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多晶硅生产系统热量转换工艺分析
1
作者
裴蕾
段超
+3 位作者
孙强
张征
张晓伟
陈辉
《现代化工》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第S01期257-259,共3页
综述了多晶硅生产从还原系统到原料系统几种常见的热量转换工艺,包括导热油热量回收利用系统、高温水热量回收利用系统、高温水回收闪蒸低压蒸汽系统.介绍了热量转化工艺流程及其生产中的一些关键参数,并对比了每种工艺的优缺点.
关键词
热量转换
导热油系统
热水系统
闪蒸蒸汽
工艺对比
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职称材料
题名
多晶硅生产系统热量转换工艺分析
1
作者
裴蕾
段超
孙强
张征
张晓伟
陈辉
机构
洛阳中硅高科技有限公司
中国恩菲工程技术有限公司
出处
《现代化工》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第S01期257-259,共3页
文摘
综述了多晶硅生产从还原系统到原料系统几种常见的热量转换工艺,包括导热油热量回收利用系统、高温水热量回收利用系统、高温水回收闪蒸低压蒸汽系统.介绍了热量转化工艺流程及其生产中的一些关键参数,并对比了每种工艺的优缺点.
关键词
热量转换
导热油系统
热水系统
闪蒸蒸汽
工艺对比
Keywords
heat recycling
heat-conducting oil system
hot water system
flash steam
process comparison
分类号
TQ021.8 [化学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
多晶硅生产系统热量转换工艺分析
裴蕾
段超
孙强
张征
张晓伟
陈辉
《现代化工》
CAS
CSCD
北大核心
2020
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