期刊文献+
共找到7篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在PCB铣刀上的应用与研究 被引量:1
1
作者 李凌 文晓斌 李小泉 《印制电路信息》 2006年第1期43-45,共3页
介绍了通过闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备出的超硬纳米梯度复合镀层在PCB铣刀上的应用,实验结果证明,镀层后铣刀的寿命提高到原来的4倍以上。采用SEM和TEM法,分析了镀层的组织与相结构,揭示了镀层提高铣刀寿命的原因。
关键词 PCB铣刀 闭合平衡磁控溅射离子镀 超硬纳米梯度复合镀层 CrAITiN
在线阅读 下载PDF
闭合场非平衡磁控溅射离子镀复合金属镀层在PCB微钻中的应用 被引量:4
2
作者 种艳琳 李小泉 《印制电路信息》 2006年第4期35-39,共5页
采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在PCB微钻上进行复合金属镀层处理,通过与无镀层微钻进行钻削试验对比,结果表明:复合金属镀层微钻使用寿命与未镀层微钻相比,可提高4倍;具有纳米结构的高硬度复合金属镀层显著提高了微钻的耐磨性。
关键词 闭合平衡磁控溅射离子镀 复合金属镀层 PCB微钻
在线阅读 下载PDF
闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术概述 被引量:2
3
作者 巩中宣 《内燃机与配件》 2013年第1期19-21,24,共4页
2磁控溅射离子镀2.1磁控溅射离子镀磁控溅射离子镀(MSIP)是指基体带有负偏压的磁控溅射镀膜工艺,它把磁控溅射的优点(成膜速率高、源为大平面源,有利于膜层厚度均匀)和离子镀过程的优点(能改变膜基界面的结合形式,提高膜基附... 2磁控溅射离子镀2.1磁控溅射离子镀磁控溅射离子镀(MSIP)是指基体带有负偏压的磁控溅射镀膜工艺,它把磁控溅射的优点(成膜速率高、源为大平面源,有利于膜层厚度均匀)和离子镀过程的优点(能改变膜基界面的结合形式,提高膜基附着力,膜层组织致密等)结合在一起。 展开更多
关键词 闭合平衡磁控溅射离子镀 技术 镀膜工艺 膜层厚度 负偏压 附着力 成膜
在线阅读 下载PDF
直流磁控溅射研究进展 被引量:13
4
作者 石永敬 龙思远 +1 位作者 王杰 潘复生 《材料导报》 CSCD 北大核心 2008年第1期65-69,共5页
直流磁控溅射是重要的物理气相沉积技术,广泛应用在工业生产和科学研究中。主要评论了近年来直流磁控溅射技术在溅射机理和非平衡闭合磁控靶等方面取得的重要进展,并评述了脉冲磁控模式和基于闭合磁场直流磁控溅射沉积涂层的结构区域模... 直流磁控溅射是重要的物理气相沉积技术,广泛应用在工业生产和科学研究中。主要评论了近年来直流磁控溅射技术在溅射机理和非平衡闭合磁控靶等方面取得的重要进展,并评述了脉冲磁控模式和基于闭合磁场直流磁控溅射沉积涂层的结构区域模型。直流非平衡磁控溅射是直流磁控溅射技术中的重要里程碑,使磁控溅射技术直接过渡到离子镀阶段,而脉冲磁控溅射技术为稳定沉积高质量的非导电涂层作出了重要的贡献。 展开更多
关键词 磁控溅射 平衡闭合 脉冲 薄膜结构
在线阅读 下载PDF
先进表面工程技术的发展前沿 被引量:1
5
作者 梁文萍 缪强 +1 位作者 张平则 姚正军 《山西能源与节能》 2010年第4期72-75,86,共5页
叙述了表面工程的分类及各种表面工程技术的应用现状和发展趋势,指出,双层辉光等离子表面冶金技术、激光表面冶金技术、离子注入、加弧辉光离子渗镀技术和闭合场非平衡磁控溅射等先进技术是表面工程技术研究应用的前沿。
关键词 表面工程技术 双层辉光等离子表面冶金技术 激光表面冶金技术 离子注入 加弧辉光离子渗镀技术 闭合平衡磁控溅射
在线阅读 下载PDF
在聚四氟乙烯基体上氧化铝涂层的反应沉积
6
作者 彭补之 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2002年第9期70-70,共1页
关键词 聚四氟乙烯 基体 氧化铝涂层 反应沉积 闭合场非平衡磁控溅射装置 反应溅射技术
在线阅读 下载PDF
CrAlTiN镀层在精密铣刀上的应用研究 被引量:4
7
作者 李凌 蒋百灵 白力静 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期56-59,共4页
介绍了通过闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备出的CrA lTiN超硬纳米梯度复合镀层在铣刀上的应用,试验结果表明,铣刀在离子镀处理之后寿命提高为原来的3倍。采用SEM和TEM分析了镀层铣刀磨损后的表面形貌及无镀层铣刀的失效方式,揭示了... 介绍了通过闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备出的CrA lTiN超硬纳米梯度复合镀层在铣刀上的应用,试验结果表明,铣刀在离子镀处理之后寿命提高为原来的3倍。采用SEM和TEM分析了镀层铣刀磨损后的表面形貌及无镀层铣刀的失效方式,揭示了镀层提高铣刀寿命的原因。 展开更多
关键词 CrAlTiN镀层 铣刀 闭合平衡磁控溅射 离子镀 耐磨性
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部