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Al-glass-Al阳极键合界面及力学性能的分析
被引量：
5
1
作者
陈大明
胡利方
+2 位作者
薛永志
陈少平
王文先
《焊接学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第9期71-75,132,共6页
利用两步法阳极键合技术成功实现了Al-glass-Al的连接,利用扫描电镜(SEM)观察Al-glass界面形貌,利用辉光放电发射光谱仪(GD-OES)分析界面元素(K,Na,O,Al)分布规律,利用原子力显微镜(AFM)分析键合前后玻璃的表面形貌,采用万能材料试验机...
利用两步法阳极键合技术成功实现了Al-glass-Al的连接,利用扫描电镜(SEM)观察Al-glass界面形貌,利用辉光放电发射光谱仪(GD-OES)分析界面元素(K,Na,O,Al)分布规律,利用原子力显微镜(AFM)分析键合前后玻璃的表面形貌,采用万能材料试验机测试了不同工艺参数下试样的力学性能.结果表明,第二次键合界面电流值明显高于第一次键合界面电流值;Al-glass-Al界面结合良好,玻璃两侧界面无明显差异;Al3+有向Na+耗尽层中扩散的趋势,先形成的耗尽层中Na+浓度明显高于后形成的耗尽层;键合过程中,Na+在玻璃表面析出,玻璃表面Ra升高,玻璃表面质量下降是造成玻璃试样沿第二次键合面Al(2)-glass界面断裂的主要原因.
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关键词
阳极键合
铝–玻璃–铝
辉光放电发射光谱分析
微机电系统
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职称材料
题名
Al-glass-Al阳极键合界面及力学性能的分析
被引量：
5
1
作者
陈大明
胡利方
薛永志
陈少平
王文先
机构
太原理工大学材料科学与工程学院
出处
《焊接学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第9期71-75,132,共6页
基金
国家自然科学基金青年基金(51405328)
文摘
利用两步法阳极键合技术成功实现了Al-glass-Al的连接,利用扫描电镜(SEM)观察Al-glass界面形貌,利用辉光放电发射光谱仪(GD-OES)分析界面元素(K,Na,O,Al)分布规律,利用原子力显微镜(AFM)分析键合前后玻璃的表面形貌,采用万能材料试验机测试了不同工艺参数下试样的力学性能.结果表明,第二次键合界面电流值明显高于第一次键合界面电流值;Al-glass-Al界面结合良好,玻璃两侧界面无明显差异;Al3+有向Na+耗尽层中扩散的趋势,先形成的耗尽层中Na+浓度明显高于后形成的耗尽层;键合过程中,Na+在玻璃表面析出,玻璃表面Ra升高,玻璃表面质量下降是造成玻璃试样沿第二次键合面Al(2)-glass界面断裂的主要原因.
关键词
阳极键合
铝–玻璃–铝
辉光放电发射光谱分析
微机电系统
Keywords
anodic bonding
Al-glass-Al
glow discharge optical emission spectrometry
MEMS
分类号
TG456.9 [金属学及工艺—焊接]
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职称材料
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作者
出处
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被引量
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1
Al-glass-Al阳极键合界面及力学性能的分析
陈大明
胡利方
薛永志
陈少平
王文先
《焊接学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
5
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