室温型热释电红外探测器焦平面列阵新进展 被引量：9

1

作者 邵式平 《红外与激光工程》 EI CSCD 1998年第2期33-36,共4页

文中介绍了目前室温工作的热释电红外探测器焦平面列阵的国外进展，混合型铁电陶瓷焦平面列阵已进入批量生产阶段，这类焦平面列阵制作的热像仪已于１９９５年进入商品市场，而单片式铁电薄膜红外探测器焦平面列阵还处在实验室研究阶段。

关键词 室温 红外探测器 焦平面列阵 热释电 铁电薄膜

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高T_c超导红外探测器与焦平面列阵(Ⅰ)

2

作者 刘心田 石保安 +1 位作者 吴增烈 汤定元 《传感技术学报》 CAS CSCD 1995年第3期76-78,共3页

自1986年底高Tc(】77K)超导材料问世以后,国内外竞相开展高Tc超导技术的研究.几年来,在“超导热”中红外探测器与微波器件显示出良好的应用前景,这是因为现有的高Tc材料,不仅有良好的性能,且其制膜技术也日臻成熟。

关键词 超导 红外探测器 焦平面列阵

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高Tc超导红外探测器与焦平面列阵(Ⅲ)

3

作者 刘心田 石保安 +1 位作者 吴增烈 汤定元 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第1期60-62,共3页

由于实际应用,多元列阵和焦平面列阵的研制更吸引入,可以说,应用微结构工艺是很容易制成高Tc超导多元探测器的,如Honeywell公司的1×12元线阵已进行了空间环境试验.它们用掩膜方法制备了1

关键词 红外探测器 焦平面列阵 高TC超导

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InSb红外焦平面列阵探测器局部分层失效机理研究

4

作者 张江风 田笑含 +1 位作者 张晓玲 孟庆端 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第3期191-197,共7页

批量生产中,锑化铟红外焦平面列阵探测器(InSb IRFPAs)局部分层失效现象已成为制约其成品率提升的瓶颈。为探究InSb IRFPAs局部分层诱因,借助内聚力模型,在InSb芯片与底充胶的界面处铺满内聚力单元,优选内聚力模型参数,建立InSb IRFPAs... 批量生产中,锑化铟红外焦平面列阵探测器(InSb IRFPAs)局部分层失效现象已成为制约其成品率提升的瓶颈。为探究InSb IRFPAs局部分层诱因,借助内聚力模型,在InSb芯片与底充胶的界面处铺满内聚力单元,优选内聚力模型参数,建立InSb IRFPAs局部失效分析二维模型。模拟结果得到了实测局部分层分布特征的证实,即:(1)局部分层大多出现在芯片周边区域,涵盖一定宽度;(2)InSb芯片与底充胶之间的界面局部脱开后,逐渐向两侧扩展。为剖析局部分层诱因,系统分析了张开型与滑开型裂纹扩展共同作用下混合模态比取不同值时局部分层分布特征的演化规律,认为当张开型和滑开型裂纹扩展的混合比取4:6时,模拟结果与实测结果高度吻合。至此笔者认为InSb IRFPAs局部分层源于界面法向应力与面内剪切应力的共同作用,属于典型的混合型局部分层模式,其中滑开型局部分层模式占主导。 展开更多

关键词 锑化铟红外焦平面列阵探测器 内聚力模型 局部分层 混合模态比

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渐变滤光片与焦平面探测器列阵的配合特性 被引量：1

5

作者 程实平 张凤山 严义埙 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1993年第6期416-420,共5页

利用渐变特性对覆盖列阵探测器光敏元区域的渐变滤光片的透射率进行了数值模拟,并对探测某一波段光谱信息的多通道渐变滤光片进行了分析和设计。

关键词 渐变滤光片 焦平面探测器列阵 透射率 配合 数值模拟 光谱仪器

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64×64元InSb光伏红外探测器列阵性能表征 被引量：4

6

作者 陈伯良 陆蔚 +2 位作者 王正官 杨华 汪辉 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期89-92,共4页

用改进的恒压微探针方法 ,对 6 4× 6 4元 In Sb凝视红外焦平面器件光伏探测器列阵芯片的性能进行了抽样检测和均匀性评价 .测得典型 6 4× 6 4元 In Sb芯片的探测器平均零偏阻抗为 42 MΩ (90 K) ,非均匀性为 2 0 % ;平均 10 0... 用改进的恒压微探针方法 ,对 6 4× 6 4元 In Sb凝视红外焦平面器件光伏探测器列阵芯片的性能进行了抽样检测和均匀性评价 .测得典型 6 4× 6 4元 In Sb芯片的探测器平均零偏阻抗为 42 MΩ (90 K) ,非均匀性为 2 0 % ;平均 10 0 0 K黑体响应率为 2 .8A/W,非均匀性为 6 .3% ;电学串音率 <2 % . 展开更多

关键词 红外焦平面列阵 性能表征 锑化铟 红外探测器

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数字化中波红外焦平面探测器组件研究进展 被引量：10

7

作者 白丕绩 赵俊 +4 位作者 韩福忠 李立华 王博 姚立斌 李敏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第1期15-22,共8页

介绍了美国、以色列、法国等西方发达国家在数字化中波红外焦平面探测器方面的研究现状及发展趋势。从数字读出电路(ROIC)角度出发,阐述了上述三个发达国家开发的列级ADC数字化中波红外焦平面探测器的最新研究成果。在SWaP概念牵引下,... 介绍了美国、以色列、法国等西方发达国家在数字化中波红外焦平面探测器方面的研究现状及发展趋势。从数字读出电路(ROIC)角度出发,阐述了上述三个发达国家开发的列级ADC数字化中波红外焦平面探测器的最新研究成果。在SWaP概念牵引下,以色列、法国都推出了小像元(中心距为10μm及以下)、高温工作、数字化输出的百万像素中波红外焦平面探测器组件。最后介绍了昆明物理研究所在数字化红外焦平面探测器组件研究方面取得的最新进展。昆明物理研究所突破列级ADC数字读出电路关键技术后,研制出一系列中心距(15μm、20μm、25μm)的640×512列级ADC数字化中波红外焦平面探测器组件,主要技术指标与国外同类数字化中波红外焦平面探测器组件相当。 展开更多

关键词 列级ADC数字读出电路 中波焦平面 数字化制冷红外探测器组件

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平面PN结InSb红外焦平面探测器的研究 被引量：4

8

作者 李忠贺 李海燕 +2 位作者 杜红燕 亢喆 邱国臣 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2015年第7期814-816,共3页

研究了基于Be离子注入技术的平面型和Cd扩散技术的台面型锑化铟红外焦平面阵列(IRFPA)探测器芯片工艺流程。并进行了芯片I-V、成像结果等对比测试,Be离子注入平面型器件和扩散台面型芯片的性能水平相当,具备一定的工程应用水平。

关键词 锑化铟 离子注入 红外焦平面阵列探测器 平面结

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InSb红外焦平面探测器现状与进展 被引量：18

9

作者 牟宏山 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期394-399,共6页

红外焦平面探测器技术是一种通过摄取景物热辐射分布图像,并将其转换为人眼可见图像的技术。近年来红外探测器技术发展迅速,在军事、工业、农业、医学等各领域显示出越来越重要的应用。本文对锑化铟红外焦平面探测器的应用及发展情况进... 红外焦平面探测器技术是一种通过摄取景物热辐射分布图像,并将其转换为人眼可见图像的技术。近年来红外探测器技术发展迅速,在军事、工业、农业、医学等各领域显示出越来越重要的应用。本文对锑化铟红外焦平面探测器的应用及发展情况进行了分析,并对其发展前景进行了展望。 展开更多

关键词 锑化铟 焦平面 红外探测器

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国外量子阱红外焦平面探测器的发展概况 被引量：13

10

作者 史衍丽 《红外技术》 CSCD 北大核心 2005年第4期274-278,共5页

以GaAs/AlGaAs为代表的Ⅲ-Ⅴ量子阱红外焦平面探测器因其成熟的材料生长和器件工艺技术,一直是与传统的HgCdTe红外探测器并驾齐驱的红外探测器。近十年来随着对器件结构、机理及器件工艺的不断改进,大面阵Ⅲ-Ⅴ量子阱红外焦平面器件发... 以GaAs/AlGaAs为代表的Ⅲ-Ⅴ量子阱红外焦平面探测器因其成熟的材料生长和器件工艺技术,一直是与传统的HgCdTe红外探测器并驾齐驱的红外探测器。近十年来随着对器件结构、机理及器件工艺的不断改进,大面阵Ⅲ-Ⅴ量子阱红外焦平面器件发展显著。本文介绍了量子阱红外焦平面探测器的优越性及存在的问题,当前欧美国家量子阱红外焦平面探测器的最新研究发展、产品现状及应用前景。 展开更多

关键词 红外焦平面探测器 量子阱 发展概况 红外焦平面器件 红外探测器 国外 HGCDTE 工艺技术 材料生长 GAAS 器件结构 器件工艺 研究发展 欧美国家 产品现状 面阵

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数字红外焦平面探测器(特邀) 被引量：2

11

作者 姚立斌 陈楠 +4 位作者 胡窦明 王英 毛文彪 钟昇佑 张济清 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第1期90-100,共11页

相比传统的模拟红外焦平面探测器,数字红外焦平面探测器具有很多技术优势,是红外焦平面探测器技术的重要发展方向。首先,介绍了数字红外焦平面探测器国内外的研发现状,从信号处理以及应用的角度分析了模拟红外焦平面探测器与数字红外焦... 相比传统的模拟红外焦平面探测器,数字红外焦平面探测器具有很多技术优势,是红外焦平面探测器技术的重要发展方向。首先,介绍了数字红外焦平面探测器国内外的研发现状,从信号处理以及应用的角度分析了模拟红外焦平面探测器与数字红外焦平面探测器的区别与特点;然后,又详细介绍了列级ADC数字读出集成电路以及数字像元读出集成电路的架构及具体电路模块,分析了数字读出集成电路的各模块电路及与性能的关系,并展望了数字读出集成电路的技术发展趋势。随着红外焦平面探测器向大面阵、小像元及高性能发展,对数字读出集成电路也提出更高的技术要求。通过读出集成电路架构以及模块电路的技术提升,列级ADC数字读出集成电路将普遍应用于大面阵、小像元红外焦平面探测器,而数字像元读出集成电路将普遍应用于长波红外焦平面探测器。 展开更多

关键词 数字红外焦平面探测器 数字读出集成电路 列级ADC数字读出集成电路 数字像元读出集成电路

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256元锑化铟光伏焦平面探测器 被引量：1

12

作者 赵建忠 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期106-108,共3页

本文从几个方面简要介绍了256元锑化铟光伏焦平面探测器的研究情况，并从焦平面的角度讨论了长线列探测器的工艺及设计要求，另外也介绍了信号处理电路的研制情况以及如何完成焦平面的互连及测试工作。最后介绍了器件的测试结果及一些... 本文从几个方面简要介绍了256元锑化铟光伏焦平面探测器的研究情况，并从焦平面的角度讨论了长线列探测器的工艺及设计要求，另外也介绍了信号处理电路的研制情况以及如何完成焦平面的互连及测试工作。最后介绍了器件的测试结果及一些应用情况。 展开更多

关键词 锑化铟 光伏焦平面 红外探测器

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硅化铂红外焦平面探测器性能改进技术分析 被引量：1

13

作者 康冰心 蔡毅 +2 位作者 王岭雪 薛唯 高岳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第3期742-748,共7页

硅化铂红外焦平面探测器具有响应光谱宽、规模大、均匀性好、时间稳定性高、制造成本低等优点,在多/宽光谱成像、激光探测、天文观测、医疗检测等领域具有应用潜力,但NETD 100 mK的灵敏度对其广泛应用有一定的限制。文中从该探测器的量... 硅化铂红外焦平面探测器具有响应光谱宽、规模大、均匀性好、时间稳定性高、制造成本低等优点,在多/宽光谱成像、激光探测、天文观测、医疗检测等领域具有应用潜力,但NETD 100 mK的灵敏度对其广泛应用有一定的限制。文中从该探测器的量子效率和填充因子两方面总结和分析了国内外的改进技术,重点分析了光腔结构、多孔硅结构、重掺杂P+和合适硅化铂膜厚提高量子效率的机理,并定量比较了提升幅度:多孔硅结构提升幅度最大,在波长4μm处的量子效率可达27%;相比内线转移CCD,电荷扫描器件、曲流沟道CCD和混合读出结构均能改善填充因子,其中混合读出结构的填充因子可提高为80%。微透镜列阵能将填充因子提高到85%以上。 展开更多

关键词 硅化铂红外焦平面列阵 量子效率 填充因子 读出电路 微透镜列阵

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非制冷长波红外焦平面列阵现状 被引量：10

14

作者 邵式平 《红外与激光工程》 EI CSCD 1997年第4期6-11,共6页

文章介绍了非制冷测辐射热计和铁电陶瓷焦平面列阵的现状，包含8万个非制冷氧化钒红外探测器的焦平面列阵已制成热像仪，系统的噪声等效温差（NETD）为0．04℃，不需要制冷和机械调制入射辐射。多晶硅热敏电阻和硅p－n结温差电堆焦平面... 文章介绍了非制冷测辐射热计和铁电陶瓷焦平面列阵的现状，包含8万个非制冷氧化钒红外探测器的焦平面列阵已制成热像仪，系统的噪声等效温差（NETD）为0．04℃，不需要制冷和机械调制入射辐射。多晶硅热敏电阻和硅p－n结温差电堆焦平面列阵的研究工作取得了进展，用溅射和化学汽相淀积技术已制成128×128元硅薄膜测辐射热计焦平面列阵，单元探测器的探测率为1×109cmHzW－1；128×128元温差电堆焦平面列阵的NETD为0．5℃。利用热释电效应和介电常数温度变化的铁电陶瓷焦平面列阵制成的热像仪，NETD已达到0．047℃。 展开更多

关键词 测辐射热计 热释电 红外探测器 焦平面列阵

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测辐射热计红外焦平面列阵 被引量：3

15

作者 杨亚生 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期5-8,共4页

非制冷测辐射热计红外焦平面列阵设计为桥式结构，器件制作采用微机械加工技术。工作波段为８～１２μｍ，热阻达１０７Ｋ／Ｗ量级，噪声等效温差为０．１Ｋ。

关键词 测辐射热计 桥式结构 热阻 红外焦平面列阵

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PtSi红外焦平面列阵研究的新进展 被引量：1

16

作者 杨亚生 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1996年第4期264-267,共4页

评述了ＰｔＳｉ消特基势垒红外焦平面列阵的研究进展。近年来，国外采用一些新的器件结构，制成了高性能的大型凝视ＰｔＳｉ红外焦平面列阵。

关键词 焦平面列阵 硅化铂 红外光学器件

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高性能PtSi肖特基势垒红外焦平面列阵 被引量：1

17

作者 杨亚生 《红外与激光技术》 CSCD 1993年第5期26-31,共6页

本文介绍了PtSi肖特基势垒红外焦平面列阵(PtSi-SBIRFPA)的工作原理,阐述了肖特基势垒探测器的优化结构,分析了器件的优异性能,并给出了量子效率、灵敏度、暗电流、噪声等效温差和转移效率的典型曲线,评述了国内外PtSi-SBIRFPA的发展。

关键词 焦平面列阵 肖特基势垒 探测器

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低维结构铁电材料光电性能和铁电薄膜红外焦平面列阵器件物理研究(英文)

18

作者 于剑 褚君浩 汤定元 《中国科学院研究生院学报》 CAS CSCD 2003年第2期254-259,共6页

系统研究了晶粒尺寸对铁电性、相结构、晶格动力学和光致发光等性质的影响。研究了择优取向钛锆酸铅铁电薄膜异质结构的取向机理、光学常数以及电学性质。

关键词 BaTiO3纳米晶 尺寸效应 相变 择优取向铁电薄膜异质结构 铁电薄膜红外焦平面列阵分布参数模型

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凝视PtSi红外焦平面列阵的结构和性能

19

作者 杨亚生 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期47-52,共6页

ＰｔＳｉ红外焦平面列阵（ＦＰＡ）的结构设计，必须有利于提高器件的性能参数。ＩＴＣＣＤ（内线转移电荷耦合器件）是迄今ＰｔＳｉＦＰＡ用得最多的读出结构，采用隔行扫描ＩＴＣＣＤ和逐行扫描ＩＴＣＣＤ结构，均做出了高性能的Ｐｔ... ＰｔＳｉ红外焦平面列阵（ＦＰＡ）的结构设计，必须有利于提高器件的性能参数。ＩＴＣＣＤ（内线转移电荷耦合器件）是迄今ＰｔＳｉＦＰＡ用得最多的读出结构，采用隔行扫描ＩＴＣＣＤ和逐行扫描ＩＴＣＣＤ结构，均做出了高性能的ＰｔＳｉＦＰＡ。但因ＩＴＣＣＤ结构的固有特点，对小象元尺寸，填充系数很难提高。而缩小象元尺寸、增大填充系数是大型凝视ＰｔＳｉＦＰＡ的发展方向和必由之路。为此，近年来国外采用了一些新的器件结构，如ＣＳＰ、ＬＡＣＡ、ＭＯＳ、ＤＳＩ、硅圆柱透镜列阵、混合式结构等。 展开更多

关键词 凝视 红外焦平面列阵 探测器 硅化铂

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硅化铂肖特基势垒红外焦平面列阵及其发展

20

作者 杨亚生 《应用光学》 CAS CSCD 1993年第2期39-43,共5页

介绍PtSi肖特基势垒红外焦平面列阵的工作原理,分析探测器的最佳化结构,评述国内外肖特基势垒红外焦平面列阵的发展。

关键词 肖特基势垒 焦平面列阵 红外探测器

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