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电子回旋共振等离子体辅助溅射沉积锂磷氧氮薄膜
1
作者
李驰麟
傅正文
+1 位作者
舒兴胜
任兆杏
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期193-198,共6页
用电子回旋共振(ECR)等离子体辅助射频溅射沉积法制备快锂离子传导的锂磷氧氮 (LiPON)薄膜． X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、紫外可见吸收光谱等手段表征了在不同ECR功率辅助下沉积的薄膜．结果显示,ECR等离子体对磁控溅射沉积薄膜...
用电子回旋共振(ECR)等离子体辅助射频溅射沉积法制备快锂离子传导的锂磷氧氮 (LiPON)薄膜． X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、紫外可见吸收光谱等手段表征了在不同ECR功率辅助下沉积的薄膜．结果显示,ECR等离子体对磁控溅射沉积薄膜的生长有明显的影响,能够提高N的插入量,改变薄膜的组成与结构．但是过高的ECR功率反而易破坏薄膜的结构,不利于N的插入．最佳的实验条件是在ECR 200W辅助下沉积的LiPON薄膜, 它的电导率约为8×10-6S／cm．讨论了ECR对沉积LiPON薄膜的N插入机理．
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关键词
锂
磷氧氮薄膜
溅射沉积
电子回旋共振
锂离子传导率
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职称材料
题名
电子回旋共振等离子体辅助溅射沉积锂磷氧氮薄膜
1
作者
李驰麟
傅正文
舒兴胜
任兆杏
机构
复旦大学化学系激光化学研究所上海市分子催化和功能材料重点实验室
中国科学院等离子体物理研究所
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期193-198,共6页
基金
国家自然科学基金(20203006)
文摘
用电子回旋共振(ECR)等离子体辅助射频溅射沉积法制备快锂离子传导的锂磷氧氮 (LiPON)薄膜． X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、紫外可见吸收光谱等手段表征了在不同ECR功率辅助下沉积的薄膜．结果显示,ECR等离子体对磁控溅射沉积薄膜的生长有明显的影响,能够提高N的插入量,改变薄膜的组成与结构．但是过高的ECR功率反而易破坏薄膜的结构,不利于N的插入．最佳的实验条件是在ECR 200W辅助下沉积的LiPON薄膜, 它的电导率约为8×10-6S／cm．讨论了ECR对沉积LiPON薄膜的N插入机理．
关键词
锂
磷氧氮薄膜
溅射沉积
电子回旋共振
锂离子传导率
Keywords
lithium phosphorus oxynitride
r.f. sputtering
electron cyclotron resonance
lithium ionic conductivity
分类号
TM912 [电气工程—电力电子与电力传动]
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作者
出处
发文年
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1
电子回旋共振等离子体辅助溅射沉积锂磷氧氮薄膜
李驰麟
傅正文
舒兴胜
任兆杏
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
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