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化学溶液法制备PbZr_(0.5)Ti_(0.5)O_3/La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3铁电多层薄膜的结构和光学性质研究
被引量：
1
1
作者
王根水
胡志高
+5 位作者
石富文
孟祥建
孙璟兰
赵强
郭少令
褚君浩
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期23-26,共4页
采用金属有机化学液相沉积法在Si衬底上制备了La0 .5Sr0 .5CoO3(LSCO)导电金属氧化物薄膜 ,采用溶胶 凝胶法在LSCO导电金属氧化物薄膜上沉积了PbZr0 .5Ti0 .5O3(PZT)铁电薄膜 .X 射线测量结果表明在 70 0℃的退火温度下制备的PZT/LSCO...
采用金属有机化学液相沉积法在Si衬底上制备了La0 .5Sr0 .5CoO3(LSCO)导电金属氧化物薄膜 ,采用溶胶 凝胶法在LSCO导电金属氧化物薄膜上沉积了PbZr0 .5Ti0 .5O3(PZT)铁电薄膜 .X 射线测量结果表明在 70 0℃的退火温度下制备的PZT/LSCO铁电多层薄膜呈 (110 )取向的钙钛矿结构 ,谢乐公式估算铁电薄膜的晶粒尺寸为 5 0～ 80nm .原子力显微镜观察结果显示 :薄膜表面平整 ,均方根粗糙度 (RMS)小于 5nm .用拉曼光谱测量表明PZT薄膜呈拉曼活性 .椭圆偏振光谱仪用来表征薄膜在 40 0～ 170 0nm波长范围的光学性质 .用洛仑兹模型来描述PZT和LSCO薄膜的光学性质 .获得PZT和LSCO薄膜的折射率、消光系数等光学常数谱 .
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关键词
PbZr0.5Ti0.5O3/La0.5Sr0.5CoO3
结构
光学性质
化学溶液法
铁电多层薄膜
椭偏光谱
光学常数谱
锆钛酸铅
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下载PDF
职称材料
题名
化学溶液法制备PbZr_(0.5)Ti_(0.5)O_3/La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3铁电多层薄膜的结构和光学性质研究
被引量：
1
1
作者
王根水
胡志高
石富文
孟祥建
孙璟兰
赵强
郭少令
褚君浩
机构
中国科学院上海技术物理研究所
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期23-26,共4页
基金
国家自然科学基金 (批准号 6 0 0 76 0 2 9)资助项目~~
文摘
采用金属有机化学液相沉积法在Si衬底上制备了La0 .5Sr0 .5CoO3(LSCO)导电金属氧化物薄膜 ,采用溶胶 凝胶法在LSCO导电金属氧化物薄膜上沉积了PbZr0 .5Ti0 .5O3(PZT)铁电薄膜 .X 射线测量结果表明在 70 0℃的退火温度下制备的PZT/LSCO铁电多层薄膜呈 (110 )取向的钙钛矿结构 ,谢乐公式估算铁电薄膜的晶粒尺寸为 5 0～ 80nm .原子力显微镜观察结果显示 :薄膜表面平整 ,均方根粗糙度 (RMS)小于 5nm .用拉曼光谱测量表明PZT薄膜呈拉曼活性 .椭圆偏振光谱仪用来表征薄膜在 40 0～ 170 0nm波长范围的光学性质 .用洛仑兹模型来描述PZT和LSCO薄膜的光学性质 .获得PZT和LSCO薄膜的折射率、消光系数等光学常数谱 .
关键词
PbZr0.5Ti0.5O3/La0.5Sr0.5CoO3
结构
光学性质
化学溶液法
铁电多层薄膜
椭偏光谱
光学常数谱
锆钛酸铅
Keywords
chemical solution routes
ferroelectric multilayer thin films
spectroscopic ellipsometry
optical constant spectra
分类号
O484.43 [理学—固体物理]
TM223 [一般工业技术—材料科学与工程]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
化学溶液法制备PbZr_(0.5)Ti_(0.5)O_3/La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3铁电多层薄膜的结构和光学性质研究
王根水
胡志高
石富文
孟祥建
孙璟兰
赵强
郭少令
褚君浩
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
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