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磁控溅射铁磁性靶材的研究进展
被引量：
20
1
作者
杨长胜
程海峰
+3 位作者
唐耿平
李效东
楚增勇
周永江
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期372-377,共6页
磁控溅射铁磁性材料是制备高性能磁性薄膜的主要方法。由于铁磁性靶材的磁屏蔽效应,实现磁控溅射较难,这是限制铁磁性材料镀膜的一个重要因素。本文综述了国内外对这一问题的各种解决方法,分析了其优缺点。希望为国内相关单位的同行在...
磁控溅射铁磁性材料是制备高性能磁性薄膜的主要方法。由于铁磁性靶材的磁屏蔽效应,实现磁控溅射较难,这是限制铁磁性材料镀膜的一个重要因素。本文综述了国内外对这一问题的各种解决方法,分析了其优缺点。希望为国内相关单位的同行在铁磁性靶材和装置的设计上提供有益的帮助。
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关键词
等离子体磁聚
铁磁性靶材
靶
材
设计
磁控溅射
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职称材料
热处理对Co-Cr-Ta合金靶材磁性能的影响
被引量：
2
2
作者
穆健刚
张凤戈
+4 位作者
李建奎
梁俊才
王铁军
周武平
赵栋梁
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期1267-1271,共5页
基于磁控溅射磁性薄膜存在铁磁性靶材难以正常溅射的问题,本文从改善靶材的制备工艺,提高靶材表面漏磁率出发,结合Co-Cr-Ta合金的差示扫描量热法曲线,采用不同的热处理制度对Co-Cr-Ta合金进行了热处理,并测定了不同热处理制度下Co-Cr-T...
基于磁控溅射磁性薄膜存在铁磁性靶材难以正常溅射的问题,本文从改善靶材的制备工艺,提高靶材表面漏磁率出发,结合Co-Cr-Ta合金的差示扫描量热法曲线,采用不同的热处理制度对Co-Cr-Ta合金进行了热处理,并测定了不同热处理制度下Co-Cr-Ta合金的相结构、织构和靶材表面的漏磁率,发现热处理后,Co-Cr-Ta合金的主相由面心立方的Co相转变为密排六方的Co相,形成c轴趋于平行轧制面的{1 2 10}和{10 10}线织构,靶材表面的漏磁率增大5倍,并且漏磁率随热处理保温时间的延长而增大,得出了最佳热处理保温时间。Co-Cr-Ta合金经过热处理后,发生相变并形成{1 2 10}和{10 10}的线织构,是漏磁率增高的根本原因。
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关键词
铁磁性靶材
磁记录
热处理
漏磁率
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职称材料
题名
磁控溅射铁磁性靶材的研究进展
被引量：
20
1
作者
杨长胜
程海峰
唐耿平
李效东
楚增勇
周永江
机构
国防科技大学新型陶瓷纤维及复合材料国防科技重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期372-377,共6页
基金
国防科技重点实验室基金
文摘
磁控溅射铁磁性材料是制备高性能磁性薄膜的主要方法。由于铁磁性靶材的磁屏蔽效应,实现磁控溅射较难,这是限制铁磁性材料镀膜的一个重要因素。本文综述了国内外对这一问题的各种解决方法,分析了其优缺点。希望为国内相关单位的同行在铁磁性靶材和装置的设计上提供有益的帮助。
关键词
等离子体磁聚
铁磁性靶材
靶
材
设计
磁控溅射
Keywords
Magnetic pinching of the plasma, Ferromagnetic target, Target Design, Magnetron sputtering
分类号
TB79 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
热处理对Co-Cr-Ta合金靶材磁性能的影响
被引量：
2
2
作者
穆健刚
张凤戈
李建奎
梁俊才
王铁军
周武平
赵栋梁
机构
钢铁研究总院
安泰科技股份有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期1267-1271,共5页
文摘
基于磁控溅射磁性薄膜存在铁磁性靶材难以正常溅射的问题,本文从改善靶材的制备工艺,提高靶材表面漏磁率出发,结合Co-Cr-Ta合金的差示扫描量热法曲线,采用不同的热处理制度对Co-Cr-Ta合金进行了热处理,并测定了不同热处理制度下Co-Cr-Ta合金的相结构、织构和靶材表面的漏磁率,发现热处理后,Co-Cr-Ta合金的主相由面心立方的Co相转变为密排六方的Co相,形成c轴趋于平行轧制面的{1 2 10}和{10 10}线织构,靶材表面的漏磁率增大5倍,并且漏磁率随热处理保温时间的延长而增大,得出了最佳热处理保温时间。Co-Cr-Ta合金经过热处理后,发生相变并形成{1 2 10}和{10 10}的线织构,是漏磁率增高的根本原因。
关键词
铁磁性靶材
磁记录
热处理
漏磁率
Keywords
Ferromagnetic target
Magnetic record
Heat treatment
Pass through flux
分类号
TG156.31 [金属学及工艺—热处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁控溅射铁磁性靶材的研究进展
杨长胜
程海峰
唐耿平
李效东
楚增勇
周永江
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
20
在线阅读
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职称材料
2
热处理对Co-Cr-Ta合金靶材磁性能的影响
穆健刚
张凤戈
李建奎
梁俊才
王铁军
周武平
赵栋梁
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
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职称材料
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