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基于泰伯莫尔法的长焦距测量系统的装调技术
被引量:
4
1
作者
陆衡
陈好
+4 位作者
何勇
李建欣
胡绍云
张浩
孟庆安
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2013年第10期2836-2841,共6页
为了实现长焦距的精确测量,基于泰伯莫尔法测量长焦距的原理,构建出了由准直波前发生器、泰伯干涉仪和成像采集系统组成的长焦距测量装置。分析了准直波前畸变对焦距测量精度的影响,用数值分析的方法分析了待测样品到光栅G1的距离s,光...
为了实现长焦距的精确测量,基于泰伯莫尔法测量长焦距的原理,构建出了由准直波前发生器、泰伯干涉仪和成像采集系统组成的长焦距测量装置。分析了准直波前畸变对焦距测量精度的影响,用数值分析的方法分析了待测样品到光栅G1的距离s,光栅G1、G2的间距d以及栅线夹角θ对焦距测量精度的影响。提出了具体的装调方法:用五棱镜法检测波前,保证准直波前质量PV值优于一个波长;用光栅尺位移传感器测量s,标定d,使其精度达到0.1mm;采用标准反射凹球面法标定光栅夹角,使光栅夹角的装调精度达到0.001°。对焦距为5436mm的透镜进行实验测量,误差小于0.35%。
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关键词
Talbot-Moiré效应
长焦距测量
精度分析
装调
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职称材料
大口径长焦距镜面和透镜的扫描法焦距测量技术
被引量:
3
2
作者
侯昌伦
孙琛
+2 位作者
白剑
侯西云
杨国光
《计量学报》
CSCD
北大核心
2004年第3期219-222,共4页
提出了用扫描法测量大口径长焦距镜面或透镜焦距的方法。这种方法是通过对一块Ronchi光栅的Tal bot像与另外一个Ronchi光栅所产生的莫尔条纹转角的计量来测量长焦距;通过扫描对大口径范围内的整个区域进行测量。实验结果表明,这种方法...
提出了用扫描法测量大口径长焦距镜面或透镜焦距的方法。这种方法是通过对一块Ronchi光栅的Tal bot像与另外一个Ronchi光栅所产生的莫尔条纹转角的计量来测量长焦距;通过扫描对大口径范围内的整个区域进行测量。实验结果表明,这种方法能够实时地、非常精确地测量长焦距。
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关键词
计量学
长焦距测量
Ronchi光栅
TALBOT效应
莫尔条纹
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职称材料
长焦距红外光学系统焦距检测方法
被引量:
5
3
作者
姚震
吴易明
+2 位作者
高立民
吴璀罡
梅超
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第6期1950-1954,共5页
强激光主机装置中,需要利用各种不同焦距的光学透镜对光束进行扩束和准直,透镜焦距的准确程度直接影响系统的整体性能,所以对透镜焦距的准确测量尤为重要。提出了一种利用哈特曼-夏克波前检测仪和旋转平面镜辅助测量长焦距红外光学系统...
强激光主机装置中,需要利用各种不同焦距的光学透镜对光束进行扩束和准直,透镜焦距的准确程度直接影响系统的整体性能,所以对透镜焦距的准确测量尤为重要。提出了一种利用哈特曼-夏克波前检测仪和旋转平面镜辅助测量长焦距红外光学系统焦距的新方法。给出了系统的测量原理,使用ZEMAX光学仿真软件仿真分析了待测透镜不同通光孔径对焦距测量的影响,并且通过误差理论推导出平面镜旋转角度与系统测量误差之间的解析表达式。最后进行了实验对比,测量结果表明,当平面镜旋转至一定角度,采用合适的通光口径,系统测量精度可以优于3‰,远高于传统测量方法。此外,该测量方法还具有使用方便、高稳定度等显著优点。
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关键词
红外光学系统
长焦距测量
波前检测
误差分析
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职称材料
基于Talbot-Moiré效应长焦测焦仪的设计及校准技术研究
被引量:
2
4
作者
张浩
代红
+5 位作者
樊红英
陈好
蒋泽伟
贾静
孟庆安
胡绍云
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期527-531,共5页
为了满足100m^3km特长焦距参量的测试校准需求,采用Talbot-Moiré条纹技术法,设计了一套长焦测焦仪.针对影响仪器测量不确定度的系统参量,分别设计了校准方法,并对仪器测量不确定度评定结果进行了实验比对验证.结果表明,校准后仪器...
为了满足100m^3km特长焦距参量的测试校准需求,采用Talbot-Moiré条纹技术法,设计了一套长焦测焦仪.针对影响仪器测量不确定度的系统参量,分别设计了校准方法,并对仪器测量不确定度评定结果进行了实验比对验证.结果表明,校准后仪器测量不确定度评定为6.4%;校准后的长焦测焦仪测量结果与刀口仪测量结果满足测量不确定度比对公式;对比结果最大为0.64,小于1;长焦测焦仪测量不确定度评定合理.该研究验证了长焦测焦仪系统参量校准方法的可行性.
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关键词
测量
与计量
长焦距测量
TALBOT效应
Moiré条纹
测量
不确定度
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职称材料
基于H-S波前传感器的高能激光材料热效应参量测试
被引量:
4
5
作者
樊红英
张浩
+3 位作者
赵琦
蒋泽伟
贾静
陈好
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第2期201-205,共5页
为了实现高能激光材料热效应参量的在线测试,设计了一套50mm口径的测量装置。装置采用准直He-Ne激光为光源,准直光经激光材料后的光程差用Hartmann-Shack波前传感器检测。根据波像差分解理论及波前变换关系,获得了高能激光材料热效应...
为了实现高能激光材料热效应参量的在线测试,设计了一套50mm口径的测量装置。装置采用准直He-Ne激光为光源,准直光经激光材料后的光程差用Hartmann-Shack波前传感器检测。根据波像差分解理论及波前变换关系,获得了高能激光材料热效应参量。分析评估了装置的扩展测量不确定度,对影响测量不确定度的系统参量进行了校准,最后设计并完成了测量不确定度对比验证实验。结果表明,系统波前畸变测量不确定度为0.06λ,30m^120m范围热焦距的扩展测量不确定度为8.4%。该系统能有效地用于高能激光材料热效应参量的在线测试。
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关键词
测量
与计量
热效应
Hartmann-Shack波前传感器
长焦距测量
激光材料
测量
不确定度
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职称材料
基于模板匹配的莫尔条纹倾角计算
被引量:
1
6
作者
何帆
白剑
侯西云
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2015年第9期2825-2830,共6页
提出了一种基于模板匹配的亚像素处理方法,可以精确计算出在大口径长焦距测量过程中出现的莫尔条纹的角度。基于泰伯效应和莫尔条纹干涉的长焦距测量方法是一种高精度的焦距测量方法。理论分析表明:这种测量方法的精度很大程度上依赖于...
提出了一种基于模板匹配的亚像素处理方法,可以精确计算出在大口径长焦距测量过程中出现的莫尔条纹的角度。基于泰伯效应和莫尔条纹干涉的长焦距测量方法是一种高精度的焦距测量方法。理论分析表明:这种测量方法的精度很大程度上依赖于莫尔条纹角度的精度。之前是通过迭代算法在亚像素域中寻找莫尔条纹频谱的最大值点来计算莫尔条纹的角度。然而实验过程中得到的莫尔条纹往往会出现不同程度的弯曲和畸形,这会大大影响这种方法的测量精度。从改进测算角度算法这个角度出发,针对傅里叶变换后的频谱图,基于模板匹配的思想,对各种莫尔条纹进行二维正态分布拟合,找出频谱点精确坐标,从而精确测量莫尔条纹角度。理论分析和软件仿真表明:这种方法具有高精度、高稳定等优点,能有效提高长焦距的测量精度。
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关键词
长焦距测量
莫尔条纹
亚像素
模板匹配
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职称材料
题名
基于泰伯莫尔法的长焦距测量系统的装调技术
被引量:
4
1
作者
陆衡
陈好
何勇
李建欣
胡绍云
张浩
孟庆安
机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
西南技术物理研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2013年第10期2836-2841,共6页
基金
十二五国防基础科研项目
文摘
为了实现长焦距的精确测量,基于泰伯莫尔法测量长焦距的原理,构建出了由准直波前发生器、泰伯干涉仪和成像采集系统组成的长焦距测量装置。分析了准直波前畸变对焦距测量精度的影响,用数值分析的方法分析了待测样品到光栅G1的距离s,光栅G1、G2的间距d以及栅线夹角θ对焦距测量精度的影响。提出了具体的装调方法:用五棱镜法检测波前,保证准直波前质量PV值优于一个波长;用光栅尺位移传感器测量s,标定d,使其精度达到0.1mm;采用标准反射凹球面法标定光栅夹角,使光栅夹角的装调精度达到0.001°。对焦距为5436mm的透镜进行实验测量,误差小于0.35%。
关键词
Talbot-Moiré效应
长焦距测量
精度分析
装调
Keywords
Talbot- Moiré effect
long focal length measurement
accuracy analysis
alignment
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
大口径长焦距镜面和透镜的扫描法焦距测量技术
被引量:
3
2
作者
侯昌伦
孙琛
白剑
侯西云
杨国光
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2004年第3期219-222,共4页
基金
中国工程物理研究院合同项目(OSYW01-1)。
文摘
提出了用扫描法测量大口径长焦距镜面或透镜焦距的方法。这种方法是通过对一块Ronchi光栅的Tal bot像与另外一个Ronchi光栅所产生的莫尔条纹转角的计量来测量长焦距;通过扫描对大口径范围内的整个区域进行测量。实验结果表明,这种方法能够实时地、非常精确地测量长焦距。
关键词
计量学
长焦距测量
Ronchi光栅
TALBOT效应
莫尔条纹
Keywords
Metrology
Long focal length measurement
Ronchi grating
Talbot effect
Moiré stripe
分类号
TB96 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
长焦距红外光学系统焦距检测方法
被引量:
5
3
作者
姚震
吴易明
高立民
吴璀罡
梅超
机构
中国科学院西安光学精密机械研究所
中国科学院大学
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第6期1950-1954,共5页
文摘
强激光主机装置中,需要利用各种不同焦距的光学透镜对光束进行扩束和准直,透镜焦距的准确程度直接影响系统的整体性能,所以对透镜焦距的准确测量尤为重要。提出了一种利用哈特曼-夏克波前检测仪和旋转平面镜辅助测量长焦距红外光学系统焦距的新方法。给出了系统的测量原理,使用ZEMAX光学仿真软件仿真分析了待测透镜不同通光孔径对焦距测量的影响,并且通过误差理论推导出平面镜旋转角度与系统测量误差之间的解析表达式。最后进行了实验对比,测量结果表明,当平面镜旋转至一定角度,采用合适的通光口径,系统测量精度可以优于3‰,远高于传统测量方法。此外,该测量方法还具有使用方便、高稳定度等显著优点。
关键词
红外光学系统
长焦距测量
波前检测
误差分析
Keywords
infrared optical system
long focal length measurement
wave-front detection
error analysis
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于Talbot-Moiré效应长焦测焦仪的设计及校准技术研究
被引量:
2
4
作者
张浩
代红
樊红英
陈好
蒋泽伟
贾静
孟庆安
胡绍云
机构
西南技术物理研究所
陆军装备部航空军事代表局驻成都地区军事代表室
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期527-531,共5页
文摘
为了满足100m^3km特长焦距参量的测试校准需求,采用Talbot-Moiré条纹技术法,设计了一套长焦测焦仪.针对影响仪器测量不确定度的系统参量,分别设计了校准方法,并对仪器测量不确定度评定结果进行了实验比对验证.结果表明,校准后仪器测量不确定度评定为6.4%;校准后的长焦测焦仪测量结果与刀口仪测量结果满足测量不确定度比对公式;对比结果最大为0.64,小于1;长焦测焦仪测量不确定度评定合理.该研究验证了长焦测焦仪系统参量校准方法的可行性.
关键词
测量
与计量
长焦距测量
TALBOT效应
Moiré条纹
测量
不确定度
Keywords
measurement and metrology
long focal length measurement
Talbot effect
Moire fringe
measurement uncertainty
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于H-S波前传感器的高能激光材料热效应参量测试
被引量:
4
5
作者
樊红英
张浩
赵琦
蒋泽伟
贾静
陈好
机构
西南技术物理研究所
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第2期201-205,共5页
文摘
为了实现高能激光材料热效应参量的在线测试,设计了一套50mm口径的测量装置。装置采用准直He-Ne激光为光源,准直光经激光材料后的光程差用Hartmann-Shack波前传感器检测。根据波像差分解理论及波前变换关系,获得了高能激光材料热效应参量。分析评估了装置的扩展测量不确定度,对影响测量不确定度的系统参量进行了校准,最后设计并完成了测量不确定度对比验证实验。结果表明,系统波前畸变测量不确定度为0.06λ,30m^120m范围热焦距的扩展测量不确定度为8.4%。该系统能有效地用于高能激光材料热效应参量的在线测试。
关键词
测量
与计量
热效应
Hartmann-Shack波前传感器
长焦距测量
激光材料
测量
不确定度
Keywords
measurement and metrology
thermal effect
Hartmann-Shack wavefront sensor
long focal-length measurement
laser material
measurement uncertainty
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于模板匹配的莫尔条纹倾角计算
被引量:
1
6
作者
何帆
白剑
侯西云
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2015年第9期2825-2830,共6页
基金
国家自然科学基金(61007001)
文摘
提出了一种基于模板匹配的亚像素处理方法,可以精确计算出在大口径长焦距测量过程中出现的莫尔条纹的角度。基于泰伯效应和莫尔条纹干涉的长焦距测量方法是一种高精度的焦距测量方法。理论分析表明:这种测量方法的精度很大程度上依赖于莫尔条纹角度的精度。之前是通过迭代算法在亚像素域中寻找莫尔条纹频谱的最大值点来计算莫尔条纹的角度。然而实验过程中得到的莫尔条纹往往会出现不同程度的弯曲和畸形,这会大大影响这种方法的测量精度。从改进测算角度算法这个角度出发,针对傅里叶变换后的频谱图,基于模板匹配的思想,对各种莫尔条纹进行二维正态分布拟合,找出频谱点精确坐标,从而精确测量莫尔条纹角度。理论分析和软件仿真表明:这种方法具有高精度、高稳定等优点,能有效提高长焦距的测量精度。
关键词
长焦距测量
莫尔条纹
亚像素
模板匹配
Keywords
long focal-length measurement
Moire patterns
sub-pixel
template matching
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于泰伯莫尔法的长焦距测量系统的装调技术
陆衡
陈好
何勇
李建欣
胡绍云
张浩
孟庆安
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2013
4
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职称材料
2
大口径长焦距镜面和透镜的扫描法焦距测量技术
侯昌伦
孙琛
白剑
侯西云
杨国光
《计量学报》
CSCD
北大核心
2004
3
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职称材料
3
长焦距红外光学系统焦距检测方法
姚震
吴易明
高立民
吴璀罡
梅超
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014
5
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职称材料
4
基于Talbot-Moiré效应长焦测焦仪的设计及校准技术研究
张浩
代红
樊红英
陈好
蒋泽伟
贾静
孟庆安
胡绍云
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2019
2
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职称材料
5
基于H-S波前传感器的高能激光材料热效应参量测试
樊红英
张浩
赵琦
蒋泽伟
贾静
陈好
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2018
4
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下载PDF
职称材料
6
基于模板匹配的莫尔条纹倾角计算
何帆
白剑
侯西云
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2015
1
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职称材料
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