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超声引线键合过程的信号采集与分析系统 被引量:3
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作者 王福亮 刘少华 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期2189-2194,共6页
根据超声引线键合实验平台结构,设计PZT(压电陶瓷)驱动信号传感电路,搭建键合力传感系统,集成多普勒振动测试系统,获得键合过程中的换能器驱动电压、电流、劈刀振动和键合压力信号。采用PCI6110数据采集卡,开发基于LabView8.2的采集软件... 根据超声引线键合实验平台结构,设计PZT(压电陶瓷)驱动信号传感电路,搭建键合力传感系统,集成多普勒振动测试系统,获得键合过程中的换能器驱动电压、电流、劈刀振动和键合压力信号。采用PCI6110数据采集卡,开发基于LabView8.2的采集软件,实现上述4路信号的同步采集、显示、频谱分析和保存。采用小波时频分析方法对电流信号进行分解,发掘电流信号中与键合质量相关联的一些特征。研究结果表明:信号采集系统能高速、同步采集键合过程中的多路信号;电流信号基频的频率、幅值及变化趋势都在一定程度上反映了键合质量;当电流信号频偏离正常值太大、均值太小和变化趋势异常时都表明键合失效。 展开更多
关键词 信号传感与采集 小波分析 键合质量监测 超声引线
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