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题名基于硅基的新型传感器研究
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作者
王海娜
徐艳华
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机构
河南农业职业学院信息工程学院
河南师范大学新联学院
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出处
《实验室研究与探索》
CAS
北大核心
2018年第6期76-79,共4页
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基金
河南省科技厅煤炭联合重点项目(mjhn2016002)
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文摘
采用溶胶-凝胶法制作的敏感性能稳定、具备吸湿性的二氧化硅薄膜,设计了一种新型银-二氧化硅-银湿度表面等离子体共振(Surface Plasmon Resonance,SPR)传感装置,建立了有效折射率和湿度变化模型。分析得到优化入射光的波长可获得最佳的探测效果,随着测量层厚度的增加,共振峰逐渐变得锐利,能够提高检测精度。实验分析表明,电磁场的能量集中在银和多孔陶瓷二氧化硅的交界处附近,银薄膜越厚,SPR光谱越窄;湿度的变化范围是(0%~100%)RH,角度分辨率的测试极限是0.01,湿度传感器可以达到灵敏度为0.025°/%RH。
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关键词
银-二氧化硅-银
湿度
SPR传感装置
灵敏度
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Keywords
silver-silica-silver
humidity
SPR sensor
sensitivity
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分类号
TN302
[电子电信—物理电子学]
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