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专利名称：真空镀膜系统中真空室观察窗的转动挡板
1
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005年第6期21-21,共1页
本实用新型涉及一种对真空镀膜系统中真空室观察窗的改进。包括基板、观察孔、转轮、转动轮、弹簧、磁铁和观察孔，本实用新型解决原有的观察窗在蒸发不透光的材料时，开始能看清真空室内蒸发物的情况，逐渐就模糊，往往没有等到蒸发的...
本实用新型涉及一种对真空镀膜系统中真空室观察窗的改进。包括基板、观察孔、转轮、转动轮、弹簧、磁铁和观察孔，本实用新型解决原有的观察窗在蒸发不透光的材料时，开始能看清真空室内蒸发物的情况，逐渐就模糊，往往没有等到蒸发的膜达到要求的厚度时，就看不见真空室内部情况。而使用本实用新型的转动挡板，就能解决频繁更换玻璃的问题，能够在操作设备时，更方便看清真空室内的情况，从而能提高蒸发器件的成品率。本实用新型提供一种结构简单、操作方便、蒸发器件的成品率高、能在真空镀膜时始终能观察到蒸发情况的真空室观察窗转动挡板。
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关键词
镀膜系统
真空室
观察窗
挡板
转动
专利名称
实用新型
操作设备
操作方便
真空
镀膜
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职称材料
磁控溅射系统共享效率提升策略及成效分析
2
作者
孙家宝
刘志
孙一军
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2024年第11期226-229,246,共5页
针对浙江大学微纳加工中心磁控溅射系统开放共享效率低下的问题,提出了一种基于微信应用程序的新预约管理策略。该策略克服了传统网站预约管理过程中存在的预约时间段分散、靶材种类数超过设备最大限制等诸多不足,同时实现了对设备便捷...
针对浙江大学微纳加工中心磁控溅射系统开放共享效率低下的问题,提出了一种基于微信应用程序的新预约管理策略。该策略克服了传统网站预约管理过程中存在的预约时间段分散、靶材种类数超过设备最大限制等诸多不足,同时实现了对设备便捷高效的预约管理。实践表明:该策略可显著提升设备的使用率、用户的预约效率和设备管理人员的工作效率;与2019年度相比,2023年度设备的年度机时数、使用记录数和用户人数分别由619 h、440条和81人持续提高到2731 h、1765条和261人。该设备在2022、2023年度连续2年获得浙江大学开放共享优秀机组称号。
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关键词
共享效率提升
磁控溅射
镀膜系统
微信预约管理策略
成效分析
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职称材料
行星周转镀膜装置设计
被引量：
2
3
作者
高晓生
何英杰
王展
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期44-48,共5页
针对现有的蒸镀圆柱形腔体杜瓦镀膜工艺存在工艺繁琐、膜层不均匀等问题,设计了行星周转镀膜装置。该转台针对镀膜机内特殊环境特点,采用摩擦行星轮组设计,优选材料,优化结构,对标准件进行特殊处理,最终实现行星周转镀膜装置的无污染、...
针对现有的蒸镀圆柱形腔体杜瓦镀膜工艺存在工艺繁琐、膜层不均匀等问题,设计了行星周转镀膜装置。该转台针对镀膜机内特殊环境特点,采用摩擦行星轮组设计,优选材料,优化结构,对标准件进行特殊处理,最终实现行星周转镀膜装置的无污染、重量轻、负载小、运转稳定、方便清洁、易于调整等要求。该行星周转镀膜装置的使用,使圆柱形腔杜瓦在公转时实现自传,实现圆柱形腔杜瓦的一次蒸镀,克服原有的三次平面蒸镀带来的问题。试验结果表明:杜瓦镀金引线膜层在粘附性、均匀性等关键指标上均优于原蒸镀方式,在实现产品质量提高的同时,降低了生产成本,提高了生产效率。
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关键词
摩擦轮行星组件
镀膜系统
行星周转
镀膜
装置
平面蒸镀
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职称材料
题名
专利名称：真空镀膜系统中真空室观察窗的转动挡板
1
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005年第6期21-21,共1页
文摘
本实用新型涉及一种对真空镀膜系统中真空室观察窗的改进。包括基板、观察孔、转轮、转动轮、弹簧、磁铁和观察孔，本实用新型解决原有的观察窗在蒸发不透光的材料时，开始能看清真空室内蒸发物的情况，逐渐就模糊，往往没有等到蒸发的膜达到要求的厚度时，就看不见真空室内部情况。而使用本实用新型的转动挡板，就能解决频繁更换玻璃的问题，能够在操作设备时，更方便看清真空室内的情况，从而能提高蒸发器件的成品率。本实用新型提供一种结构简单、操作方便、蒸发器件的成品率高、能在真空镀膜时始终能观察到蒸发情况的真空室观察窗转动挡板。
关键词
镀膜系统
真空室
观察窗
挡板
转动
专利名称
实用新型
操作设备
操作方便
真空
镀膜
分类号
TQ171.724 [化学工程—玻璃工业]
TL631.24 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
磁控溅射系统共享效率提升策略及成效分析
2
作者
孙家宝
刘志
孙一军
机构
浙江大学微纳加工中心
出处
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2024年第11期226-229,246,共5页
文摘
针对浙江大学微纳加工中心磁控溅射系统开放共享效率低下的问题,提出了一种基于微信应用程序的新预约管理策略。该策略克服了传统网站预约管理过程中存在的预约时间段分散、靶材种类数超过设备最大限制等诸多不足,同时实现了对设备便捷高效的预约管理。实践表明:该策略可显著提升设备的使用率、用户的预约效率和设备管理人员的工作效率;与2019年度相比,2023年度设备的年度机时数、使用记录数和用户人数分别由619 h、440条和81人持续提高到2731 h、1765条和261人。该设备在2022、2023年度连续2年获得浙江大学开放共享优秀机组称号。
关键词
共享效率提升
磁控溅射
镀膜系统
微信预约管理策略
成效分析
Keywords
sharing efficiency improvement
magnetron sputtering system
reservation management by WeChat
effectiveness analysis
分类号
N33 [自然科学总论]
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职称材料
题名
行星周转镀膜装置设计
被引量：
2
3
作者
高晓生
何英杰
王展
机构
中国空空导弹研究院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期44-48,共5页
文摘
针对现有的蒸镀圆柱形腔体杜瓦镀膜工艺存在工艺繁琐、膜层不均匀等问题,设计了行星周转镀膜装置。该转台针对镀膜机内特殊环境特点,采用摩擦行星轮组设计,优选材料,优化结构,对标准件进行特殊处理,最终实现行星周转镀膜装置的无污染、重量轻、负载小、运转稳定、方便清洁、易于调整等要求。该行星周转镀膜装置的使用,使圆柱形腔杜瓦在公转时实现自传,实现圆柱形腔杜瓦的一次蒸镀,克服原有的三次平面蒸镀带来的问题。试验结果表明:杜瓦镀金引线膜层在粘附性、均匀性等关键指标上均优于原蒸镀方式,在实现产品质量提高的同时,降低了生产成本,提高了生产效率。
关键词
摩擦轮行星组件
镀膜系统
行星周转
镀膜
装置
平面蒸镀
Keywords
Friction planetary wheel units, Vacuum deposition system, Planetary rotating apparatus
分类号
TH132 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
专利名称：真空镀膜系统中真空室观察窗的转动挡板
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005
0
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职称材料
2
磁控溅射系统共享效率提升策略及成效分析
孙家宝
刘志
孙一军
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2024
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
行星周转镀膜装置设计
高晓生
何英杰
王展
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
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职称材料
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