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束流参数对光学镜面离子束加工去除函数的影响分析
被引量：
5
1
作者
解旭辉
王登峰
+1 位作者
焦长君
周林
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第9期1945-1950,共6页
在离子束光学镜面修形加工中,束函数的形状和大小决定了加工的修形能力和加工效率。虽然束函数的形状和大小可以通过一组工艺参数进行调节,然而,这组工艺参数对束函数影响的理论计算较为复杂,而且理论计算值与实验值也吻合的通常存在差...
在离子束光学镜面修形加工中,束函数的形状和大小决定了加工的修形能力和加工效率。虽然束函数的形状和大小可以通过一组工艺参数进行调节,然而,这组工艺参数对束函数影响的理论计算较为复杂,而且理论计算值与实验值也吻合的通常存在差异。为了找出工艺参数对束函数的影响规律,本文通过实验研究了离子束的几个主要的工艺参数(屏栅电压、屏栅电流、加速栅电压、中和极功率、氩气流量)对束函数的影响规律,建立了光学镜面离子束加工基本工艺参数数据库,为光学镜面离子束修形加工的工艺参数选择提供了指导依据。
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关键词
镜面离子束加工
去除函数
束
流参数
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职称材料
题名
束流参数对光学镜面离子束加工去除函数的影响分析
被引量：
5
1
作者
解旭辉
王登峰
焦长君
周林
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院机电系
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第9期1945-1950,共6页
文摘
在离子束光学镜面修形加工中,束函数的形状和大小决定了加工的修形能力和加工效率。虽然束函数的形状和大小可以通过一组工艺参数进行调节,然而,这组工艺参数对束函数影响的理论计算较为复杂,而且理论计算值与实验值也吻合的通常存在差异。为了找出工艺参数对束函数的影响规律,本文通过实验研究了离子束的几个主要的工艺参数(屏栅电压、屏栅电流、加速栅电压、中和极功率、氩气流量)对束函数的影响规律,建立了光学镜面离子束加工基本工艺参数数据库,为光学镜面离子束修形加工的工艺参数选择提供了指导依据。
关键词
镜面离子束加工
去除函数
束
流参数
Keywords
ion beam figuring （IBF）
removal function
parameters of ion beam
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
束流参数对光学镜面离子束加工去除函数的影响分析
解旭辉
王登峰
焦长君
周林
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
5
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