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电子级多晶硅的生产工艺
被引量：
166
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作者
梁骏吾
《中国工程科学》
2000年第12期34-39,共6页
就建设 10 0 0t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氯氢硅法、四氯化硅法、二氯二氢硅法和硅烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比 ;对还原或热分...
就建设 10 0 0t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氯氢硅法、四氯化硅法、二氯二氢硅法和硅烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比 ;对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由空间反应器也进行了比较。介绍了用三氯氢硅钟罩式反应器法生产多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程适于 10 0 0t/a级的电子级多晶硅生产。
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关键词
电子级多晶硅
三氯氢硅法
半导体材料
硅烷法
生产工艺
钟罩式反应器
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职称材料
题名
电子级多晶硅的生产工艺
被引量：
166
1
作者
梁骏吾
机构
中国科学院半导体研究所
出处
《中国工程科学》
2000年第12期34-39,共6页
文摘
就建设 10 0 0t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氯氢硅法、四氯化硅法、二氯二氢硅法和硅烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比 ;对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由空间反应器也进行了比较。介绍了用三氯氢硅钟罩式反应器法生产多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程适于 10 0 0t/a级的电子级多晶硅生产。
关键词
电子级多晶硅
三氯氢硅法
半导体材料
硅烷法
生产工艺
钟罩式反应器
Keywords
polysilicon
trichlorosilane method
silane method
flow chart
productionD
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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1
电子级多晶硅的生产工艺
梁骏吾
《中国工程科学》
2000
166
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