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压电陶瓷阀在真空磁控反应溅射中的特性
被引量：
3
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作者
刘洪金
郭帅
+5 位作者
池华敬
焦存柱
周旭
王双
陈革
章其初
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期382-386,共5页
在制备不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷集热管的真空磁控溅射镀膜线上,采用PCV25型压电陶瓷阀作为反应气体氮气N2流量输出的驱动元件,实现反应溅射AlN反馈控制。研究了不同环境温度下压电阀偏置电压Vo对N2输出流量Q的影响。实验研究表明,...
在制备不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷集热管的真空磁控溅射镀膜线上,采用PCV25型压电陶瓷阀作为反应气体氮气N2流量输出的驱动元件,实现反应溅射AlN反馈控制。研究了不同环境温度下压电阀偏置电压Vo对N2输出流量Q的影响。实验研究表明,在Vo先增加再减少的过程中,Q相应变化呈现迟滞特性。同时,该迟滞特性受压电阀工作的环境温度影响,环境温度越低迟滞特性越明显。例如与40℃相比,当环境温度为25℃时,压电阀的阈值电压小,饱和电压大,有效工作范围宽,且在压电阀有效工作范围内,N2输出流量Q随偏置电压Vo变化速率小。结合压电陶瓷阀的特性,优化设置反应溅射反馈控制参数,在高于30kW的溅射功率下,实现反应溅射AlN工艺稳定,制备厚度约为70 nm的AlN薄膜在可见光和太阳光范围内吸收几乎为零。
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关键词
压电陶瓷阀
真空磁控反应溅射
迟滞特性
温度特性
闭环控制参数
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职称材料
题名
压电陶瓷阀在真空磁控反应溅射中的特性
被引量：
3
1
作者
刘洪金
郭帅
池华敬
焦存柱
周旭
王双
陈革
章其初
机构
山东温屏节能玻璃有限公司
皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心
皇明太阳能股份有限公司真空管厂设备处
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期382-386,共5页
文摘
在制备不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷集热管的真空磁控溅射镀膜线上,采用PCV25型压电陶瓷阀作为反应气体氮气N2流量输出的驱动元件,实现反应溅射AlN反馈控制。研究了不同环境温度下压电阀偏置电压Vo对N2输出流量Q的影响。实验研究表明,在Vo先增加再减少的过程中,Q相应变化呈现迟滞特性。同时,该迟滞特性受压电阀工作的环境温度影响,环境温度越低迟滞特性越明显。例如与40℃相比,当环境温度为25℃时,压电阀的阈值电压小,饱和电压大,有效工作范围宽,且在压电阀有效工作范围内,N2输出流量Q随偏置电压Vo变化速率小。结合压电陶瓷阀的特性,优化设置反应溅射反馈控制参数,在高于30kW的溅射功率下,实现反应溅射AlN工艺稳定,制备厚度约为70 nm的AlN薄膜在可见光和太阳光范围内吸收几乎为零。
关键词
压电陶瓷阀
真空磁控反应溅射
迟滞特性
温度特性
闭环控制参数
Keywords
Piezoelectric ceramic valve, Vacuum magnetron reactive sputtering, Hystersis effect, Temperature effect,Closed loop control parameters
分类号
TH138.52 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电陶瓷阀在真空磁控反应溅射中的特性
刘洪金
郭帅
池华敬
焦存柱
周旭
王双
陈革
章其初
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
3
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