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铌钽合金化对钼合金靶材组织与薄膜结构的影响
被引量：
3
1
作者
付振华
李继文
+2 位作者
魏世忠
耿宏安
刘刚
《河南科技大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2018年第3期1-6,共6页
采用模压和真空热压烧结工艺制备了钼铌和钼钽两种钼合金靶材,以薄膜半导体-液晶显示器(TFTLCD)无碱玻璃为衬底,磁控溅射沉积了不同厚度的钼薄膜。利用场发射扫描电镜和共聚焦显微镜表征了靶材显微组织、元素面分布以及薄膜微观形貌。...
采用模压和真空热压烧结工艺制备了钼铌和钼钽两种钼合金靶材,以薄膜半导体-液晶显示器(TFTLCD)无碱玻璃为衬底,磁控溅射沉积了不同厚度的钼薄膜。利用场发射扫描电镜和共聚焦显微镜表征了靶材显微组织、元素面分布以及薄膜微观形貌。借助四探针测试仪测试了薄膜的方阻值,研究了铌和钽合金化对钼薄膜导电性的影响。研究结果表明:铌、钽合金化均可细化靶材晶粒,且靶材晶粒均无明显择优取向。钼铌和钼钽两种合金靶材平均晶粒尺寸分别为70.02μm和34.43μm。相同溅射工艺参数下,钼铌和钼钽合金薄膜厚度分别约为200 nm和240 nm。钼铌合金薄膜平均方阻为15.68Ω/□,钼钽合金薄膜平均方阻为22.00Ω/□。钽合金化后,钼靶材晶粒细化更为显著,晶粒尺寸分布更加均匀,薄膜沉积速度更快,且表面粗糙度较小,导致钼钽合金薄膜方阻增长较大。
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关键词
钼靶材
铌钽合金化
靶材组织
薄膜结构
方阻
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职称材料
题名
铌钽合金化对钼合金靶材组织与薄膜结构的影响
被引量：
3
1
作者
付振华
李继文
魏世忠
耿宏安
刘刚
机构
河南科技大学材料科学与工程学院
河南科技大学河南省高温结构与功能材料重点实验室
爱科麦钨钼科技股份有限公司
出处
《河南科技大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2018年第3期1-6,共6页
基金
国家自然科学基金项目(51672070)
文摘
采用模压和真空热压烧结工艺制备了钼铌和钼钽两种钼合金靶材,以薄膜半导体-液晶显示器(TFTLCD)无碱玻璃为衬底,磁控溅射沉积了不同厚度的钼薄膜。利用场发射扫描电镜和共聚焦显微镜表征了靶材显微组织、元素面分布以及薄膜微观形貌。借助四探针测试仪测试了薄膜的方阻值,研究了铌和钽合金化对钼薄膜导电性的影响。研究结果表明:铌、钽合金化均可细化靶材晶粒,且靶材晶粒均无明显择优取向。钼铌和钼钽两种合金靶材平均晶粒尺寸分别为70.02μm和34.43μm。相同溅射工艺参数下,钼铌和钼钽合金薄膜厚度分别约为200 nm和240 nm。钼铌合金薄膜平均方阻为15.68Ω/□,钼钽合金薄膜平均方阻为22.00Ω/□。钽合金化后,钼靶材晶粒细化更为显著,晶粒尺寸分布更加均匀,薄膜沉积速度更快,且表面粗糙度较小,导致钼钽合金薄膜方阻增长较大。
关键词
钼靶材
铌钽合金化
靶材组织
薄膜结构
方阻
Keywords
Mo target
Nb and Ta alloying
target microstructure
thin film texture
sheet resistance
分类号
TG146.41 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
铌钽合金化对钼合金靶材组织与薄膜结构的影响
付振华
李继文
魏世忠
耿宏安
刘刚
《河南科技大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2018
3
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