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草酸对钨膜化学机械抛光性能的影响
1
作者
李丁杰
周建伟
+4 位作者
罗翀
孙纪元
刘德正
杨云点
冯鹏
《润滑与密封》
北大核心
2025年第5期109-114,135,共7页
在钨(W)化学机械抛光(CMP)过程中,虽然加入过多的硝酸铁可以提高钨的去除速率,但会引入较多的Fe^(3+),可能对器件性能产生不利影响。选择成本低并且对环境友好的草酸作为钨抛光液中的络合剂,研究草酸对CMP过程中钨去除速率和表面质量的...
在钨(W)化学机械抛光(CMP)过程中,虽然加入过多的硝酸铁可以提高钨的去除速率,但会引入较多的Fe^(3+),可能对器件性能产生不利影响。选择成本低并且对环境友好的草酸作为钨抛光液中的络合剂,研究草酸对CMP过程中钨去除速率和表面质量的影响。结合电化学实验、X射线光电子能谱(XPS)和密度泛函理论(DFT),揭示草酸在CMP中的作用机制。结果表明:抛光速率随草酸质量分数的增加先增大后减小,当草酸质量分数为0.04%时抛光速率最大。这可能是由于草酸质量分数较小时,草酸与Fe^(3+)的络合反应较弱,而与WO_(3)的溶解反应较强;草酸浓度较高时,草酸与Fe^(3+)的络合反应增强,而与WO_(3)的溶解反应减弱。当加入质量分数0.04%的草酸时,钨的去除速率显著提高。
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关键词
化学机械抛光
钨去除速率
表面质量
草酸
硝酸铁
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职称材料
题名
草酸对钨膜化学机械抛光性能的影响
1
作者
李丁杰
周建伟
罗翀
孙纪元
刘德正
杨云点
冯鹏
机构
河北工业大学电子信息工程学院
天津市电子材料与器件重点实验室
北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
出处
《润滑与密封》
北大核心
2025年第5期109-114,135,共7页
基金
国家自然科学基金项目(62074049)。
文摘
在钨(W)化学机械抛光(CMP)过程中,虽然加入过多的硝酸铁可以提高钨的去除速率,但会引入较多的Fe^(3+),可能对器件性能产生不利影响。选择成本低并且对环境友好的草酸作为钨抛光液中的络合剂,研究草酸对CMP过程中钨去除速率和表面质量的影响。结合电化学实验、X射线光电子能谱(XPS)和密度泛函理论(DFT),揭示草酸在CMP中的作用机制。结果表明:抛光速率随草酸质量分数的增加先增大后减小,当草酸质量分数为0.04%时抛光速率最大。这可能是由于草酸质量分数较小时,草酸与Fe^(3+)的络合反应较弱,而与WO_(3)的溶解反应较强;草酸浓度较高时,草酸与Fe^(3+)的络合反应增强,而与WO_(3)的溶解反应减弱。当加入质量分数0.04%的草酸时,钨的去除速率显著提高。
关键词
化学机械抛光
钨去除速率
表面质量
草酸
硝酸铁
Keywords
chemical mechanical polishing(CMP)
removal rate of tungsten
surface quality
oxalic acid
iron nitrate
分类号
TH117.1 [机械工程—机械设计及理论]
TG175 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
草酸对钨膜化学机械抛光性能的影响
李丁杰
周建伟
罗翀
孙纪元
刘德正
杨云点
冯鹏
《润滑与密封》
北大核心
2025
0
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