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大气压环境下的镜像电荷检测器仿真研究
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作者 杨小康 马海东 俞建成 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第11期14-17,共4页
镜像电荷检测器(ICD)的结构简单、成本低廉,是质谱领域中唯一一种具有无损特性的检测器。研究了大气压条件下传统圆柱形ICD的性能,结果表明:此时感应电流极低,寄生电容为噪声的主要来源之一。基于传统的圆柱形ICD,设计了一种新型半圆锥... 镜像电荷检测器(ICD)的结构简单、成本低廉,是质谱领域中唯一一种具有无损特性的检测器。研究了大气压条件下传统圆柱形ICD的性能,结果表明:此时感应电流极低,寄生电容为噪声的主要来源之一。基于传统的圆柱形ICD,设计了一种新型半圆锥形ICD,仿真结果表明:不同粒子速度下,信号的峰峰值提高了61.4%~69%。首次发现检测电极与屏蔽装置的间距也会影响信号的强度,当气流速度为3 m/s、间距为0.5 mm时,新型ICD的信号强度最高可达原来的2.86倍,电荷—电压之间的放大增益A_(Q-V)为0.061 mV/e^(-),同时寄生电容降低了36.4%。本文对ICD脱离真空使用限制,实际运用于大气压环境下,通过低速气流载运带电粒子的质谱仪器具有重要意义。 展开更多
关键词 镜像电荷检测器 感应电流 寄生电容
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