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题名靶材用钨硅合金的制备工艺
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作者
黄志民
王德志
吴壮志
陈金
李保强
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机构
中南大学材料科学与工程学院
厦门虹鹭钨钼工业有限公司
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出处
《粉末冶金技术》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第5期445-451,共7页
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基金
国家重点研发计划资助项目(2017YFB0305603)。
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文摘
以钨硅混合粉体为原料,通过真空煅烧制备钨硅合金块体,再经破碎、烧结致密化后成功制备出符合半导体使用要求的钨硅靶材。研究了煅烧温度和保温时间对合金块体的物相成分、显微结构、氧含量和碳含量(质量分数)的影响。结果表明,通过高温煅烧合金化可以显著降低材料的氧含量和碳含量,煅烧温度对氧元素的脱除具有重要的影响。最佳制备工艺为1250℃煅烧5 h,在该条件下钨硅合金中氧的质量分数可由0.3000%降至0.0121%,材料中的单质钨完全转化为钨硅合金相。
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关键词
靶材
钨硅合金
制备工艺
热力学分析
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Keywords
sputtering target
W–Si alloys
preparation technology
thermodynamic analysis
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分类号
TF123.3
[冶金工程—粉末冶金]
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题名新型含钨高硅铸造镍基合金的组织性能分析
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作者
郭宁
秦紫瑞
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机构
大连理工大学
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出处
《石油机械》
北大核心
2002年第3期3-6,3,共4页
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文摘
Ni Mo型的HastelloyB合金用于氢氟酸介质中具有优良的耐蚀性能 ,但成本较高。为此 ,研制了耐氢氟酸介质腐蚀的新型含钨高硅铸造镍基合金。该合金的化学成分 (wt% )为C≤0 0 2 ;Si3 0～ 5 0 ;Mn≤ 0 5 ;P、S≤ 0 0 2 ;Cr10 0～ 2 0 0 ;Ni4 0 0～ 4 8 0 ;Mo12 0～ 16 0 ;W 3 0～ 8 0 ;Fe为余量。合金铸态组织为奥氏体基体加少量M6 C碳化物和σ金属间相 ;合金经 12 0 0℃水冷固溶处理后 ,可得到单相奥氏体组织。这种合金组织在 4 0℃、 2 0
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关键词
含钨高硅铸造镍基合金
组织性能
显微组织
耐腐蚀
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Keywords
nickel-base alloy microstructure corrosion resistance property
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分类号
TG143.9
[金属学及工艺—金属材料]
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