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辐射制冷高反射Ag薄膜的腐蚀条件及防护
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作者 颜毓雷 尹铮杰 +2 位作者 赵锦玲 翟怀伦 王明辉 《腐蚀与防护》 CAS 北大核心 2022年第2期18-21,57,共5页
高反射Ag薄膜在空气中易老化,通过改变环境中的湿度、温度、反应气体浓度三个条件对Ag薄膜的腐蚀行为进行研究。结果显示:Ag薄膜试样在60℃,90%RH大气环境中12 d后的黄边占比为7.2%,湿度对Ag薄膜腐蚀的影响最显著,温度次之。反应气体浓... 高反射Ag薄膜在空气中易老化,通过改变环境中的湿度、温度、反应气体浓度三个条件对Ag薄膜的腐蚀行为进行研究。结果显示:Ag薄膜试样在60℃,90%RH大气环境中12 d后的黄边占比为7.2%,湿度对Ag薄膜腐蚀的影响最显著,温度次之。反应气体浓度降低到水中溶解度时对Ag薄膜的腐蚀抑制效果明显。SiNx/Ag-Cu/SiNx膜系结构可以减少水汽吸附,延缓反应气体在薄膜中的扩散并阻隔水汽,实现对Ag薄膜的防护。在60℃,90%RH大气环境中12 d后,SiNx/Ag-Cu/SiNx反射膜未观察到腐蚀。 展开更多
关键词 银纳米反射 腐蚀条件 防腐蚀膜系结构 磁控溅射
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