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Ti_(1-x)Al_xN薄膜的制备及性能研究被引量：2: 1; 作者熊锐李佐宜 +4 位作者胡作启杨晓非徐瑛林更琪胡用时《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 1998年第1期22-25,共4页; 介绍了利用反应溅射法制备Ti1-xAlxN薄膜的工艺过程，测量并分析了Ti1-xAlxN薄膜的光学性能及电阻率与薄膜成分的关系。结果表明，Ti1-zalxN薄膜的折射率和消光系数均随薄膜中Al含量x的增加而减小，电阻率则随x的增加而增大。并从薄膜... 展开更多; 关键词薄膜射频反应溅射光学性质电阻率钛氮薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

反应溅射Ti-Si-N纳米晶复合薄膜研究: 2; 作者戴嘉维胡祖光 +2 位作者祝新发陈练李戈扬《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期372-372,共1页; 关键词钛-硅-氮复合薄膜纳米晶体反应溅射法透射电子显微镜结构分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

TiN_x系统的电子结构及所关联的光学性质被引量：1: 3; 作者张志鹏李书平 +1 位作者林海沈耀文《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期109-113,共5页; 本文使用LMTO-ASA能带方法和超原胞方法计算了Ti-N系统中三个稳定相(α-Ti,ε-Ti2N和δ-TiN)的电子结构,然后通过将这三个稳定相作为样本并借助于统计超原胞方法,本文全面计算了TiNx系统的电子结构。在这基础上,我们又进一步计算了TiNx... 展开更多; 关键词 TiNx系统电子结构光学性质氮钛化合物薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料