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振动与扫描速率综合影响SPM图像的实验研究
1
作者
陈津平
胡晓东
+2 位作者
陈峰
郭彤
胡小唐
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期242-246,共5页
探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0～ 7kHz频带内SPM机体的简...
探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0～ 7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响。实验表明 ,针尖 -样品副所受激振影响不同于SPM机体 ;0～ 1kHz频带内的激振影响显著 ,再高频段则影响甚微 ;外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果 ;针尖
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关键词
扫描探针显微镜
SPM图像
扫描速率
外界激振
粘弹性模型
扫描频率
固有频率
针尖-样品副
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职称材料
题名
振动与扫描速率综合影响SPM图像的实验研究
1
作者
陈津平
胡晓东
陈峰
郭彤
胡小唐
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期242-246,共5页
基金
教育部科学技术重点项目 (No.0 2 0 43 )
国家高技术发展专项经费资助项目 (No .2 0 0 2AA40 40 90 )
文摘
探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0～ 7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响。实验表明 ,针尖 -样品副所受激振影响不同于SPM机体 ;0～ 1kHz频带内的激振影响显著 ,再高频段则影响甚微 ;外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果 ;针尖
关键词
扫描探针显微镜
SPM图像
扫描速率
外界激振
粘弹性模型
扫描频率
固有频率
针尖-样品副
Keywords
external vibration
scanning probe microscope (SPM)
tip sample interaction
viscoelastic model
分类号
TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
振动与扫描速率综合影响SPM图像的实验研究
陈津平
胡晓东
陈峰
郭彤
胡小唐
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003
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