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玻璃浆料键合中的孔洞抑制和微复合调控 被引量:2
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作者 刘益芳 王凌云 +1 位作者 孙道恒 郑建毅 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期780-787,共8页
提出了包含三步式排泡过程的预烧结工艺以及双凹凼-凸台的微复合键合结构方案,以便有效控制玻璃浆料层中的孔洞生成并精确控制键合间隙。预烧结工艺涉及的三步式排泡包含玻璃液形成、真空排泡与孔洞流平3个过程,该过程有效地排除了气泡... 提出了包含三步式排泡过程的预烧结工艺以及双凹凼-凸台的微复合键合结构方案,以便有效控制玻璃浆料层中的孔洞生成并精确控制键合间隙。预烧结工艺涉及的三步式排泡包含玻璃液形成、真空排泡与孔洞流平3个过程,该过程有效地排除了气泡,从而抑制了键合中间层中的孔洞形成,其工艺的重复性和鲁棒性很强。微复合键合结构中的内外凹凼用于有效控制多余的熔融的玻璃浆料的流动路径,避免其对封装结构的污染;微阻挡凸台则可以精确地将玻璃浆料层的厚度即键合间隙控制到凸台高度。对键合性能的测试表明,该方案简单有效,键合强度和气密性良好,键合间隙为10.1μm,键合强度为19.07 MPa,键合漏率小于5×10-9 Pa·m3/s。 展开更多
关键词 玻璃浆料 孔洞抑制 微复调控 间隙 微复键合结构
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BSO晶体生长固/液边界层结构的实时观测研究 被引量:6
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作者 仇怀利 王爱华 +2 位作者 尤静林 陈辉 殷绍唐 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期529-531,共3页
实时测量BSO晶体水平区熔法生长过程中,研究固/液边界层以及边界层两侧的晶体和熔体的显微拉曼光谱,晶体生长固/液边界层以及边界层两侧的熔体和晶体的结构特征,生长基元结构从熔体结构经边界层过渡到晶体结构的变化过程。结果显示,BSO... 实时测量BSO晶体水平区熔法生长过程中,研究固/液边界层以及边界层两侧的晶体和熔体的显微拉曼光谱,晶体生长固/液边界层以及边界层两侧的熔体和晶体的结构特征,生长基元结构从熔体结构经边界层过渡到晶体结构的变化过程。结果显示,BSO熔体中存在Bi3 O4和[SiO4]的键合结构;Bi3 O4分子基团在固/液边界层聚合形成[BiO7]八面体单体、多聚体,与[SiO4]结构基团联结,在通过固/液边界层时进入格位。 展开更多
关键词 晶体生长 边界层结构 观测研究 显微拉曼光谱 BSO晶体 生长过程 实时测量 结构特征 变化过程 晶体结构 熔体结构 生长基元 键合结构 形成 分子基团 结构基团 区熔法 八面体 多聚体 格位
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镶嵌纳米晶硅的氧化硅薄膜微观结构调整及其光吸收特性 被引量:3
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作者 梅艳 贾曦 +2 位作者 安彩虹 完继光 徐艳梅 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期776-779,793,共5页
采用等离子体化学气相沉积(PECVD)技术在不同N_2O流量条件下制备了镶嵌有纳米晶硅(nc-Si)的富硅氧化硅(SiOx)薄膜,利用透射电镜(TEM),X射线衍射分析(XRD),傅里叶变换红外(FTIR)和透射光谱技术研究了薄膜中的氢含量和氧含量变化及其对薄... 采用等离子体化学气相沉积(PECVD)技术在不同N_2O流量条件下制备了镶嵌有纳米晶硅(nc-Si)的富硅氧化硅(SiOx)薄膜,利用透射电镜(TEM),X射线衍射分析(XRD),傅里叶变换红外(FTIR)和透射光谱技术研究了薄膜中的氢含量和氧含量变化及其对薄膜晶化度、薄膜键合结构和光吸收特性的影响。结果表明,薄膜由nc-Si粒子和非晶SiOx组成,为混合相结构。nc-Si的生长与氧化反应的竞争决定了薄膜微观结构、键合特性以及光吸收特性。随着N_2O流量的增加,薄膜的晶粒尺寸逐渐减小。晶界区过渡晶硅的比例减少,晶粒界面随之消失,带隙呈持续增加趋势。该实验结果为ncSi/SiOx薄膜在新型太阳电池中的应用提供了基础数据。 展开更多
关键词 红外光谱 纳米晶硅 氧化硅 键合结构
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射频功率对F-DLC薄膜结构及场发射性能的影响 被引量:2
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作者 蒋爱华 邵红娟 +1 位作者 杨端翠 肖剑荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期538-542,共5页
采用射频等离子体化学增强型气相沉积法,以CF4和CH4为源气体,氩气为载气,在不同射频功率下制备了掺氟类金刚石(F-DLC)薄膜样品。用原子力显微镜观测了样品的表面形貌,用X射线光电能谱仪及拉曼光谱仪等表征方法对样品的键合结构进行了测... 采用射频等离子体化学增强型气相沉积法,以CF4和CH4为源气体,氩气为载气,在不同射频功率下制备了掺氟类金刚石(F-DLC)薄膜样品。用原子力显微镜观测了样品的表面形貌,用X射线光电能谱仪及拉曼光谱仪等表征方法对样品的键合结构进行了测试、分析。结果显示:薄膜表面致密均匀,射频功率增加,薄膜表面均方根粗糙度增大,膜内sp2杂化结构相对含量增加。样品的场发射性能测试显示:高射频功率下制备的F-DLC薄膜样品的场发射阈值低,场发射电流密度升高。其主要原因是:随着射频功率的增加,薄膜的表面粗糙度增大及薄膜的石墨化程度增加引起。 展开更多
关键词 F-DLC薄膜 射频功率 表面形貌 键合结构 场发射性能
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a-SiN_x:H薄膜的热丝化学气相沉积及微结构研究 被引量:2
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作者 张娜 周炳卿 +1 位作者 张林睿 路晓翠 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期413-416,共4页
为了研究热丝温度对a-SiNx:H薄膜性能的影响,采用热丝化学气相沉积法,以SiH4,NH3,H2为反应气源,改变热丝温度沉积薄膜。通过紫外-可见光吸收谱、傅里叶红外透射光谱、光致发光光谱等测试手段对薄膜发光特性、微观结构及键合情... 为了研究热丝温度对a-SiNx:H薄膜性能的影响,采用热丝化学气相沉积法,以SiH4,NH3,H2为反应气源,改变热丝温度沉积薄膜。通过紫外-可见光吸收谱、傅里叶红外透射光谱、光致发光光谱等测试手段对薄膜发光特性、微观结构及键合情况进行表征与分析。从测试情况可知,当热丝温度为1645℃时,H含量最大,N含量最小,同时其折射率最高,薄膜材料的有序度增大;当热丝温度为1713℃时,H含量减少,N含量达到最大,且随着热丝温度增大,薄膜中N含量又开始下降,内部缺陷态密度增加。结果表明,热丝法制备a-SiNx :H薄膜的热丝温度最佳值在1596℃~1680℃之间,此时所制备的薄膜折射率为2.0,适合应用于硅基太阳能电池减反射膜层,且具有较充分的氮、氢含量,薄膜结构、性能稳定。 展开更多
关键词 薄膜 SiNx:H 光致发光光谱 键合结构 热丝化学气相沉积
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N离子注入非晶碳膜的CN成键研究
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作者 林景波 李俊杰 +6 位作者 李哲奎 顾广瑞 盖同祥 金哲 胡超权 吕宪义 金曾孙 《吉林大学学报(理学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期324-327,共4页
利用Raman和XPS研究N离子注入前后非晶碳膜化学键合的变化及CN成键情况. 结果表明, 被注入到非晶碳膜内的N与C原子结合, 形成sp3 CN, sp2 CN和C≡N键. 随着N离子注入剂量的增加, 膜内sp3 CN键的含量相对增多, 表明N离子注入更有利于sp3C... 利用Raman和XPS研究N离子注入前后非晶碳膜化学键合的变化及CN成键情况. 结果表明, 被注入到非晶碳膜内的N与C原子结合, 形成sp3 CN, sp2 CN和C≡N键. 随着N离子注入剂量的增加, 膜内sp3 CN键的含量相对增多, 表明N离子注入更有利于sp3CN键的形成. 展开更多
关键词 N离子注入 非晶碳膜 磁控溅射 键合结构
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Study of bonding layer for integrated structure of space gravitational wave detector telescope
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作者 ZHAO Hong-chao LIU Chang +2 位作者 ZHOU Wen-ke ZHU Han-bin CHEN Wen-duo 《中国光学(中英文)》 北大核心 2025年第3期715-724,共10页
To detect space gravitational waves in the extremely low-frequency band,the telescope and optic-al platform require high stability and reliability.However,the cantilevered design presents challenges,espe-cially in the... To detect space gravitational waves in the extremely low-frequency band,the telescope and optic-al platform require high stability and reliability.However,the cantilevered design presents challenges,espe-cially in the glass-metal hetero-bonding process.This study focuses on the analysis and experimental re-search of the bonding layer in the integrated structure.By optimizing the structural configuration and select-ing suitable bonding processes,the reliability of the telescope system is enhanced.The research indicates that using J-133 adhesive achieves the best performance,with a bonding layer thickness of 0.30 mm and a metal substrate surface roughness of Ra 0.8.These findings significantly enhance the reliability of the optical sys-tem while minimizing potential risks. 展开更多
关键词 space gravitational-wave detector integrated structure glass-metal hetero-bonding
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磁控溅射非晶CN_x薄膜的热稳定性研究 被引量:3
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作者 李俊杰 金曾孙 +5 位作者 吴汉华 林景波 金哲 李哲奎 顾广瑞 盖同祥 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2004年第1期71-74,共4页
为了研究非晶CNx薄膜的热稳定性,采用射频磁控溅射方法沉积了非晶CNx薄膜样品,并在真空中退火至900℃,利用FTIR,Raman和XPS谱探讨了高温退火对CNx薄膜化学成分及键合结构的影响.研究表明:CNx薄膜样品中N原子分别与sp、sp2和sp3杂化状态... 为了研究非晶CNx薄膜的热稳定性,采用射频磁控溅射方法沉积了非晶CNx薄膜样品,并在真空中退火至900℃,利用FTIR,Raman和XPS谱探讨了高温退火对CNx薄膜化学成分及键合结构的影响.研究表明:CNx薄膜样品中N原子分别与sp、sp2和sp3杂化状态的C原子相结合,退火处理极大地影响了CN键合结构的稳定性;当退火温度低于600℃时,膜内N含量的损失较少,CNx薄膜的热稳定性较好,退火温度超过600℃时,将导致CNx膜中大多数C、N间的键合分离,造成N大量损失,膜的热稳定性下降;退火可促使膜内sp3型键向sp2型键转变,在膜中形成大量的sp2型C键,导致CNx膜的石墨化. 展开更多
关键词 磁控溅射 非晶CNx薄膜 热稳定性 真空退火 键合结构
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One-pot alternating current synthesis of SnO_(2) based composite with enhanced diffusion kinetic behaviors for lithium-ion batteries
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作者 ZHANG Guo-qiang JING Ming-jun +10 位作者 HE Li LI Dan WU Yu-feng YI Ming-guang LIU Cheng WANG Xing-yu HU Hong-hui WU Meng WU Tian-jing HUANG Yu-jie HOU Hong-shuai 《Journal of Central South University》 CSCD 2024年第12期4424-4436,共13页
SnO_(2)is used as electrode material with excellent properties,but it has some disadvantages such as slow reaction kinetics,low inherent conductivity and complex preparation process.Here,SnO_(2)@carbon nanotubes(SnO_(... SnO_(2)is used as electrode material with excellent properties,but it has some disadvantages such as slow reaction kinetics,low inherent conductivity and complex preparation process.Here,SnO_(2)@carbon nanotubes(SnO_(2)@CNTs)is synthesized through an efficient method of one-pot alternating current electrochemical dispersion.By using heat treatment at 400℃,the SnO_(2)@CNTs-400 composite material with abundant mesoporous structure is obtained,while the crystal particles are grown,and a strong bonding effect is formed with CNTs via powerful Sn-O-C bond.Benefiting from the introduction of high electrical conductivity CNTs and outstanding structural characteristics,as prepared composite material(SnO_(2)@CNTs-400)exhibit enhanced diffusion dynamics,lithium-ion transmission rate and structural steadiness.The specific capacity of SnO_(2)@CNTs and SnO_(2)@CNTs-400 as anodes for lithium-ion batteries can reach 690.2 mA·h/g and 836.5 mA·h/g,respectively,after 100 cycles at 0.5 A/g.The abundant chemical bonds and porous structure can be formed in composite via alternating current synthesis method,which takes significant in improving electrochemical properties. 展开更多
关键词 alternating current mesoporous structure bonding unit electrochemical behavior
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