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硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究
被引量：
3
1
作者
刘月明
田维坚
张少君
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期371-374,共4页
研究了利用镀膜硅微机械悬臂梁红外辐射热挠曲实现红外辐射探测的技术 ,建立了镀膜双层硅微悬臂梁红外辐射热挠曲的理论模型 并利用镀有二氧化硅膜层的硅微悬臂梁 ,在硅微悬臂梁根部制作热挠曲检测压敏电阻 ,用实验方法测试了硅微悬臂...
研究了利用镀膜硅微机械悬臂梁红外辐射热挠曲实现红外辐射探测的技术 ,建立了镀膜双层硅微悬臂梁红外辐射热挠曲的理论模型 并利用镀有二氧化硅膜层的硅微悬臂梁 ,在硅微悬臂梁根部制作热挠曲检测压敏电阻 ,用实验方法测试了硅微悬臂梁对红外辐射的响应规律 ,结果表明该镀膜硅微悬臂梁对顶端辐射激励的 1 .5μm红外光的响应灵敏度可达 2 .39μV/mW 用计算机优化方法得到了硅微机械悬臂梁的最佳镀膜厚度比的规律 。
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关键词
红外辐射
热探测
硅微悬臂梁
镀膜优化
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职称材料
题名
硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究
被引量：
3
1
作者
刘月明
田维坚
张少君
机构
中国科学院西安光学精密机械研究所
西安理工大学
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期371-374,共4页
基金
陕西省教委专项科研计划 (0 2JK155)
中国博士后基金(2 0 0 2 0 3 2 2 2 5)
+1 种基金
王宽诚博士后基金
中国科学院"百人计划"基金资助项目
文摘
研究了利用镀膜硅微机械悬臂梁红外辐射热挠曲实现红外辐射探测的技术 ,建立了镀膜双层硅微悬臂梁红外辐射热挠曲的理论模型 并利用镀有二氧化硅膜层的硅微悬臂梁 ,在硅微悬臂梁根部制作热挠曲检测压敏电阻 ,用实验方法测试了硅微悬臂梁对红外辐射的响应规律 ,结果表明该镀膜硅微悬臂梁对顶端辐射激励的 1 .5μm红外光的响应灵敏度可达 2 .39μV/mW 用计算机优化方法得到了硅微机械悬臂梁的最佳镀膜厚度比的规律 。
关键词
红外辐射
热探测
硅微悬臂梁
镀膜优化
Keywords
Infrared radiation
Thermal detection
Micromechanic al silicon cantilever
Coating optimization
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究
刘月明
田维坚
张少君
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
3
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