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动态离子束混合制备的钛氧化物薄膜的AES和XPS研究
被引量：
4
1
作者
展长勇
杜纪富
黄宁康
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期241-245,共5页
分别采用O+和Ar+离子束轰击的动态离子束混合技术,在不锈钢基体上制备钛的氧化物薄膜。经X射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)分析,研究这两种工艺制备薄膜的化学组成和价键状态。结果表明,采用动态离子束混合技术制备的薄膜,可形...
分别采用O+和Ar+离子束轰击的动态离子束混合技术,在不锈钢基体上制备钛的氧化物薄膜。经X射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)分析,研究这两种工艺制备薄膜的化学组成和价键状态。结果表明,采用动态离子束混合技术制备的薄膜,可形成与基体有组分梯度的界面过渡层,减小了薄膜内应力,同时薄膜与基体具有较好的热学相容性,从而提高了薄膜的附着性能。Ar+束轰击的动态离子束混合沉积钛的氧化物薄膜中,Ti主要以+4价存在,而O+束轰击的动态离子束混合沉积形成的钛氧化物薄膜中含有次价态的钛氧化物。
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关键词
钛氧化物薄膜
动态离子束混合技术
AES
XPS
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职称材料
基于硅钛氧化物复合薄膜的有机场效应晶体管
2
作者
胡加兴
李乐丹
王茹霞
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020年第12期943-947,956,共6页
研究了以硅钛氧化物复合薄膜为绝缘层、并五苯为半导体层的有机场效应晶体管(OFET),其中硅钛氧化物复合薄膜采用溶胶-凝胶法制备。采用傅里叶红外光谱仪、X射线衍射仪、原子力显微镜和扫描电子显微镜对硅钛氧化物复合薄膜进行了测试和...
研究了以硅钛氧化物复合薄膜为绝缘层、并五苯为半导体层的有机场效应晶体管(OFET),其中硅钛氧化物复合薄膜采用溶胶-凝胶法制备。采用傅里叶红外光谱仪、X射线衍射仪、原子力显微镜和扫描电子显微镜对硅钛氧化物复合薄膜进行了测试和表征。结果表明,硅钛氧化物复合薄膜中存在两种不同类型的氧化钛晶体结构(锐钛矿和金红石),具有较高的介电常数(k=9.47),在30 V偏压下漏电流密度小于1×10-9 A·cm-2。器件测试结果表明,有机场效应晶体管的载流子迁移率为0.16 cm2·V-1·s-1,开启电压为-1.9 V,亚阈值摆幅为180 mV·dec-1,开关比为1×104。高介电常数绝缘层可以有效降低有机场效应晶体管的工作电压、开启电压和亚阈值摆幅。
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关键词
硅
钛
氧化物
复合
薄膜
有机场效应晶体管(OFET)
溶胶-凝胶法
介电常数
工作电压
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职称材料
题名
动态离子束混合制备的钛氧化物薄膜的AES和XPS研究
被引量：
4
1
作者
展长勇
杜纪富
黄宁康
机构
辐射物理和技术教育部重点实验室四川大学原子核科学技术研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期241-245,共5页
文摘
分别采用O+和Ar+离子束轰击的动态离子束混合技术,在不锈钢基体上制备钛的氧化物薄膜。经X射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)分析,研究这两种工艺制备薄膜的化学组成和价键状态。结果表明,采用动态离子束混合技术制备的薄膜,可形成与基体有组分梯度的界面过渡层,减小了薄膜内应力,同时薄膜与基体具有较好的热学相容性,从而提高了薄膜的附着性能。Ar+束轰击的动态离子束混合沉积钛的氧化物薄膜中,Ti主要以+4价存在,而O+束轰击的动态离子束混合沉积形成的钛氧化物薄膜中含有次价态的钛氧化物。
关键词
钛氧化物薄膜
动态离子束混合技术
AES
XPS
Keywords
Titanium oxide film, Dynamic ion beam mixing, AES, XPS
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
基于硅钛氧化物复合薄膜的有机场效应晶体管
2
作者
胡加兴
李乐丹
王茹霞
机构
西安工业大学光电工程学院
出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020年第12期943-947,956,共6页
基金
陕西省自然科学基础研究计划项目(2017JM1037)。
文摘
研究了以硅钛氧化物复合薄膜为绝缘层、并五苯为半导体层的有机场效应晶体管(OFET),其中硅钛氧化物复合薄膜采用溶胶-凝胶法制备。采用傅里叶红外光谱仪、X射线衍射仪、原子力显微镜和扫描电子显微镜对硅钛氧化物复合薄膜进行了测试和表征。结果表明,硅钛氧化物复合薄膜中存在两种不同类型的氧化钛晶体结构(锐钛矿和金红石),具有较高的介电常数(k=9.47),在30 V偏压下漏电流密度小于1×10-9 A·cm-2。器件测试结果表明,有机场效应晶体管的载流子迁移率为0.16 cm2·V-1·s-1,开启电压为-1.9 V,亚阈值摆幅为180 mV·dec-1,开关比为1×104。高介电常数绝缘层可以有效降低有机场效应晶体管的工作电压、开启电压和亚阈值摆幅。
关键词
硅
钛
氧化物
复合
薄膜
有机场效应晶体管(OFET)
溶胶-凝胶法
介电常数
工作电压
Keywords
silica-titania hybrid film
organic field effect transistor(OFET)
sol-gel method
dielectric constant
operating voltage
分类号
TN304.5 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
动态离子束混合制备的钛氧化物薄膜的AES和XPS研究
展长勇
杜纪富
黄宁康
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
4
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职称材料
2
基于硅钛氧化物复合薄膜的有机场效应晶体管
胡加兴
李乐丹
王茹霞
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020
0
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职称材料
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