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光学合金镀膜层分析数据的误差管理
1
作者
初真林
《光学机械》
CSCD
1989年第3期51-56,共6页
本文论述了高频小火花发射光谱分析铝镁合金镀膜层组份的误差管理。用电感耦合高频等离子体发射光谱对照分析后,求得火花光谱的校正系数。从数理统计角度检验了方法的置信度和精密度。
关键词
光谱分析
镀膜层
误差管理
合金
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职称材料
专利名称:镀膜装置中的遮板
2
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005年第4期57-57,共1页
一种镀膜装置中的遮板,是用以在一基板上形成两种以上特定厚度的镀膜层,其中遮板的形状是由多数条同心圆弧线所构成,同心圆弧线的弧度是依据镀膜层的特定厚度设成。具有遮板能够精密控制镀膜层每一点的膜厚的功效。
关键词
镀膜
装置
基板
专利名称
镀膜层
精密控制
圆弧线
厚度
同心
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职称材料
离子镀CrN纳米叠层膜的磨损行为
被引量:
1
3
作者
魏杰
牛云松
于志明
《江苏大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期334-338,共5页
低温状态下,采用离子镀技术在A3钢基体表面上制备了CrN纳米叠层膜;在扫描电镜下观察镀膜试样表面和截面的微观形貌;利用X射线衍射分析测定镀膜的相结构;使用磨轮式磨损试验机评价镀膜的磨损性能.结果表明:CrN纳米叠层膜具有明显的层状结...
低温状态下,采用离子镀技术在A3钢基体表面上制备了CrN纳米叠层膜;在扫描电镜下观察镀膜试样表面和截面的微观形貌;利用X射线衍射分析测定镀膜的相结构;使用磨轮式磨损试验机评价镀膜的磨损性能.结果表明:CrN纳米叠层膜具有明显的层状结构,消除了镀膜中柱状晶外延生长的缺陷,抑制了常规离子镀CrN膜在磨损过程中的大块剥落现象,CrN纳米叠层膜的失效形式为微区剥落;该镀膜较常规CrN膜的耐磨损性能得到显著提高,沉积电流为60 A时所制备的CrN纳米叠层膜在磨损3 000转后失重量为0.2 mg,仅为同条件下常规CrN膜失重量的1/10.
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关键词
纳米叠
层
镀膜
CRN
离子镀
柱状晶
磨损行为
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职称材料
LOW-E薄膜光学性能的计算机辅助模拟
4
作者
许俊
姚寿山
《材料科学与工程》
CSCD
北大核心
2002年第2期173-176,共4页
本文对低辐射镀膜层的理论光学特性的计算机辅助模拟 (CAS)进行了探讨。研究表明 。
关键词
LOW-E薄膜
光学性能
计算机辅助模拟
低辐射
镀膜层
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职称材料
紫外衍射微透镜阵列的设计与制备
被引量:
2
5
作者
张伟
李毅
+3 位作者
张虎
黄毅泽
朱慧群
孙若曦
《上海理工大学学报》
CAS
北大核心
2011年第2期174-178,共5页
通过研究互相关联的光学和工艺参数,用标量衍射理论设计了用于128×1日盲型紫外探测器的衍射微透镜阵列,其工作中心波长为400 nm,单元透镜F数为f/5,f为焦距.采用组合多层镀膜和剥离的工艺方法制备微透镜阵列,对工艺流程和制备误差...
通过研究互相关联的光学和工艺参数,用标量衍射理论设计了用于128×1日盲型紫外探测器的衍射微透镜阵列,其工作中心波长为400 nm,单元透镜F数为f/5,f为焦距.采用组合多层镀膜和剥离的工艺方法制备微透镜阵列,对工艺流程和制备误差进行了分析,对制备出的128×1的衍射微透镜阵列的光学性能进行测量和分析.实验结果表明,衍射微透镜阵列的衍射效率为87%.制备误差主要来自对准误差和线宽误差.紫外衍射微透镜阵列的整体性能满足了微透镜阵列与紫外焦平面阵列的单片集成要求.
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关键词
紫外
微透镜阵列
菲涅尔波带片
组合多
层
镀膜
与剥离
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职称材料
氮化锆薄膜性能的研究
6
作者
郭信章
尹万里
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
1991年第4期17-19,共3页
本文叙述反应溅射制备的氮化锆薄膜的光学、机械、腐蚀及老化性能。它具有反射率为84%、耐紫外光性能良好是一种比较理想的太阳能装置的反光材料,亦可作硬质镀层及仿金镀膜层。
关键词
硬质
老化性能
薄膜性能
镀膜层
氮化
制备
研究
光学
反射率
理想
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职称材料
题名
光学合金镀膜层分析数据的误差管理
1
作者
初真林
出处
《光学机械》
CSCD
1989年第3期51-56,共6页
基金
国家自然科学基金
文摘
本文论述了高频小火花发射光谱分析铝镁合金镀膜层组份的误差管理。用电感耦合高频等离子体发射光谱对照分析后,求得火花光谱的校正系数。从数理统计角度检验了方法的置信度和精密度。
关键词
光谱分析
镀膜层
误差管理
合金
分类号
TG115.33 [金属学及工艺—物理冶金]
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职称材料
题名
专利名称:镀膜装置中的遮板
2
机构
台湾省精碟科技股份有限公司
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005年第4期57-57,共1页
文摘
一种镀膜装置中的遮板,是用以在一基板上形成两种以上特定厚度的镀膜层,其中遮板的形状是由多数条同心圆弧线所构成,同心圆弧线的弧度是依据镀膜层的特定厚度设成。具有遮板能够精密控制镀膜层每一点的膜厚的功效。
关键词
镀膜
装置
基板
专利名称
镀膜层
精密控制
圆弧线
厚度
同心
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
离子镀CrN纳米叠层膜的磨损行为
被引量:
1
3
作者
魏杰
牛云松
于志明
机构
中国科学院金属研究所金属腐蚀与防护国家重点实验室
出处
《江苏大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期334-338,共5页
基金
国家"863"计划项目(2009AA03Z103)
文摘
低温状态下,采用离子镀技术在A3钢基体表面上制备了CrN纳米叠层膜;在扫描电镜下观察镀膜试样表面和截面的微观形貌;利用X射线衍射分析测定镀膜的相结构;使用磨轮式磨损试验机评价镀膜的磨损性能.结果表明:CrN纳米叠层膜具有明显的层状结构,消除了镀膜中柱状晶外延生长的缺陷,抑制了常规离子镀CrN膜在磨损过程中的大块剥落现象,CrN纳米叠层膜的失效形式为微区剥落;该镀膜较常规CrN膜的耐磨损性能得到显著提高,沉积电流为60 A时所制备的CrN纳米叠层膜在磨损3 000转后失重量为0.2 mg,仅为同条件下常规CrN膜失重量的1/10.
关键词
纳米叠
层
镀膜
CRN
离子镀
柱状晶
磨损行为
Keywords
nanomuhilayered coating
CrN
ion plating
columnar
wear behavior
分类号
TH117.3 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
LOW-E薄膜光学性能的计算机辅助模拟
4
作者
许俊
姚寿山
机构
上海交通大学材料科学与工程学院
出处
《材料科学与工程》
CSCD
北大核心
2002年第2期173-176,共4页
文摘
本文对低辐射镀膜层的理论光学特性的计算机辅助模拟 (CAS)进行了探讨。研究表明 。
关键词
LOW-E薄膜
光学性能
计算机辅助模拟
低辐射
镀膜层
Keywords
Low\|Emission
optical characteristics
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
TP399 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
紫外衍射微透镜阵列的设计与制备
被引量:
2
5
作者
张伟
李毅
张虎
黄毅泽
朱慧群
孙若曦
机构
上海理工大学光电信息与计算机工程学院
上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室
五邑大学薄膜与纳米材料研究所
出处
《上海理工大学学报》
CAS
北大核心
2011年第2期174-178,共5页
基金
国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2006AA03Z348)
上海市重点学科建设资助项目(S30502)
+1 种基金
上海市人才发展基金资助计划(2009014)
上海市教育委员会科学技术研究重点项目(10ZZ94)
文摘
通过研究互相关联的光学和工艺参数,用标量衍射理论设计了用于128×1日盲型紫外探测器的衍射微透镜阵列,其工作中心波长为400 nm,单元透镜F数为f/5,f为焦距.采用组合多层镀膜和剥离的工艺方法制备微透镜阵列,对工艺流程和制备误差进行了分析,对制备出的128×1的衍射微透镜阵列的光学性能进行测量和分析.实验结果表明,衍射微透镜阵列的衍射效率为87%.制备误差主要来自对准误差和线宽误差.紫外衍射微透镜阵列的整体性能满足了微透镜阵列与紫外焦平面阵列的单片集成要求.
关键词
紫外
微透镜阵列
菲涅尔波带片
组合多
层
镀膜
与剥离
Keywords
ultraviolet
microlens array
Fresnel zone plate
multi-layer coating and stripping
分类号
TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN213 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
氮化锆薄膜性能的研究
6
作者
郭信章
尹万里
机构
北京市太阳能研究所
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
1991年第4期17-19,共3页
文摘
本文叙述反应溅射制备的氮化锆薄膜的光学、机械、腐蚀及老化性能。它具有反射率为84%、耐紫外光性能良好是一种比较理想的太阳能装置的反光材料,亦可作硬质镀层及仿金镀膜层。
关键词
硬质
老化性能
薄膜性能
镀膜层
氮化
制备
研究
光学
反射率
理想
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
O484.41 [理学—固体物理]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光学合金镀膜层分析数据的误差管理
初真林
《光学机械》
CSCD
1989
0
在线阅读
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职称材料
2
专利名称:镀膜装置中的遮板
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
离子镀CrN纳米叠层膜的磨损行为
魏杰
牛云松
于志明
《江苏大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
LOW-E薄膜光学性能的计算机辅助模拟
许俊
姚寿山
《材料科学与工程》
CSCD
北大核心
2002
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
紫外衍射微透镜阵列的设计与制备
张伟
李毅
张虎
黄毅泽
朱慧群
孙若曦
《上海理工大学学报》
CAS
北大核心
2011
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
6
氮化锆薄膜性能的研究
郭信章
尹万里
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
1991
0
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职称材料
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