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Ti-Al-Zr靶材的多弧离子镀沉积过程的模拟研究被引量：2: 1; 作者赵时璐张震《机械设计与制造》北大核心 2007年第5期137-139,共3页; 本文模拟了Ti-Al-Zr靶材的多弧离子镀的镀膜过程。通过对圆柱形镀膜室-偏压电场的模拟,讨论了在不同的偏压电场下粒子的运动特性、成分离析效应的影响因素、涂层成分均匀性的影响因素,模拟结果与实际的镀膜实验相符。; 关键词多弧离子镀镀膜过程 Ti-Al-Zr靶材成分; 在线阅读下载PDF 职称材料

电子探针真空镀膜仪镀碳效果研究: 2; 作者张若曦杨水源《矿物学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第S1期1121-1122,共2页; 电子探针是一个被广泛使用的现代分析技术,它主要的功能是矿物主量元素的精确测定。它通过电子枪发射电子束轰击样品表面,激发矿物组成元素的特征X射线。; 关键词电子探针真空镀膜主量元素矿物组成分析特征现代分析技术样品架镀膜过程岩石矿物膜厚度; 在线阅读下载PDF 职称材料

溅射膜的光学厚度控制器: 3; 作者张久威《光电工程》 CAS 1977年第2期73-74,84,共3页; 本文叙述了如何改装商用溅射装置、以便对溅射膜的光学厚度进行实时监控。改装后的装置在靶面中心安置了一个小真空窗、使氦氖激光束能从中通过。利用所镀溅射层对光束反射率的影响、便可进行厚度的实时测量。; 关键词溅射法镀膜过程光学厚度基片衬底反射率反射比率光束粒子束分光器分束器; 在线阅读下载PDF 职称材料