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塑料微流控芯片热压及键合设备结构设计研究被引量：5: 1; 作者王钧王晓东刘冲《机械设计与制造》 2004年第4期93-95,共3页; 微通道的热压成形及盖片与基片的键合是制作塑料微流控芯片的关键工艺。大连理工大学微系统研究中心开发了用于自动化制作塑料微流控芯片的设备。该设备采用封闭的立柱结构,通过力矩电机驱动的螺旋升降机提供所需的压力。对其结构设计... 展开更多; 关键词塑料微流控芯片热压成形及键合设备结构设计; 在线阅读下载PDF 职称材料

改善键合强度分布,提高器件可靠性——键合设备的影响: 2; 作者吴燕陈台琼汤旭东《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第5期398-400,共3页; DPA试验中 ,键合强度值的大小是判断器件合格与否的一个定量标准 ,而键合强度值的分布状态则是影响器件在应用中的可靠性的重要因素之一。该文通过对大量试验数据的分析 ,指出键合设备对键合强度值分布状况的影响 ,并提出了改善键合强... 展开更多; 关键词键合设备键合强度分布可靠性破坏性物理分析 DPA; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种原子钟系统的碱金属腔体制备技术被引量：3: 3; 作者徐建张廷凯 +1 位作者甘志银刘胜《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第2期74-76,80,共4页; 简要介绍了相干布局数囚禁(CPT)原子钟的实现机理,对构成原子钟系统的碱金属腔及其制作方法进行论述。在对几种不同的碱金属腔制备技术对比的基础上,研制成功了原子钟腔体的专用键合设备,并成功进行了Rb腔的制作,Rb腔测试结果表明:腔体... 展开更多; 关键词 CPT原子钟 Rb腔键合设备微机电系统; 在线阅读下载PDF 职称材料