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题名柔性衬底Zn-Sn-O透明导电膜的特性
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作者
黄树来
姜永超
盖凌云
孙玉林
徐进栋
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机构
莱阳农学院理学院
石油大学资源与信息学院
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出处
《莱阳农学院学报》
2004年第3期245-248,共4页
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基金
国家自然科学基金项目(No.60276044)
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文摘
采用射频磁控溅射技术首次在有机薄膜衬底上低温制备出具有低电阻率和良好附着性的Zn-Sn-O透明导电膜。研究了有机衬底和玻璃衬底Zn-Sn-O薄膜的结构、表面形貌和组分。制备薄膜为非晶结构,有机衬底Zn-Sn-O透明导电膜的最低电阻率和可见光平均透过率分别为1.3×10-2Ω·cm和82%。薄膜中的氧偏离理想化学配比,存在着较多的氧空位,氧空位是薄膜中载流子的主要来源。
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关键词
有机衬底
锌-锡-氧透明导电膜
射频磁控溅射技术
结构
表面形貌
组分
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Keywords
organic substrates
Zn-Sn-O films
r.f. magnetron sputtering
PACC
6855
8155C
7360
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分类号
TM24
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名掺杂透明导电半导体薄膜的光电性能研究
被引量：8
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作者
葛春桥
郭爱云
胡小峰
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机构
武汉理工大学材料科学与工程学院
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2006年第1期40-42,共3页
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文摘
掺杂氧化锌透明导电膜(AZO)是一种重要的光电子信息材料,其制备方法有真空蒸镀法、磁控溅射法,化学气相沉积和脉冲激光沉积法等。该文采用溶胶-凝胶(so l-gel)工艺在普通玻璃基片上成功地制备出A l3+掺杂型ZnO透明导电薄膜。将这种薄膜在空气和真空中以不同的温度进行了退火处理,并对薄膜进行了XRD分析和光电性能研究。结果表明,所制备的薄膜为钎锌矿型结构,在c轴方向择优生长,真空退火有利于薄膜结晶状况的改善,并使薄膜的载流子浓度大幅度地增加而电阻率下降,并且真空退火对薄膜的透射率影响不大。
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关键词
溶胶-凝胶
AZO薄膜
真空退火
掺杂氧化锌透明导电膜
光电性能
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Keywords
sol-gel technique
AZO thin film
vacuum annealing
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分类号
O484.41
[理学—固体物理]
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