管道等离子体传输效率的影响进行了实验研究。研究结果表明 :随磁过滤磁场升高 ,磁过滤管道和阴极之间的弧放电规模降低 ,系统的等离子体传输效率升高。; 关键词阴极真空弧放电磁过滤管道第二阳极作用薄膜磁过滤管道磁场制备真空弧沉积系统; Keywords Filtration Impurities Magnetic separators; 分类号 TB43 [一般工业技术] TB79 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料