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Ni金属诱导多晶硅薄膜的低温制备与性能研究
被引量：
3
1
作者
刘传珍
杨伯梁
+6 位作者
李牧菊
吴渊
张玉
廖燕平
王大海
黄锡珉
邱法斌
《吉林大学自然科学学报》
CSCD
2000年第3期45-48,共4页
利用 Ni金属诱导晶化 ( Metal Induced Crystallization,MIC)的方法制备 p- Si薄膜 .XRD,Raman光谱研究结果表明 ,a- Si/ Ni经 440℃ 2 h以上退火处理后 ,形成多晶相结构 .用 SEM,XPS等分析手段对薄膜的结构进行分析 ,并对金属
关键词
多
晶
硅薄膜
低温制备
退火
镍金属诱导晶化
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职称材料
题名
Ni金属诱导多晶硅薄膜的低温制备与性能研究
被引量：
3
1
作者
刘传珍
杨伯梁
李牧菊
吴渊
张玉
廖燕平
王大海
黄锡珉
邱法斌
机构
中国科学院长春物理研究所
吉林大学电子工程系
出处
《吉林大学自然科学学报》
CSCD
2000年第3期45-48,共4页
基金
吉林省"九五"重大项目! (批准号 :K Y95 1-Al-5 0 2 )
中国科学院"九五"科技公关项目 !(批准号 :970 10 3 -0 1)
中国科学院院长
文摘
利用 Ni金属诱导晶化 ( Metal Induced Crystallization,MIC)的方法制备 p- Si薄膜 .XRD,Raman光谱研究结果表明 ,a- Si/ Ni经 440℃ 2 h以上退火处理后 ,形成多晶相结构 .用 SEM,XPS等分析手段对薄膜的结构进行分析 ,并对金属
关键词
多
晶
硅薄膜
低温制备
退火
镍金属诱导晶化
Keywords
metal induced crystallization
poly\|crystalline Si films
preparation at low temperatures
annealing treatment
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
O484.1 [理学—固体物理]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
Ni金属诱导多晶硅薄膜的低温制备与性能研究
刘传珍
杨伯梁
李牧菊
吴渊
张玉
廖燕平
王大海
黄锡珉
邱法斌
《吉林大学自然科学学报》
CSCD
2000
3
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